1、芯片設(shè)計(jì)工具及應(yīng)用韓 雁2013年9月課程介紹3學(xué)分，每周二上午三節(jié)課。分3個(gè)模塊。13次課堂教學(xué)，每堂布置1道作業(yè)，分3次驗(yàn)收：模塊1：3次課堂教學(xué)，3次作業(yè)，1次現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。模塊2：5次課堂教學(xué)，5次作業(yè)，1次現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。模塊3: 4次課堂教學(xué)，4次作業(yè)，1次現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。教材：半導(dǎo)體器件TCAD設(shè)計(jì)與應(yīng)用，韓雁等編著，2013年3月出版。集成電路設(shè)計(jì)CAD/EDA工具使用教程，韓雁等編著，2010年9月出版。2022/8/8浙大微電子2/53第一次課課程簡(jiǎn)介及上機(jī)操作簡(jiǎn)介課程簡(jiǎn)介模塊1：半導(dǎo)體工藝與器件設(shè)計(jì)工具（3+1）模塊2：模擬IC設(shè)計(jì)工具（5+1）模塊3：數(shù)字IC設(shè)計(jì)工具（4+1）上機(jī)操作

2、Linix命令上機(jī)實(shí)驗(yàn)作業(yè)布置2022/8/8浙大微電子3/53模塊1：半導(dǎo)體工藝與器件設(shè)計(jì)工具（3+1）工藝仿真工具TSUPREM-4和 器件仿真工具M(jìn)EDICI新一代工藝及器件仿真工具Sentaurus設(shè)計(jì)實(shí)例-用TCAD設(shè)計(jì)ESD防護(hù)器件實(shí)驗(yàn)課隨堂上機(jī)驗(yàn)收工藝與器件設(shè)計(jì)3次作業(yè)2022/8/8浙大微電子4/53模塊1-1/3：工藝仿真工具TSUPREM-4和器件仿真工具M(jìn)EDICI工藝仿真工具TSUPREM-4介紹模型介紹 TSUPREM-4基本命令介紹 雙極晶體管結(jié)構(gòu)的一維仿真示例 器件仿真工具M(jìn)EDICI介紹MEDICI實(shí)例1LDMOS器件仿真 MEDICI實(shí)例2NPN三極管仿真20

3、22/8/8浙大微電子5/53模塊1-2/3：新一代工藝及器件仿真工具Sentaurus工藝仿真系統(tǒng) Sentaurus Process器件結(jié)構(gòu)編輯工具Sentaurus Structure Editor器件仿真工具Sentaurus Device 集成電路虛擬制造系統(tǒng)Sentaurus Workbench2022/8/8浙大微電子6/53模塊1-3/3：設(shè)計(jì)實(shí)例-用TCAD設(shè)計(jì)ESD防護(hù)器件ESD及ISE-TCAD簡(jiǎn)介工藝仿真（Dios）器件仿真（DESSIS）及模型的選取熱邊界條件的設(shè)定ESD防護(hù)器件仿真中收斂性問(wèn)題 一些對(duì)關(guān)鍵性能有影響的關(guān)鍵參數(shù)二次擊穿電流的仿真2022/8/8浙大微電

4、子7/53模塊1(3+1)：實(shí)驗(yàn)課隨堂上機(jī)驗(yàn)收工藝與器件設(shè)計(jì)3次作業(yè)作業(yè)1-1用T4做出一個(gè)NMOS管，再讀入到MEDICI中，進(jìn)行柵特性仿真。作業(yè)1-2用Sentaurus工藝仿真軟件跑出一個(gè)NMOS器件，通過(guò)修改器件參數(shù)，使得耐壓提高20% 。作業(yè)1-3將一個(gè)仿真不收斂的ESD防護(hù)器件，通過(guò)網(wǎng)格調(diào)整而變得收斂。2022/8/8浙大微電子8/53模塊2：模擬IC設(shè)計(jì)工具（5+1）系統(tǒng)級(jí)仿真與Matlab模擬電路仿真工具+快速仿真+數(shù)模混合仿真設(shè)計(jì)實(shí)例-基準(zhǔn)源、噪聲、開(kāi)關(guān)電容及Monte-Carlo仿真模擬IC版圖繪制及Virtuoso工具軟件版圖驗(yàn)證與后仿真實(shí)驗(yàn)課-隨堂上機(jī)驗(yàn)收模擬IC設(shè)計(jì)5

5、次作業(yè)2022/8/8浙大微電子9/53模塊2-1/5：系統(tǒng)級(jí)仿真與Matlab集成電路設(shè)計(jì)的一般流程 系統(tǒng)級(jí)建模工具-Matlab 設(shè)計(jì)實(shí)例-利用Matlab設(shè)計(jì)鎖相環(huán)2022/8/8浙大微電子10/53模塊2-2/5：模擬電路仿真工具 + 快速仿真 + 數(shù)模混合仿真 Spectre 模擬仿真 Ultrasim 快速仿真 Spectreverilog 數(shù)模混合仿真演示2022/8/8浙大微電子11/53模塊2-3/5：設(shè)計(jì)實(shí)例-基準(zhǔn)源、噪聲、開(kāi)關(guān)電容及Monte-Carlo仿真電壓基準(zhǔn)源設(shè)計(jì)集成電路噪聲分析及仿真 開(kāi)關(guān)電容電路理論、設(shè)計(jì)舉例及仿真Monte-Carlo仿真2022/8/8浙大

6、微電子12/53模塊2-4/5：模擬IC版圖繪制及Virtuoso工具軟件典型深亞微米工藝流程Design Rule的簡(jiǎn)介Virtuoso軟件的簡(jiǎn)介及使用PDK簡(jiǎn)介版圖設(shè)計(jì)中的相關(guān)專題2022/8/8浙大微電子13/53模塊2-5/5：版圖驗(yàn)證與后仿真概述 DRC、LVS與后仿真介紹 驗(yàn)證工具介紹 Calibre 使用方法Diva規(guī)則文件簡(jiǎn)介實(shí)例分析2022/8/8浙大微電子14/53模塊2(5+1)：實(shí)驗(yàn)課-隨堂上機(jī)驗(yàn)收模擬IC設(shè)計(jì)5次作業(yè)作業(yè)2-1利用Simulink 搭建一個(gè)416線譯碼器的仿真模型作業(yè)2-2對(duì)一個(gè)數(shù)模混合的FSK電路進(jìn)行數(shù)模混合仿真作業(yè)2-3仿基準(zhǔn)電壓源的溫度系數(shù)/工藝角/環(huán)路穩(wěn)定性/電源抑制比作業(yè)2-4繪制一個(gè)電流控制振蕩器，版圖面積服務(wù)指南linux常用命令下找到 網(wǎng)址：/ic/redir.php?