1、 擴擴 散散 培培 訓(xùn)訓(xùn)2目錄目錄一.擴散原理.二.工藝衛(wèi)生三.異常的處理3一一.擴散原理擴散原理 1.三氯氧磷簡介POCl3是目前磷擴散用得較多的一種雜質(zhì)源無色透明液體，具有刺激性氣味。比重為1.67，熔點2，沸點107，在潮濕空氣中發(fā)煙。POCl3很容易發(fā)生水解，POCl3極易揮發(fā)。4 擴散裝置5 600）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反應(yīng)式如下：生成的P2O5在擴散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反應(yīng)式如下：5253OP3PCl5POClC600 4P5SiO5SiO2P2526 由上面反應(yīng)式可以看出，POCl3熱分解時，如果沒有外來的氧（O

2、2）參與其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且對硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來O2存在的情況下，PCl5會進一步分解成P2O5并放出氯氣（Cl2）其反應(yīng)式如下：2522510ClO2P5O4PCl2過量O7 在有氧氣的存在時，POCl3熱分解的反應(yīng)式為： POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面，P2O5與硅反應(yīng)生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中進行擴散 。322524526POClOPOCl8二二.工藝衛(wèi)生工藝衛(wèi)生 潔凈度.空氣潔凈度，主要指潔凈空氣環(huán)境中的含塵濃度?？諝鉂崈舳鹊燃墸前凑彰苛⒎矫祝ɑ蛎可┛諝庵?，大于等于0.

3、5m的塵粒數(shù)量來劃分9 人員方面1.擴散間員工出擴散間必須穿鞋套.其他崗位、部門員工進入擴散間必須按要求穿潔凈服、戴鞋套2.進入擴散間時要風淋30s3.嚴禁同時打開傳遞窗及風淋門;傳遞窗的兩邊不能同時打開4.員工工作服穿著整潔,頭發(fā)嚴禁露在衣服外面5.清洗間小車禁止推入擴散間使用6.袖子不能高挽10 7.擴散前的硅片嚴禁戴乳膠手套接觸(用手卡住硅片邊緣) 新的乳膠手套 新的一次性手套11 8.甩干后的片子不能在空氣中暴露超過2h(潔凈柜除外);嚴禁用口去哈吹硅片12 9.嚴禁用石英制品專用工夾具以外的東西接觸石英制器10. Sic槳不能暴露在空氣中時間過長11.擴散間旁門除洗管、領(lǐng)源、逃生之外

4、嚴禁打開12.凈化風機保證24h常開（潔凈柜、插卸片臺)13.外界進入擴散間的物品一定要處理干凈13 14.嚴禁擦拭石英爐門及Sic槳上的Hpo314 設(shè)備方面該區(qū)域為控制柜側(cè)蓋需要經(jīng)常擦拭,保證無明顯污跡該區(qū)域為控制前面板,不允許用酒精擦洗,防止觸電15 該區(qū)域為不銹鋼接偏磷酸槽,每天清理一次,保證無明顯偏磷酸液體存在該區(qū)域為鋼化玻璃,每天清理一次,保證無明顯偏磷酸液體存在16 該區(qū)域為爐體側(cè)蓋,保證無明顯污跡17 擴散管爐口18三三.異常的處理異常的處理 1.恒溫箱溫度的異常.恒溫箱溫度異?？梢栽斐煞綁K電阻不受控制,造成的返工片數(shù)量很多.經(jīng)過現(xiàn)場的檢查,發(fā)現(xiàn)恒溫箱溫度不受控可能由以下原因引

5、起:(1).恒溫箱內(nèi)水太少.預(yù)防措施:定期檢查,發(fā)現(xiàn)水量少時及時添加.(2).恒溫箱本身的原因,例如循環(huán)出現(xiàn)故障，表現(xiàn)現(xiàn)恒溫箱的水上下層溫度不一樣,判定為恒溫箱的循環(huán)有異常,隨后讓設(shè)備人員進行了更換.19 2.方塊電阻的異常.方塊電阻的異常在擴散間異常中是占很大比例,方塊電阻的異常的種類、可能的原因及解決措施如下:(1)整舟方塊電阻高可能的原因：1.大氮保護開著。2.四探針測試儀沒有調(diào)整好（如電流）或故障3. 源量過少.4.擴散溫度低.解決方法：1.關(guān)閉大氮保護.2.按要求調(diào)整或讓相關(guān)人員維修3. 讓員工經(jīng)常檢查源瓶，按要求更換源瓶.4.調(diào)整擴散溫度.(2)整舟方塊電阻低可能的原因：1.換源后

6、沒有及時降低溫度.2. .四探針測試儀沒有調(diào)整好.3.工藝運行完該出舟時，因其他原因沒有退舟，導(dǎo)致擴散后的片子長時間處在高溫的管子里.4.恒溫箱缺水或各種故障導(dǎo)致的溫度升高.5. 誤用方塊電阻低的工藝號.6.二次擴散.7.擴散溫度高.解決方法：1. 換源后按要求調(diào)整溫度.2. 按要求調(diào)整并定時確認.3.員工應(yīng)經(jīng)常關(guān)注各個擴散管的運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)問題.4.添水或通知設(shè)備維修.5. 讓員工按流程卡上標注的工藝運行.6. 屬于員工誤操作.返工.7.調(diào)整擴散溫度.20 (3)方塊電阻某一部分高可能的原因：1.個別溫區(qū)溫度設(shè)定低.2.個別溫區(qū)溫度升不上去.3.爐口抽風大4.電阻率過高.5.員工調(diào)整溫度

7、時誤操作，調(diào)錯溫度.6.PB值異常.解決方法：1.根據(jù)測試的方塊電阻及時調(diào)整擴散溫度.2.讓設(shè)備維修.3.讓設(shè)施人員調(diào)整.4.回爐后往下做.5.要求員工調(diào)整時認真一些.6.調(diào)整PB值.(4)方塊電阻某一部分低.可能的原因：1.個別溫區(qū)溫度設(shè)定高.2.PB值異常.3. 電阻率過低.4.員工調(diào)整溫度時誤操作.5.N型片.解決方法：1. 及時調(diào)整擴散溫度.2.把PB值恢復(fù)正常.3.正常做.4. 要求員工調(diào)整時認真一些. 5 .N型片的方阻在實際生產(chǎn)中一般不超過30，發(fā)現(xiàn)后可取一些去原材料庫測試非擴散面的PN型.21 3.偏磷酸.原因及解決的方法:(1).人員的操作,比如進出舟交叉,下舟不及時等.這些

8、需要員工按要求規(guī)范操作. 22 (2).抽風不暢,比如抽風小或尾氣管被偏磷酸膏體堵塞.需要加大抽風或定期清洗尾氣管.23 5.報警報警(1).擴散小氮報警.（壓力或流量）可能的原因：1.傳感器的連接或傳感器（或流量計）本身有問題.2.源瓶閥門沒有打開.處理措施： 1.通知設(shè)備人員檢查2. 換源時打開閥門，換源后認真確認.(2).干氧流量及大氮流量報警 可能的原因：1.流量計誤差大.2.氣體壓力不足.3.其他原因 處理措施： 在實際中如果過低及時通知設(shè)施設(shè)備工藝等人 員.24 (3).舟未前進到位報警. 可能的原因：1.進舟時間設(shè)定短.2.限位開關(guān)故障.3.絲杠故障.處理措施： 1.設(shè)定合適的進

9、舟時間.2.3.通知設(shè)備人員維修.25 6.有關(guān)三氯氧磷方面的異常：有關(guān)三氯氧磷方面的異常：(1).有三氯氧磷的氣味.(冒煙) 可能的原因：1.爐門密封不嚴. 2.氣路部分連接不緊密.3.抽風小. 4.當有擴散管運行到通擴散小氮時，其他管出舟，造成抽風相對小.5.石英爐門有缺口.6.源瓶的閥門裝反并且沒有檢查出來.導(dǎo)致三氯氧磷以液態(tài)進入石英管內(nèi).處理措施： 1.通知設(shè)備人員調(diào)整.2.安裝源瓶及四通等氣路時要確保連接緊密.3.通知設(shè)施人員處理.4.合理安排進出舟時間.5.通知設(shè)備人員更換后運行清洗工藝.6.換源時按要求認真操作.26 (2).源回流.可能的原因：溫度或其他原因造成的源瓶內(nèi)壓力大.處理措施:倒流的源如果在閥門附近，通過打鼓泡可以解決；少量又離閥門遠的，如果打鼓泡不行，可以拔下氣管，之后按少量源泄露的方法處理.(3).源泄露.可能的原因：1.打開閥門的順序錯誤.2.其他原因.處理措施：根據(jù)泄露的量而定，按應(yīng)急預(yù)案處理27 (4).源液變色，有雜質(zhì)