1、分子泵分子泵（Molecular Pump）簡介簡介應(yīng)用及維護應(yīng)用及維護錢錢 浩浩23 19771977年：研制成功年：研制成功國內(nèi)第一臺立式國內(nèi)第一臺立式F450F450渦輪分子泵，渦輪分子泵，通過科通過科學(xué)院鑒定。學(xué)院鑒定。 19831983年：年：F110F110渦輪分子泵通過中科院鑒定，首批應(yīng)用于正負(fù)渦輪分子泵通過中科院鑒定，首批應(yīng)用于正負(fù)電子對撞機。電子對撞機。 19861986年：年：FF500FF500復(fù)合型分子泵。復(fù)合型分子泵。 19931993年：年：F1500F1500渦輪分子泵，渦輪分子泵，F(xiàn)150F150檢漏儀用渦輪分子泵。檢漏儀用渦輪分子泵。 19991999年年：

2、F3500F3500渦輪分子泵渦輪分子泵。 20002000年年： FF620FF620復(fù)合分子泵進入市場。復(fù)合分子泵進入市場。 中科科儀分子泵的發(fā)展歷程中科科儀分子泵的發(fā)展歷程4 20012001年：系列防腐蝕分子泵進入市場。年：系列防腐蝕分子泵進入市場。 20022002年：年： FF1200FF1200復(fù)合分子泵進入市場。復(fù)合分子泵進入市場。 20032003年：系列任意角度安裝分子泵進入市場。年：系列任意角度安裝分子泵進入市場。 20042004年：抗沖擊（整體渦輪轉(zhuǎn)子）分子泵。年：抗沖擊（整體渦輪轉(zhuǎn)子）分子泵。 20052005年：年： FF700FF700任意角度安裝分子泵。任意角

3、度安裝分子泵。 20062006年：年： FD-IIFD-II電源、電源、FF1600FF1600分子泵、分子泵、FF1300FF1300任意角度安裝分任意角度安裝分子泵。子泵。 20072007年：年：FF1800FF1800脂潤滑分子泵，脂潤滑分子泵，18001800磁懸浮分子泵樣機。磁懸浮分子泵樣機。 20082008年：年：FF500GFF500G抗沖擊復(fù)合分子泵抗沖擊復(fù)合分子泵 20092009年：年：FF110FF110脂潤滑分子泵脂潤滑分子泵中科科儀分子泵的發(fā)展歷程中科科儀分子泵的發(fā)展歷程5產(chǎn)品的生產(chǎn)與制造過程產(chǎn)品的生產(chǎn)與制造過程裝配入庫平衡調(diào)試設(shè)計加工檢測KYKYKYKY執(zhí)行嚴(yán)

4、格的生產(chǎn)流程，保證產(chǎn)品的高品質(zhì)執(zhí)行嚴(yán)格的生產(chǎn)流程，保證產(chǎn)品的高品質(zhì)加工6主要內(nèi)容一分子泵結(jié)構(gòu)、特點二分子泵性能指標(biāo)三分子泵應(yīng)用及維護四常見問題及處理7一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點 分子泵結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)8l 按物理結(jié)構(gòu)分類按物理結(jié)構(gòu)分類渦輪分子泵渦輪分子泵 渦輪級動、靜葉列渦輪級動、靜葉列復(fù)合型分子泵復(fù)合型分子泵 渦輪級渦輪級+ +拖動級拖動級 l 按冷卻方式分類按冷卻方式分類風(fēng)冷型：中小型分子泵風(fēng)冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵水冷型：中大型分子泵兩用型：中小型分子泵兩用型：中小型分子泵一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點 分子泵分類分子泵分類l 按制造結(jié)構(gòu)分類按制造結(jié)構(gòu)

5、分類 油潤滑油潤滑 脂潤滑脂潤滑 磁懸浮磁懸浮 l 按功能分類按功能分類 普通型普通型防腐型防腐型防輻射型防輻射型9l 連續(xù)抽除氣體連續(xù)抽除氣體l 節(jié)省能源、運行成本低節(jié)省能源、運行成本低l 對被抽氣體無選擇性，對各種類氣體，抽速變化不大對被抽氣體無選擇性，對各種類氣體，抽速變化不大l 起停機時間短起停機時間短l 振動小，噪音低振動小，噪音低l 操作維護方便，免維護周期長操作維護方便，免維護周期長l 牽引性分子泵有較強的抗大氣沖擊能力牽引性分子泵有較強的抗大氣沖擊能力l 復(fù)合型分子泵在較高壓強工作段仍有較大抽速復(fù)合型分子泵在較高壓強工作段仍有較大抽速l 可獲得清潔的真空可獲得清潔的真空一、分子

6、泵結(jié)構(gòu)、特點一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點 分子泵特點分子泵特點101 1脂潤滑分子泵：脂潤滑分子泵： 可任意角度安裝可任意角度安裝有利于真空系統(tǒng)設(shè)計。有利于真空系統(tǒng)設(shè)計。有更小的油蒸汽返流率，與油潤滑分子泵相比較，可得到有更小的油蒸汽返流率，與油潤滑分子泵相比較，可得到更清潔的高真空。更清潔的高真空。 免維護。免維護。2 2陶瓷軸承分子泵陶瓷軸承分子泵 陶瓷球硬度高，更抗磨損。陶瓷球硬度高，更抗磨損。 重量輕，高速運轉(zhuǎn)下離心力小，軌道應(yīng)力小。重量輕，高速運轉(zhuǎn)下離心力小，軌道應(yīng)力小。 摩擦小，運轉(zhuǎn)更輕便。壽命更長。摩擦小，運轉(zhuǎn)更輕便。壽命更長。熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性好。軸承游隙精確。熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性好

7、。軸承游隙精確。一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點 分子泵特點分子泵特點113 3磁懸浮分子泵磁懸浮分子泵 無磨損，壽命長。無磨損，壽命長。 噪音小，運轉(zhuǎn)可靠性高。噪音小，運轉(zhuǎn)可靠性高。 全無油真空泵，可獲得高清潔真空全無油真空泵，可獲得高清潔真空一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點 分子泵特點分子泵特點124 4復(fù)合型分子泵復(fù)合型分子泵 在在1Pa1Pa左右的高壓強工作段，與同左右的高壓強工作段，與同類型的渦輪分子泵比較，有較大的抽速類型的渦輪分子泵比較，有較大的抽速，有利于某些工藝過程。，有利于某些工藝過程。 前級耐壓能力提高，可配某些類前級耐壓能力提高，可配某些類型的干泵，如膜

8、片泵，可縮小前級泵的型的干泵，如膜片泵，可縮小前級泵的規(guī)格，節(jié)省投資。規(guī)格，節(jié)省投資。一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點一、分子泵結(jié)構(gòu)、特點13KYKYKYKY分子泵型號及意義分子泵型號及意義 F F - / 特征代號（ T、N、F、 Z） 抽氣速率速率, L/s 抽氣口通徑, mm 復(fù)合代號 分子泵代號二、分子泵性能指標(biāo)二、分子泵性能指標(biāo)14二、分子泵性能指標(biāo)二、分子泵性能指標(biāo)測試標(biāo)準(zhǔn)測試標(biāo)準(zhǔn)ISO5302 ISO5302 【 GB/T 7774-1987 GB/T 7774-1987】主要性能指標(biāo)：主要性能指標(biāo)：1.1.極限壓強極限壓強2.2.抽速抽速3.3.壓縮比壓縮比4.4.振動振動5.5.噪聲噪聲

9、6.6.功率功率15 G1,真空計 溫度計，T1 分子泵 Rotary pump 溫度計，T2 1 1極限壓強極限壓強 ISO5302ISO5302標(biāo)準(zhǔn)中稱最低工作壓強標(biāo)準(zhǔn)中稱最低工作壓強 分子泵加裝分子泵加裝標(biāo)準(zhǔn)測試罩，標(biāo)準(zhǔn)測試罩，經(jīng)經(jīng)4848小時烘烤，降溫小時烘烤，降溫4848小時后，所測得小時后，所測得的壓強值的壓強值 選用不同的前級泵、接口方式選用不同的前級泵、接口方式不同不同(LF(LF、CFCF）、極限壓強值不同。）、極限壓強值不同。 一般說來，分子泵的極限壓強一般說來，分子泵的極限壓強范圍為：范圍為：1E-41E-41 1-9-9（PaPa）二、分子泵性能指標(biāo)二、分子泵性能指標(biāo)1

10、62 2抽速抽速 流量法（流量法（1010-4-4Pa)Pa)： 流導(dǎo)法流導(dǎo)法(10(1000L/s1000L/s泵，建議采用泵，建議采用 12L/s12L/s前級前級 對于對于3500L/s3500L/s泵，建議泵，建議30L/S30L/S前級前級u冷卻條件冷卻條件 風(fēng)冷風(fēng)冷 環(huán)境溫度環(huán)境溫度3232 水冷水冷 環(huán)境溫度環(huán)境溫度3232以上，水溫以上，水溫2525二、分子泵性能指標(biāo)二、分子泵性能指標(biāo)KYKYKYKY分子泵型號及意義分子泵型號及意義F F - / 特征代號（ 空、T、N、F、 Z） 抽氣速率速率, L/s 抽氣口通徑, mm 復(fù)合代號 分子泵代號三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)

11、用及選型KYKYKYKY分子泵種類分子泵種類 渦輪泵 按結(jié)構(gòu)分 復(fù)合泵 油潤滑 潤滑方式 脂潤滑 風(fēng)冷 冷卻方式 風(fēng)水兩用泵 水冷 普通泵 功能 防腐蝕泵分子泵系列分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型分子泵的應(yīng)用一般來講，分子泵用來獲得高，或超高真空。一般來講，分子泵用來獲得高，或超高真空。 廣泛應(yīng)用于：廣泛應(yīng)用于：1.1. 工業(yè)工藝過程（裝飾、工業(yè)工藝過程（

12、裝飾、ITOITO、PVDPVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空 爐排氣）爐排氣）2.2. 儀器、設(shè)備儀器、設(shè)備3.3. 科研、軍工裝備科研、軍工裝備4.4. 半導(dǎo)體工業(yè)半導(dǎo)體工業(yè)三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型制燈、玻璃鍍膜制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型柔性太陽能電池設(shè)備柔性太陽能電池設(shè)備三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型科研裝備科研裝備三、分子泵應(yīng)用及選型三、分子泵應(yīng)用及選型28 制燈行業(yè)(500G)三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護29三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維

13、護500G特點： 在縮短葉齒的情況下，保留轉(zhuǎn)子抽氣最強的部分(外緣)還在，這樣在抽速減少不大的前提下大大增加了轉(zhuǎn)子的強韌度，可以抗擊突發(fā)氣壓沖擊。 同時轉(zhuǎn)子中央的腔式設(shè)計一方面降低了轉(zhuǎn)子的重量，另一方面大大減小了異物的掉進對泵造成破壞的幾率。30三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護分子泵安裝使用前分子泵安裝使用前泵與電源的型號必須匹配泵與電源的型號必須匹配確認(rèn)防護網(wǎng)已經(jīng)安裝確認(rèn)防護網(wǎng)已經(jīng)安裝電源輸入電壓電源輸入電壓220/110v220/110v10%10%打開泵高真空端法蘭蓋板，帶上干凈手套，盤動分子泵葉片，打開泵高真空端法蘭蓋板，帶上干凈手套，盤動分子泵葉片，觀察轉(zhuǎn)動是否正常觀察轉(zhuǎn)

14、動是否正常采用油潤滑方式的泵，除采用油潤滑方式的泵，除110110型外必須豎直安裝，最好不要吊裝型外必須豎直安裝，最好不要吊裝 （3500型分子泵必須安裝在水平基面上型分子泵必須安裝在水平基面上） 31確認(rèn)已裝入潤滑油：確認(rèn)已裝入潤滑油： 用扳手將緊固油池的螺釘松開，取用扳手將緊固油池的螺釘松開，取下油池，從濾網(wǎng)外向油池中注入規(guī)定量下油池，從濾網(wǎng)外向油池中注入規(guī)定量的分子泵潤滑油，然后將油池緊固到泵的分子泵潤滑油，然后將油池緊固到泵體上。體上。 分子泵油量應(yīng)處于油標(biāo)上下限之間，分子泵油量應(yīng)處于油標(biāo)上下限之間，不得低于油標(biāo)下限，以保證軸承的良好不得低于油標(biāo)下限，以保證軸承的良好潤滑，油標(biāo)為無色標(biāo)

15、志線潤滑，油標(biāo)為無色標(biāo)志線 ，也不能超過，也不能超過上線，否則會導(dǎo)致流量過大，影響正常上線，否則會導(dǎo)致流量過大，影響正常使用。使用。三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護32進出口法蘭、冷卻水安裝進出口法蘭、冷卻水安裝三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護高真空口對稱均勻擰緊高真空口對稱均勻擰緊前級擰緊無泄漏循環(huán)水不滴漏1.1.泵入口、出口：正確安裝、泵入口、出口：正確安裝、 密封良好密封良好2.2.冷卻水：無漏水冷卻水：無漏水 入口水壓入口水壓0.2MPa0.2MPa 水溫水溫2020 水質(zhì)澄清無沉淀水質(zhì)澄清無沉淀注意：注意：l環(huán)境溫度環(huán)境溫度風(fēng)冷需小于風(fēng)冷需小于32;32;水冷

16、可至水冷可至4040l入口壓強入口壓強強制風(fēng)冷強制風(fēng)冷0.1Pa;0.1Pa;自然風(fēng)冷自然風(fēng)冷0.01Pa4h4h。 三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護 使用使用烘烤烘烤37三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護 停機停機（1 1）按下停止鍵，待電源顯示頻率降到）按下停止鍵，待電源顯示頻率降到0 0后，再關(guān)閉前級泵后，再關(guān)閉前級泵（2 2）分子泵停機后不宜長時間保持真空，以防前級機械泵）分子泵停機后不宜長時間保持真空，以防前級機械泵油蒸汽反擴散（目前前級機械泵都有防返油的措施，如擋油油蒸汽反擴散（目前前級機械泵都有防返油的措施，如擋油蓋等比較普遍的是外加隔斷放氣閥）蓋等比較普遍

17、的是外加隔斷放氣閥）（3 3）分子泵停轉(zhuǎn)后，關(guān)閉冷卻水，防止在泵內(nèi)形成冷凝水）分子泵停轉(zhuǎn)后，關(guān)閉冷卻水，防止在泵內(nèi)形成冷凝水長時間不用請將水冷套內(nèi)水清空，以防腐蝕水冷套長時間不用請將水冷套內(nèi)水清空，以防腐蝕水冷套38三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護1 1、潤滑油：普通潤滑油和防腐油，不可混用、潤滑油：普通潤滑油和防腐油，不可混用2 2、換油時間：、換油時間： 首次首次10001000小時更換；小時更換； 以后，每工作以后，每工作40004000小時更換，即使工作時間不足小時更換，即使工作時間不足40004000小小時，一年內(nèi)至少更換一次。時，一年內(nèi)至少更換一次。 如果經(jīng)常烘烤或大負(fù)

18、載或抽除腐蝕性氣體，潤滑油充注如果經(jīng)常烘烤或大負(fù)載或抽除腐蝕性氣體，潤滑油充注及更新時間間隔應(yīng)縮短。及更新時間間隔應(yīng)縮短。3 3、換油方式：油繩和油池、換油方式：油繩和油池4 4、潤滑油量：油標(biāo)上下限之間、潤滑油量：油標(biāo)上下限之間5 5、換油時，油池應(yīng)清洗干凈、換油時，油池應(yīng)清洗干凈 換油換油39 分子泵維護分子泵維護清洗、換軸承清洗、換軸承l(wèi)需要清洗的情況：需要清洗的情況：漏氣和脫附氣率沒有變化的情況下，無法達到應(yīng)有的真空性能，漏氣和脫附氣率沒有變化的情況下，無法達到應(yīng)有的真空性能，甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能系統(tǒng)存在大量粉塵類衍生物，或者有固體、液體

19、等進入分子泵內(nèi)系統(tǒng)存在大量粉塵類衍生物，或者有固體、液體等進入分子泵內(nèi)l需要換軸承的情況：需要換軸承的情況：較大的噪音和振動較大的噪音和振動啟動后，長時間無法達到正常轉(zhuǎn)速且過諧振點有較大噪音啟動后，長時間無法達到正常轉(zhuǎn)速且過諧振點有較大噪音需需排除系統(tǒng)泄露、潤滑失效等情況排除系統(tǒng)泄露、潤滑失效等情況分子泵油短時間內(nèi)變黑，更換后短時間內(nèi)再次變黑分子泵油短時間內(nèi)變黑，更換后短時間內(nèi)再次變黑需排除冷需排除冷卻不好、系統(tǒng)衍生物等情況卻不好、系統(tǒng)衍生物等情況l除除110110型分子泵在適當(dāng)情況下可自行進行簡單清洗外（見說明書），型分子泵在適當(dāng)情況下可自行進行簡單清洗外（見說明書），其他型分子泵必須返回廠

20、家進行清洗。換軸承必須返回廠家進行其他型分子泵必須返回廠家進行清洗。換軸承必須返回廠家進行三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護40三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護使用中的注意事項：使用中的注意事項：防止大氣沖擊防止大氣沖擊( (少用玻璃真空計少用玻璃真空計) )防止粉塵及顆粒進入防止粉塵及顆粒進入. .防止有大的震動及開機移動防止有大的震動及開機移動. .工作場應(yīng)避免與高壓工作場應(yīng)避免與高壓, ,高頻設(shè)備共用電源高頻設(shè)備共用電源. .應(yīng)遠離磁性緣應(yīng)遠離磁性緣, ,尤其尤其110110泵應(yīng)采取隔離磁措施泵應(yīng)采取隔離磁措施. . 冷卻水應(yīng)保持流量及溫度冷卻水應(yīng)保持流量及溫度.

21、. 分子泵本身具有高頻振動分子泵本身具有高頻振動, ,所以在安裝時應(yīng)考慮到共振問題所以在安裝時應(yīng)考慮到共振問題. .同同時時, ,在應(yīng)用于光學(xué)在應(yīng)用于光學(xué), ,電子電子, ,激光設(shè)備時激光設(shè)備時, ,要注意振動的影響要注意振動的影響. . 注意潤滑油的安裝及定時更換注意潤滑油的安裝及定時更換. .運輸中防止撞擊及倒置。運輸中防止撞擊及倒置。真空室內(nèi)少用放氣量大的材料真空室內(nèi)少用放氣量大的材料41使用使用大氣載、熱氣體、突變氣載大氣載、熱氣體、突變氣載 1. 1. 引起問題：引起問題： 溫度升高溫度升高 動靜片變形動靜片變形 轉(zhuǎn)子上移轉(zhuǎn)子上移 潤滑失效潤滑失效55原則原則 軸承失效軸承失效 2.

22、 2. 措施：措施： 加大水冷加大水冷 增加冷卻裝置增加冷卻裝置 縮短換油時間縮短換油時間三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護42使用使用振動隔離、沖擊防護振動隔離、沖擊防護1.1. 分子泵振動極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。分子泵振動極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。 對于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使對于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使 用隔振器，以便最大可能的減少振動。用隔振器，以便最大可能的減少振動。2.2. 沖擊防護：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐沖擊防護：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐 機械振動（預(yù)抽泵、前級泵、機械動作等）機械振動（預(yù)抽泵、前級泵、機械動作等） 氣體振動（

23、氣量突變、壓強突變）氣體振動（氣量突變、壓強突變） 意外振動（掉入異物、碰撞等）意外振動（掉入異物、碰撞等）注意：沒有對泵進行必要防護，容易造成分子泵嚴(yán)重的破壞、甚至碎泵。注意：沒有對泵進行必要防護，容易造成分子泵嚴(yán)重的破壞、甚至碎泵。三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護43使用使用振動隔離、沖擊防護振動隔離、沖擊防護三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護44使用使用振動隔離、沖擊防護振動隔離、沖擊防護三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護45使用使用磁場屏蔽磁場屏蔽 旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將

24、產(chǎn)生如下問題：1.1. 轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；2.2. 轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機轉(zhuǎn)子退磁；轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機轉(zhuǎn)子退磁；3.3. 由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；4.4. 轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。 分子泵在磁場中運轉(zhuǎn)時，徑向和軸向磁場強度均不得大于分子泵在磁場中運轉(zhuǎn)時，徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT3mT（30Gs30Gs）。原則上，大于）。原則上，大于3mT3mT應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子

25、泵的應(yīng)用、維護46使用使用耐腐蝕泵耐腐蝕泵a.保護性氣體b.保護氣體的流量1620sccmc.必須使用防腐油d.開、關(guān)機前必須通保護氣體e.若泵內(nèi)有少量凝結(jié)物，抽氣時應(yīng)烘烤分子泵三、分子泵的應(yīng)用、維護三、分子泵的應(yīng)用、維護47四、常見問題及處理四、常見問題及處理1.泵不啟動泵不啟動電源故障電源故障連接電纜不通（此種情況主要針對較舊的變頻器電源）連接電纜不通（此種情況主要針對較舊的變頻器電源）分子泵電機部分故障分子泵電機部分故障分子泵熱繼電器開路分子泵熱繼電器開路分子泵葉片卡死或碎泵分子泵葉片卡死或碎泵電源驅(qū)動器的問題（電壓、外控）電源驅(qū)動器的問題（電壓、外控）外控插頭沒插上外控插頭沒插上482

26、.長時間啟動仍達不到正常長時間啟動仍達不到正常負(fù)載過大負(fù)載過大前級壓強過高前級壓強過高轉(zhuǎn)向有誤（點動分子泵，面向渦輪轉(zhuǎn)子，除轉(zhuǎn)向有誤（點動分子泵，面向渦輪轉(zhuǎn)子，除110110以外其它轉(zhuǎn)以外其它轉(zhuǎn)向為順時針）向為順時針）潤滑油、脂失效潤滑油、脂失效軸承損壞（檢查轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動是否靈活，有無重滯現(xiàn)象）軸承損壞（檢查轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動是否靈活，有無重滯現(xiàn)象）四、常見問題及處理四、常見問題及處理493.大的振動和噪音大的振動和噪音共振、共鳴（應(yīng)改變裝配位置共振、共鳴（應(yīng)改變裝配位置及聯(lián)接尺寸，并使活動件固定或及聯(lián)接尺寸，并使活動件固定或加減振橡膠墊）加減振橡膠墊）動平衡破壞（單獨對泵進行試轉(zhuǎn)，振動、噪聲仍很大）動平衡破壞（單獨對泵進行試轉(zhuǎn)，振動、噪聲仍很大）軸承損壞軸承損壞四、常見問題及處理四、常見問題及處理504.真空度低真空度低前級不正常（有漏、過小、抽氣能力降低等）前級不正常（有漏、過小、抽氣能力降低等）高真空端有漏高真空端有漏系統(tǒng)過臟（包括真空室、連接管道、真空泵等）系統(tǒng)過臟（包括真空室、連接管道、真空泵等）測量規(guī)管出氣量大（應(yīng)對規(guī)管陰極去氣，規(guī)管玻殼烘烤測量規(guī)管出氣量大（應(yīng)對規(guī)管陰極去氣，規(guī)管