1、防靜電檢測(cè)方法1 術(shù)語(yǔ)和定義表面電阻(surface resistance ):兩個(gè)特定的放置于材料同一面的電極之間的電壓與它們通過(guò)電 流的比值。體電阻(volume resistance ):單位厚度上的直流電壓，與通過(guò)材料的單位面積電流的比值，測(cè) 試電極放置于材料相對(duì)面的對(duì)應(yīng)位置。接地電阻(Earth Resistance ):被接地體與地下零電位面之間的接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過(guò)渡電阻和土壤的溢流電阻之和。摩擦起電(Triboelectrification ):用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號(hào)電荷的過(guò)程。衰減時(shí)間(decay time ):靜電電壓從峰值電壓降低到

2、給定比例的時(shí)間。例如：在15咐目對(duì)濕度的情況下，靜電電壓從 2000V條低到100V的衰減時(shí)間小于等于1秒。屏蔽泄漏電壓：因屏蔽體外部的高電場(chǎng)而使屏蔽體內(nèi)部獲得的感應(yīng)電場(chǎng)電壓或外部高電場(chǎng)穿透屏蔽體衰減的殘留電場(chǎng)電壓，又稱屏蔽殘余電壓。靜電中和(曰ectrostaticNeutralization ):帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所帶靜電部分或全部消失的現(xiàn)象。2 防靜電參數(shù)測(cè)試方法防靜電主要參數(shù)及測(cè)試儀器測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試儀器表向電阻表面電阻測(cè)試儀、兆歐表體電阻、系統(tǒng)電阻兆歐表、萬(wàn)用表接地電阻接地電阻測(cè)試儀、萬(wàn)用表、兆歐表靜電電壓、摩擦電壓、衰減時(shí)間靜電場(chǎng)測(cè)試儀/

3、靜電電壓測(cè)試儀秒表離子風(fēng)機(jī)離子平衡度靜電場(chǎng)測(cè)試儀、 CHARGE PLATE MONITOR屏敝殘余電壓屏蔽殘余電壓測(cè)試儀檢驗(yàn)所使用的儀器必須經(jīng)計(jì)量檢定合格(有準(zhǔn)用標(biāo)簽)，并在有效期內(nèi)。防靜電測(cè)試儀器介紹專用防靜電測(cè)試儀器主要有：簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀、兆歐表、靜電場(chǎng)測(cè)試儀、離子風(fēng)機(jī)離子平衡 度測(cè)試儀、屏蔽殘余電壓測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀和人體綜合電阻測(cè)試 儀的校準(zhǔn)儀。2.1.1 手持式簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀，測(cè)試量程為1031012 Q,適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類。由于靜電耗散材料的表面電阻為1X104Q

4、WRsv 1X10"a,因此測(cè)試儀面板指示的1011 檔（面板的黑色圓圈處）修正為絕緣材料，不是靜電耗散材料。簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀配有一根專用接地線，把接地線的香蕉插頭插入儀器表面的接地孔，另一度端的鱷魚夾夾在接地母線上，把表面電阻測(cè)試儀平壓在防靜電臺(tái)墊上，可以測(cè)試臺(tái)墊的接地電阻。便攜式表面電阻測(cè)試儀測(cè)試電極被測(cè)材料絕緣平板圖1簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀兆歐表公司表面電阻測(cè)試儀，配有兩根連線和2Kg®的測(cè)試電極兩個(gè)，適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類，可以測(cè)試材料表面電阻和體積電阻（或系統(tǒng)電阻）， 把兩根連線把測(cè)試儀和兩個(gè)測(cè)試電極連接起來(lái)，兩

5、個(gè)電極放置在材料的同一表面即可測(cè)試表面電阻，兩個(gè)電極放置在材料的兩個(gè)表面的相對(duì)位置可以測(cè)試體積電阻。型號(hào)為BM80/2的測(cè)試儀可直接使用兆歐表和兩根連線來(lái)測(cè)試接地電阻和低阻。圖2表面電阻測(cè)試儀2.1.2 靜電場(chǎng)測(cè)試儀靜電場(chǎng)測(cè)試儀有兩種型號(hào)，普通型 ESD42721高精度型MODEL 520都采用非接觸型的電場(chǎng)感應(yīng)測(cè)試方式。兩個(gè)儀器都配有一根接地線，靜電電壓測(cè)試時(shí)接地線接地可以提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。ESD42721勺測(cè)試量程V 20KV,精確度為10V,適于測(cè)試較大的平面分布電場(chǎng)。MODEL 520勺的測(cè)試量程V 2KV,精確度為1V,適于平面和某點(diǎn)電場(chǎng)精確測(cè)試。圖3靜電場(chǎng)測(cè)試儀MODEL 520

6、圖4靜電場(chǎng)測(cè)試儀 ESD427212.1.3 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀由靜電電壓發(fā)生器、靜電場(chǎng)測(cè)試儀ESD42721金屬隔離測(cè)試板組成，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生1000V靜電電壓。參見圖5。圖5離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀2.1.4 CHARGE PLATE MONITORCHARGE PLATE MONITOR為MODE 156A可用于測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度和衰減時(shí)間，靜電電 壓發(fā)生器產(chǎn)生1000V靜電電壓。參見圖6。圖 6 CHARGE PLATE MONITOR 156A2.1.5 屏蔽殘余電壓測(cè)試儀屏蔽殘余電壓測(cè)試儀型號(hào) 為Charleswater 19380 ,由靜電

7、電壓發(fā)生器、測(cè)試電極、輔助金屬板、靜電探測(cè)器組成，靜電發(fā)生器產(chǎn)生1000V勺靜電電壓，靜電探測(cè)器的測(cè)試量程為10V300V。參加圖7。圖7屏蔽殘余電壓測(cè)試儀表面電阻測(cè)試測(cè)試表面電阻需要把被測(cè)材料放置在絕緣平面上進(jìn)行，絕緣平面表面電阻要求1X1012 Qo2.1.6 簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀 WRSTG330試表面電阻簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀的兩測(cè)試極間距依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)固定不變，測(cè)試時(shí)把被測(cè)材料放置在絕緣的平面上， 表面電阻測(cè)試儀平置在材料表面，手指施加適當(dāng)壓力（24千克力）壓觸測(cè)試按鈕，使測(cè)試電極和材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為測(cè)試讀數(shù)。參見圖 8。簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀的1011 檔修正為絕緣材料類別，不是靜

8、電耗散材料。使用簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面粗糙不平的軟性材料時(shí)，如泡沫板、氣珠袋等，需要加大測(cè)試壓 力，可以施加到46千克力的壓力，以保證測(cè)試電極和材料表面接觸良好，測(cè)試準(zhǔn)確。圖8表面電阻測(cè)試2.1.7 采用表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面電阻測(cè)試材料表面電阻選擇100V DC當(dāng)，把被測(cè)材料放置在絕緣平面上，測(cè)試電極平穩(wěn)地放在材料表面， 撥動(dòng)測(cè)試按鈕可以直接讀取數(shù)值。測(cè)試電極的距離一般可以選擇1m左右，根據(jù)測(cè)試對(duì)象的不同測(cè)試電極的間距可以適度調(diào)整。測(cè)試電極100V DC兆歐表圖9 表面電阻測(cè)試測(cè)試時(shí)要保持被測(cè)試表面和探頭與被測(cè)體的接觸面清潔、測(cè)試電極和被測(cè)表面接觸良好。每個(gè)樣本在內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)

9、試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合防靜電性能指標(biāo)才為合格，否則為不合格。2.2 靜電電壓、摩擦電壓及其衰減時(shí)間測(cè)試測(cè)試靜電電壓采用非接觸靜電場(chǎng)測(cè)試儀，主要兩種，一種是能精確到1伏TRE心司520型，如圖12;另一種是只能精確到 10伏ESD SYSTEMS司42721型，如圖13。測(cè)試靜電電壓時(shí)測(cè)試探頭與被測(cè)件的距離保持在1英寸左右圖12靜電場(chǎng)測(cè)試儀圖13靜電場(chǎng)測(cè)試儀測(cè)試時(shí)靜電場(chǎng)測(cè)試儀的接地端要接地，保證測(cè)試讀數(shù)準(zhǔn)確。TRC。司520型可以測(cè)試小面積的和一點(diǎn)的靜電，而ESD SYSTEMS司42721型只能測(cè)試較大面積的靜電。1） 摩擦電壓測(cè)試方法：手持干燥和干凈的棉布以每

10、分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測(cè)物品表面，摩擦次數(shù)為20次。再用測(cè)試儀測(cè)其靜電壓。2） 靜電衰減時(shí)間測(cè)試方法：被測(cè)物體充電或摩擦后具有較高的靜電電場(chǎng)強(qiáng)度，采用靜電場(chǎng)測(cè)試儀立即測(cè)試其靜電電壓并記錄開始時(shí)間，保持測(cè)試狀態(tài)不變，觀察靜電電壓逐步降低到要求數(shù)值時(shí)的時(shí)間段即為靜電衰減時(shí)間。每個(gè)樣本內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合 防靜電指標(biāo)才為合格，否則為不合格。2.3 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度測(cè)試采用簡(jiǎn)易離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀，參見圖15。首先用靜電發(fā)生器產(chǎn)生1KVI電并傳導(dǎo)到靜電探測(cè)儀的隔離金屬測(cè)試板上，

11、如圖 15所示，然后將帶 隔離測(cè)試板的靜電探測(cè)儀a.移至如圖10所示的測(cè)試點(diǎn)和，檢驗(yàn)離子風(fēng)機(jī)的消電時(shí)間（從1KVF降至100V）;b.移至有效范圍（長(zhǎng)度：距離離子風(fēng)機(jī) 14feet ;寬度：距離中心線土 6英寸）內(nèi)的任意測(cè)試點(diǎn)， 檢驗(yàn)離子平衡度（即消電所能達(dá)到的最低值）。圖15離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試注意：測(cè)試過(guò)程中隔離金屬板不能碰觸任何物體。2.4 接地電阻測(cè)試2.4.1 防靜電地極的接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：接地電阻測(cè)量?jī)x測(cè)試方法，參見圖17。1）將被測(cè)試地極用導(dǎo)線接于儀器端子E;2）在相同直線方向20n 40砌濕土地處，分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針，各接于儀器端子P、G3）設(shè)置“倍率盤”倍數(shù)

12、；4）自緩至快搖動(dòng)儀器手柄，達(dá)到約 120r/min ,調(diào)整“測(cè)量標(biāo)度盤”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)乘以 倍率標(biāo)度，即為接地電阻值；5）按測(cè)試步驟c、d反復(fù)測(cè)試35次，取平均值。圖17防靜電地極接地電阻測(cè)試2.4.2 防靜電地面接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：兆歐表和探頭測(cè)試方法，參見圖18。1）按圖18的a、b所示，劃分測(cè)試網(wǎng)格；2）按圖18的c、d所示，隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)；3）將待測(cè)地面全部網(wǎng)格看做樣本大小（批量范圍），以一般檢查水平II ,確定樣本大小字碼；再用“正常檢查一次抽樣方案”。4）按圖18的e所示，測(cè)試地面表面電阻。5）按圖18的f所示，測(cè)試地面對(duì)地極母線電阻。100V DC兆歐表接地母線防靜電

13、地面測(cè)試電極小 50 2kg7777777777777f地面對(duì)地極母線電阻測(cè)試圖18地面表面電阻和地面接地電阻測(cè)試2.4.3 設(shè)備、儀器、工具的接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：兆歐表和萬(wàn)用表測(cè)試方法：分硬接地測(cè)試和軟接地測(cè)試硬接地測(cè)試：用兆歐表或萬(wàn)用表的歐姆檔測(cè)試儀器、設(shè)備、工具上的金屬接地點(diǎn)到接地母線之間的 電阻。軟接地測(cè)試：用兆歐表的 MQ檔、測(cè)試極一端連接測(cè)試點(diǎn)，另一端連接接地母線，采用系統(tǒng)電阻測(cè) 試方法進(jìn)行測(cè)試。2.5 防靜電臺(tái)墊、地墊的防靜電性能測(cè)試防靜電臺(tái)墊和地墊的測(cè)試方法相同，主要測(cè)試表面電阻和接地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)工作臺(tái)墊 /地墊的每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于 3個(gè)測(cè)試點(diǎn)，取平均值。

14、測(cè)試方法：按照表面電阻測(cè)試方法測(cè)試臺(tái)墊、地墊表面電阻；按圖19-a所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻；按圖19-b所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻/接地電阻。圖19工作臺(tái)面防靜電測(cè)試2.6 人員防靜電裝備的防靜電性能測(cè)試2.6.1 工衣、工帽、手套的測(cè)試方法工衣、工帽、手套主要測(cè)試表面電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于5點(diǎn)，取平均值。工衣、工帽、手套的表面電阻測(cè)試方法相同，在絕緣平面上進(jìn)行測(cè)試。工衣需要測(cè)試袖對(duì)袖、片對(duì)片、同一片上兩點(diǎn)之間的表面電阻。工衣表面電阻測(cè)試參見圖 20。圖20工衣表面電阻測(cè)試2.6.2 工鞋、鞋跟的測(cè)試方法工鞋主要測(cè)試體積電阻和人

15、體穿著時(shí)的系統(tǒng)電阻。按圖21所示，用兆歐表測(cè)試鞋底體積電阻（內(nèi)電極由總重量為4KG直彳為5MM的鋼球組成）。由于工鞋底面過(guò)窄或不平，電極重量有限，壓力不足，電極和工鞋底面不能良好接觸導(dǎo)致測(cè)試誤差較大。因此工鞋的測(cè)試可以按照人體穿著工鞋的實(shí)際情況測(cè)試人體和工鞋的系統(tǒng)電阻。圖21工鞋體積電阻測(cè)試防靜電鞋跟需要測(cè)試鞋跟的體積電阻和鞋跟帶到鞋跟底部的系統(tǒng)電阻。鞋跟的系統(tǒng)電阻可以按照人體穿著鞋跟的實(shí)際情況進(jìn)行測(cè)試（人體和鞋跟的系統(tǒng)電阻）。2.6.3 腕帶的測(cè)試方法腕帶的內(nèi)表面表面電阻、腕帶的外表面表面電阻、腕帶的電纜連接系統(tǒng)電阻、人體佩帶腕帶的系統(tǒng) 接地電阻需要進(jìn)行分別測(cè)試。測(cè)試方法：按圖22-a所示，

16、用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣的表面電阻。按圖22-b所示，用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻。b腕帶連接由縝系統(tǒng)皿Hl腕帶的外表面表面電阻就是用兆歐表測(cè)試腕帶外表面對(duì)電纜扣的表面電阻。a腕帶內(nèi)表面表面電阻圖22腕帶系統(tǒng)電阻測(cè)試2.7 周轉(zhuǎn)工具的防靜電性能測(cè)試2.7.1 周轉(zhuǎn)箱、托盤、器件盒的測(cè)試周轉(zhuǎn)箱、托盤、器件盒主要測(cè)試表面電阻、體積電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于3點(diǎn)，取平均值。按照?qǐng)D23,用兆歐表測(cè)試器具的表面電阻和體積電阻。100V DC兆歐表a器具表面電阻測(cè)試板狀輔助電極測(cè)試電極<(> 50 2kgb器具體電阻測(cè)試100V DC兆歐表圖23器具

17、防靜電性能測(cè)試2.7.2 周轉(zhuǎn)車的測(cè)試周轉(zhuǎn)車主要測(cè)試其對(duì)地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，不得少于 5點(diǎn)，取平均值。按照?qǐng)D24,用兆歐表測(cè)試物流車臺(tái)面對(duì)地的系統(tǒng)電阻。-1 測(cè)試電極小50 2kg100V DC兆歐表Y圖24周轉(zhuǎn)車的系統(tǒng)電阻測(cè)試周轉(zhuǎn)用的成形泡沫工具、包裝材料的測(cè)試方法參照防靜電包裝材料技術(shù)規(guī)范。2.8 防靜電小工具的防靜電性能測(cè)試防靜電小工具主要有毛刷、鐐子、吸筆、吸錫器、IC起拔器、防靜電粘膠紙等，它們的測(cè)試項(xiàng)目主要有表面電阻和摩擦電壓。3 附錄：附錄A :各類防靜電參數(shù)指標(biāo)要求(表)測(cè)試項(xiàng)目接地電阻 ()表向電阻 ()體電阻 ()系統(tǒng)電阻 ()摩擦電壓 (V)檢測(cè)周期 (至少)防靜

18、電地極接地母線與大地之間：V 4每半年儀器設(shè)備、裝 備、工具與接地母線之間：硬接地V 1;軟接地每月測(cè)試項(xiàng)目接地電阻 （）表面電阻 （）體電阻 （）系統(tǒng)電阻 （）摩擦電壓 （V）檢測(cè)周期 （至少）1X 10& Rgvix109防靜電 地板與接地母線之間：X106W Rgvix 109X 106w Rsv 19X 10V 100每月防靜電 烙鐵頭與接地母線之間：要求v 5可接受v 20每天腕帶人體腕帶接地電 阻：X106WRgW10 X 106腕帶內(nèi)表向?qū)?電纜扣電阻：W20K;腕帶外表向?qū)?電纜扣電阻：>1 X 107 ;腕帶連接電纜 電阻：> X 106 < X61

19、0每天（只檢測(cè) 腕帶系統(tǒng)電 阻是否通過(guò)）工鞋、 鞋跟X 106W RW 100X106X 106 W Rv<50 X 106X 106w RW 100X 106V 100每天（只檢測(cè) 工鞋、鞋跟系 統(tǒng)電阻是否 通過(guò)）臺(tái)墊、 地墊X 106< Rvv 1X1091 x 106< Rsv1 X 10 （止面） .一 3_1 X 10 w Rsv1 X 105（反面）1 X 106< Rvv91X 10V 100每季度工衣、工帽、 手套x 106< Rs< 1X 1010（點(diǎn)與點(diǎn)、袖對(duì)袖、 片與片）V 100每季度工作椅9<1X109<1X109<

20、;1X10（椅面對(duì)腳輪、 椅向?qū)勘常￢ 100每季度防靜電周轉(zhuǎn) 箱、托盤、器 件盒3 1 X 10 w Rsv1X 109.一 3_1 X 10 w Rvv1X 109V 100每季度防靜電周轉(zhuǎn)車1 x 103< Rsv1 X 109 （導(dǎo)軌 槽）1 x 106< Rsv 19 X 10V 100每季度防靜電傳送帶X 106< Rgv 1X1091 x 106< Rsv91X 101 X 106< Rv<91X 10V 100每季度屏蔽袋一11<1X10一11V 1 X 10V 100（屏蔽殘余 電壓V 100V）每季度測(cè)試項(xiàng)目接地電阻 （）表向電阻 （）體電阻 （）系統(tǒng)電阻 （）摩擦電壓