1、MEMS陀螺儀的選用要求一、MEMS陀螺儀簡介MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機械元素、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統。微慣性器件和微慣性測量組合技術的發展，導致新一代陀螺儀包括硅微機械陀螺儀、石英晶體微慣性儀表、微型光纖陀螺儀、微型光波導陀螺儀等產生和應用。目前，硅微機械陀螺儀應用范圍越來越廣泛，包括航空、航天、汽車、生物醫學、環境監控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領域中都有著十分廣闊的應用前景。硅微機械陀螺儀是利用coriolis定理，將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比的直流

2、電壓信號，其核心部件通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產的，它主要特點是1. 體積小、重量輕，其邊長都小于1mm，器件核心的重量僅為1.2mg。2. 成本低3. 可靠性好，工作壽命超過10萬小時，能承受1000g的沖擊。4. 測量范圍大，目前我公司生產的MEMS陀螺儀測量范圍可擴展到7560º/s。二、MEMS陀螺儀的選用陀螺儀在選用時，必須注意被測參數的物理環境和必要的性能指標。具體要求分列如下：1.性能要求 .隨機漂移、隨機游走系數、輸出噪聲不同結構形式、不同原理的陀螺儀的對漂移率定義和要求不同，機械式陀螺儀精度使用的是隨機漂移，光纖陀螺儀使用的隨機

3、游走系數。隨機漂移指由隨機的或不確定的有害力矩引起的漂移率。隨機游走系數由白噪聲產生的隨時間累計的陀螺儀輸出誤差系數。單位: º/h1/2、º/s1/2。輸出噪聲的單位：º/h/Hz1/2、º/s /Hz1/2 。輸出噪聲和隨機游走系數的關系如下：1º/h/Hz1/2=1º/60×h1/21º/s /Hz1/2=1º/s1/2MEMS陀螺儀使用的輸出噪聲這個指標。并且一定要選定合適的帶寬，在能滿足使用要求的前提下，盡量選擇帶寬較低的陀螺儀，因為帶寬越大，輸出噪聲越大。.測量范圍選擇陀螺儀的量程時，應注意以

4、下幾點：最大輸入角速率陀螺儀正、反方向輸入角速率的最大值，在此輸入角速率范圍內，陀螺儀標度因數非線性滿足規定要求。.閾值陀螺儀能敏感的最小輸入角速率。由該輸入角速率產生的輸出至少應等于按標度因數所期望輸出值的50。 單位：º/s、º/h。.分辨率陀螺儀在規定的輸入角速率下，能敏感的最小輸入角速率增量，至少應等于按標度因數所期望輸出增量的50。 單位：º/s、º/h。選擇陀螺儀的測量范圍時，最大的角速率是陀螺儀的量程的2/3，最小的角速率應該高于閾值、分辨率。.標度因數陀螺儀輸出量與輸入角速率的比值。它是用某一特定直線的斜率表示的，該直線是根據整個輸入角速率范圍內測得的輸入、輸出數據，用最小二乘法擬合求得。.標度因數非線性度在輸入角速率范圍內，陀螺儀輸出量相對于最小二乘法擬合直線的最大的偏差與最大輸出量之比。2.環境要求.溫度范圍要求，必須滿足陀螺儀使用的極限溫度。.線加速度與沖擊。必須滿足陀螺儀極限溫度.振動條件，分為正弦振動、隨機振動。3.基本物理參量主要指重量、體積、功率以及能源種類等方面的要求。4.可靠性和壽命。指的是抗沖擊、抗干擾的能力和有效的使用時間。三、MEMS陀螺儀的安裝使用1. 首先要認清陀螺儀上面的標識代表為角速率陀螺儀的輸入軸（按右手規則）朝上，角速度為逆時針方向。代表為角速率陀螺儀的輸