1、X射線熒光光譜儀1適用范圍本規(guī)范適用于使用中和修理后的能量色散X射線熒光光譜儀的校準(zhǔn)。2 參考文獻(xiàn)JJG810-1993波長色散X射線熒光光譜儀檢定規(guī)程SN/T2003.1:2005X射線熒光光譜法測鉛，汞，銘，鎘，澳SJ/T11365-2006電子信息產(chǎn)品中有毒有害物質(zhì)的檢測方法3 概述能量色散X射線熒光光譜儀用于固體、粉末或液體物質(zhì)的元素分析。工作的基本原理是X射線管發(fā)出的初級X射線激發(fā)試樣中的原子，測定由此產(chǎn)生的X射線的熒光的能量強(qiáng)度，根據(jù)各種元素特征X熒光光譜線的能量強(qiáng)度進(jìn)行元素的定性和定量分析。工廠購買能量色散X射線熒光光譜儀，主要用來確定產(chǎn)品中有害物質(zhì)含量是否超標(biāo)，主要依據(jù)是歐盟委

2、員會(huì)先后頒布的（2002/95/EC）指令和2005/618/EC決議。其中鉛（Pb）、汞（Hg）、六價(jià)銘（Cr6+）、多澳聯(lián)苯（PBB）、多澳二苯醴（PBDE）的最大允許含量為0.1%（1000mg/kg），鎘（cd）為0.01%（100mg/kg）該限值是制定產(chǎn)品是否符合RoHS指令的法定依據(jù)。金屬材質(zhì)只需要做重金屬檢測（鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻），塑料材質(zhì)需要做規(guī)定的六項(xiàng)（鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻、多溴聯(lián)苯、多溴二苯醚），其它材質(zhì)只需做重金屬測試。X射線熒光光譜儀主要作用是做有害物質(zhì)總含量的分析，對產(chǎn)品起到快速篩選的作用。基體matrix含有或附有被分析物的材料或物質(zhì)。背景background疊加在

3、分析線上的連續(xù)譜，主要來自試料對入射輻射的散射。檢出限limitofdetection在一定置信水平下能檢出的最低含量。干擾線interferencelines與分析線重疊或部分重疊，從而影響對分析線強(qiáng)度進(jìn)行準(zhǔn)確測量的譜線。4 計(jì)量性能要求4.1 外觀4.1.1 儀器應(yīng)有儀器名稱、制造廠、出廠日期和編號的標(biāo)志。4.1.2 所有部件連接良好、動(dòng)作正常。4.1.3 面板上的儀表、指示燈和安全保護(hù)裝置工作正常。4.2 技術(shù)性能技術(shù)性能包括儀器對塑料材質(zhì)中有害物質(zhì)（鉛、汞、鎘、鉻、溴）測試時(shí)的檢出限、示值誤差、重復(fù)性、穩(wěn)定性；以及對金屬銅合金中重金屬檢測（鉛、鎘、鉻）測試時(shí)的檢出限、含量測試示值誤差、

4、重復(fù)性、穩(wěn)定性。5 校準(zhǔn)條件5.1 校準(zhǔn)的環(huán)境條件5.1.1 環(huán)境溫度：（1528）5.1.2 相對濕度：70%,或按儀器說明書規(guī)定。5.1.3 電源：電壓AC（220±22）V5.1.4 儀器及電源應(yīng)有良好接地。5.2 校準(zhǔn)設(shè)備5.2.1 EDX塑膠標(biāo)準(zhǔn)樣品5.2.2 EDX銅合金標(biāo)準(zhǔn)樣品6 校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法6.1 外觀及儀器工作性能正常性檢查：外觀參照CEST/CAL/GC174-200碗4.1條進(jìn)行。儀器工作性能正常性檢查：選用儀器自帶能量、強(qiáng)度、分辨力校正用樣品，設(shè)置好工作條件：X射線源電壓：（40kV或者50kV）并設(shè)置300s測量時(shí)間，分別對儀器的能量、強(qiáng)度、分辨力進(jìn)行

5、校正，通過校正后再對儀器進(jìn)行測試。6.2 測試塑膠樣品儀器計(jì)量性能校準(zhǔn)：6.2.1 測試塑料樣品時(shí)儀器檢出限校準(zhǔn)：選用EDX塑膠空白標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為C-H0-B-F-301BA）,X射線源電壓：40kV或者50kV,調(diào)節(jié)電流300A并設(shè)置300s測量時(shí)間來計(jì)算鉛、汞、銘、鎘和澳的檢出限，x射線熒光光譜儀器檢出限，計(jì)算公式為：LLD=3RbmTb式中：m-單位濃度的每秒計(jì)數(shù)Rb-背景的每秒計(jì)數(shù)Tb-背景計(jì)數(shù)時(shí)間（總分析時(shí)間的一半）實(shí)際應(yīng)用中采用對EDX塑膠空白標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為C-H0-B-F-301BA）進(jìn)行10次測量，以各元素10次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的3倍表示，計(jì)算公式為：LLD=3sa式中：s

6、a-EDX塑膠空白標(biāo)準(zhǔn)樣品10次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差6.2.2 測試塑料樣品時(shí)儀器重復(fù)性、穩(wěn)定性校準(zhǔn)：校準(zhǔn)條件：無濾光片，X射線源電壓設(shè)置在40kV或50kV,調(diào)節(jié)電流3006，空氣光路。儀器測試條件設(shè)置為測試塊體塑膠樣品，并且調(diào)用合適的測試用工作曲線，使用儀器配套的標(biāo)準(zhǔn)樣品做定量校正。當(dāng)儀器通過校正后進(jìn)行計(jì)量測試。測試方法：將EDX塑膠標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為C-H30-B-F-5-301BA）,放在測試區(qū)域，重復(fù)性以10次連續(xù)重復(fù)測量的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，穩(wěn)定性以10次連續(xù)重復(fù)測量示值中最大與最小值之差除以示值平均值RR表示。111x（Ii-I）2y重復(fù)性RSD-n1100%I穩(wěn)定性（RR）=Im

7、axTminM100%I式中，Iii次測量的計(jì)數(shù)率；I10次測量的計(jì)數(shù)率的平均值。Ima-10次測量中的計(jì)數(shù)率的最大值Imin-10次測量中的計(jì)數(shù)率的最小值實(shí)際校準(zhǔn)中儀器給出的是標(biāo)準(zhǔn)樣品中相應(yīng)元素含量值（以mg.kg表示）,EDX塑膠標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為C-H30-B-F-5-301BA）相應(yīng)元素含量值如下表：73?CrHgBrCdPb含量(mg/kg)470470300290450各元素測量重復(fù)性10次連續(xù)重復(fù)測量示值的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，穩(wěn)定性以10次連續(xù)重復(fù)測量示值中最大與最小值之差除以示值平均值RR表示：示值誤差二x-x標(biāo)準(zhǔn)X100%x標(biāo)準(zhǔn)nWOS(x-x)2重復(fù)性(RSD)=VM1X

8、100%n-1x穩(wěn)定性（RR）=xmax7xminX100%x式中：x為第i次測量值xmax-10次測量中的最大值xmin-10次測量中的最小值x10次測量平均值xfe71標(biāo)準(zhǔn)樣品給定值6.3測試銅合金樣品儀器計(jì)量性能校準(zhǔn)：6.3.1 測試銅合金樣品時(shí)儀器檢出限校準(zhǔn)：選用EDX銅合金空白標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為GBR1-2）,X射線源電壓：50kV,調(diào)節(jié)電流300A并設(shè)置300s測量時(shí)間來計(jì)算鉛、銘和鎘的檢出限，x射線熒光光譜儀器檢出限，計(jì)算公式為：LLD=3Rbm：Tb式中：m-單位濃度的每秒計(jì)數(shù)Rb-背景的每秒計(jì)數(shù)Tb-背景計(jì)數(shù)時(shí)間（總分析時(shí)間的一半）實(shí)際應(yīng)用中采用對EDX銅合金標(biāo)準(zhǔn)樣品系列進(jìn)行測

9、試，設(shè)置好測試時(shí)間，在儀器工作狀態(tài)良好的情況下，使用EDX銅合金標(biāo)準(zhǔn)樣品（GBR1-2、GBR2-3、GBR3-2、GBR4-2、GBR6-2）制作各元素標(biāo)準(zhǔn)工作曲線，用線性回歸法計(jì)算工作曲線斜率。EDX銅合金空白標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為GBR1-2）進(jìn)行10次測量，以EDX銅合金空白標(biāo)準(zhǔn)樣品各元素10次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差與靈敏度之商的3倍表示，相應(yīng)元素含量值如下表（單位：mg/kg）:編號-元素PbCdCrGBR1-2000GBR2-3104227980GBR3-219816433GBR4-293551201GBR6-251197169計(jì)算公式為：LLD=3sa/S式中：sa-EDX銅合金空白標(biāo)準(zhǔn)樣品

10、各元素10次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差S測EDX銅合金空白標(biāo)準(zhǔn)樣品各元素的靈敏度6.2測試銅合金樣品時(shí)儀器重復(fù)性、穩(wěn)定性校準(zhǔn)：校準(zhǔn)條件：無濾光片，X射線源電壓設(shè)置在50kV,調(diào)節(jié)電流300后，空氣光路,儀器測試條件設(shè)置為測試塊體塑膠樣品，并且調(diào)用合適的測試用工作曲線，使用儀器配套的標(biāo)準(zhǔn)樣品做定量校正。當(dāng)儀器通過校正后進(jìn)行計(jì)量測試。測試方法：將EDX銅合金標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為GBR6-2）,放在測試區(qū)域，重復(fù)性以10次連續(xù)重復(fù)測量的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，穩(wěn)定性以10次連續(xù)重復(fù)測量示值中最大與最小值之差除以小值平均值RR表小。11%（Ii-i）2i41重復(fù)性RSD1-1100%I穩(wěn)定性（RR）=Imax二Im

11、inM100%I式中，Iii次測量的計(jì)數(shù)率；I10次測量的計(jì)數(shù)率的平均值。lma-10次測量中的計(jì)數(shù)率的最大值Imin-10次測量中的計(jì)數(shù)率的最小值實(shí)際校準(zhǔn)中儀器給出的是標(biāo)準(zhǔn)樣品中相應(yīng)元素含量值（以mg.kg表示），EDX銅合金標(biāo)準(zhǔn)樣品（編號為GBR6-2）相應(yīng)元素含量值如下表：CrCdPb含量(mg/kg)16997511各元素測量重復(fù)性10次連續(xù)重復(fù)測量示值的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，穩(wěn)定性以10次連續(xù)重復(fù)測量示值中最大與最小值之差除以示值平均值RR表示：示值誤差=x-他氏100%x標(biāo)準(zhǔn)nTO£（xi.X）21重復(fù)性（RSD）=12x-100%n-1X穩(wěn)定性（RR）=xmax二xmin父100%