1、無塵室電纜集塵問題研究對于潔凈室壞境來說，電纜拖鏈中的電纜集塵是一個復朵的問題。為了盡量減少集 塵，需要盡可能地避免電纜以及套管之間的摩擦。盡管通過減少運動器件可以減少 集塵，但是b動牛產線上電纜的運動不可避免。另外，用于分隔圓形電纜和套管的 分隔片和支架是產生集塵的另一個因素。如果不使用分隔片，或者分隔片沒有正確 的安裝，電纜以及套管z間的摩擦將導致這些部件的蠕變、移動或扭曲，這樣就會 增加集塵。為了獲得能運行上千萬次壽命的低集塵電纜系統，系統設計工程師應盡可能減少運 動器件的數雖，以及這些零件z間的摩擦。電纜拖鏈制造商會提供詳盡的正確安裝 和使川電纜的指南，它決定了你的電纜系統潔凈度。然而

2、，川在潔凈室環境的電纜 和電纜拖鏈應該經過測試確定電纜材料的集塵特性，以及電纜在整個系統的相耳作 用問題。測試設計為了鑒別集塵是由電纜述是電纜拖鏈造成的，將相同的扁平電纜放在同一廠家生產 的兩種不同的電纜拖鏈中進行了測試。在測試中，選擇了兩種非金屬電纜拖鏈：一 種是低振動，無噪音的清潔型電纜拖鏈（拖鏈a）, 一種是帶冇鏈環和銷的傳統拖 鏈（拖鏈b）。除了測試了 gore無拖鏈電纜（tk31540-01 ）,還對三種電纜拖鏈 組合作了評估：-電纜拖鏈a,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜，一根電纜柱放在另一根上而 -電纜拖鏈b,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜，-根電纜疊放在另-根上面-電纜拖鏈a,安裝2根圓

3、形電纜，一根電纜放在另一根旁邊，無分隔器。為了使 對電纜的摩擦最小，設計了具冇足夠空間的拖鏈使這兩條関形電纜z間不會彼此接 觸。每個電纜拖鏈垂直放直，與潔凈室的空氣流動方向相對應，以確保產牛的所有微粒 都被記錄下來。先確定最有可能產生集塵的電纜拖鏈的關鍵地方，光學微粒記數器 放置在每根電纜的這些區域的三個位置（見圖do每個記數器會記錄0.1至5.0 微米大小的微粒。在每個測量點對產牛的懸浮微粒作100分鐘記錄，每根電纜分 別在運行速度0.5米/秒、1.0米/秒、20米/秒作測試。然后使用數學方法按微粒尺寸（0.1、0.2、0.3、0.5、1.0和5.0微米）計算每個測 量點的最大數，按照gui

4、delinevdi2083part9.1標準確定集塵數量。為了能測定每 個電纜拖鏈系統的運行實效，死勞恩霍夫研究所使川這些結果來確定授高集塵量的 測量點。運行實效被用來確定iso潔凈度認證的等級。圖1 光學微粒記數益放置在每根電纜最有可能產4：集塵的三個位置 結果 光學微粒記數器記錄了無拖鏈電纜（見表1）和裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈a 在每個測量點產生0個微粒（見表2）。按照vdiguideline2083和iso14644-1標 準的集塵可能性的計算方法，測定這些電纜在上述測試速度的集塵可能性低于 0.1%。母乂方央尺2徽粒個鴕速度衛超出極限值卩的可能性q0.5米帕1.0米枷2.0米帕0.

5、1 |imu. uu. uu. u< 0.1%p0.20.00.2u. u< 0.1%0.3沖心u. u0.0u. u< 0.1%p0.5 pm-po.op0.2u.u< 0.1%31.0 |imo.op0.20.0< 0.1%p5.00.00.20.0< 0.1%表1.無拖漣電纜的光學微粒記數結果*2爲立方英尺儀徽粒個數3a速度卩超過極限值的可能性90.5米砂1.0米砂.2.0米砂0.1 |im祕0.20.0pu.u< hi%q0.20.20.00.2< h1%q0.3 (imao.op0.20.0p< 0.1%q0.5 |ima0.20

6、.0p0.0p< 0.1%1.0 |imq0.00.20.2< 0.1%p5.0 |im祕0.0pd20.2< hi%q表2裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈a在每個測量點產生0個微粒安裝圓形電纜的拖鏈a在不同運行速度都產生了不同數量的微粒（見表3）。按照vdiguideline2083和is014644-1標準，鑒定這種電纜拖鏈/電纜裝置產牛集塵的 可能性是3%o斑立方英尺"極個婦速度丿0 5米砂q趨過極限值,餉可能性21.咪砂q趙過極限值“的可能性門速度p2咪妙,超過極限仙的可能性心00%< 0.1%-2 知0 0卩< 0 1%0.2 utm*0.1<

7、;0.1%-13<0.1%0 2<0.3 nm10.p< 0q1.20 0q< 0曲0.50.20.2%0.20 2< 0.%10 ur033耐0牛0.8%-2<0 1%5 0 nxn*10.2<0.1%<0.33.0%<03< 0.1%忌 丈冬回及電笠扭巫哥.正不亙旦亍謹度都產生7不鹽雖的殺粒“安裝髙柔性扁平電纜的拖鏈b在不同運行速度下也產牛了不同數量的微粒（見表4）o按照vdiguideline2083和iso14644-1標準，鑒定這種電纜拖鏈裝置產生集i；的可能性是3%0毎立芳英只"速度迪嵐超過卿艮值"総粒

8、個數q0 5米砂的可能性卩1,0匸的可能性22 0米砂門的可能性"0.1曲1小1.%<0.1%06< 0>皿< 0.1%-0 2屮20。<0.1%畑< 0 1% 門03< 0.1%0.3 nmq0如< 0.1%-03廠<0.1%0.7"3.0%->0.5 屮20如< 0.1%-03心< 0 1%20.6p3.%10曲”03<0.1%<0.2"0.53.0%小5.0 肛30.31.6%-020.6%0.22耐表4安裝鬲柔性扁¥電珈的拖璉不圖運療連痕下也產生7不冋數雖的撒粒當運行行程不超過1.5米時，這些電纜不需要電纜拖鏈、分隔器和支架，所以這些 電纜能非常可靠地應用在1級潔凈室。通過測試安裝在兩種不同電纜拖鏈的高柔性 扁平電纜表明，集塵是由電纜拖鏈造成的。高柔性扁平電纜在拖鏈往返彎折運動的 集塵量是最低的。除了不需要電纜拖鏈里的分隔器和支架外，電纜的扁平結構均勻 分布對電纜護套的作用力，這樣就減少了對電纜護套的磨損，以及由于運動引起的 摩擦。通過將所有電纜、軟管和光纖結構都放直在高柔性扁平電纜內，就可使用更 小更輕的電纜拖鏈。在使用帶拖鏈的圓形電纜系統時，為使集塵產生量最少，僅測