1、線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第1頁一.目的：加工多晶硅片二使用的工具刀片洗瓶鏟子扭矩扳手 常用工具一套電叉車換導輪車 焊接機三.必備的勞保用品一次性醫用手套護目鏡防滑工作鞋布圍裙防水套袖工作服工作帽四使用的主要原材料無水乙醇布基膠帶鋼線滑輪外套絕緣轉子漿料五. 質量控制點搬運裝載晶棒；分線網切割位置調整；六. 工藝流程更換放線軸t線網準備t切割前準備t晶棒裝載t 設零點t 熱機t整理線網t熱機檢查T自動切割T機床監視T運行結束T移除舊線冷卻晶棒T取片七工藝步驟1.更換放線軸 去除張力（右圖紅色按鈕）。 剪斷鋼線，然后用磁鐵將線頭固定在機床內壁上。 拆除線軸螺絲，拿走法蘭盤，用工具車取下舊

2、線軸并放到指定區域內。資料來源編制審核工藝提供部門標準化標記處數更改文件號簽字日期批準線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第2頁 用毛巾清潔適配器和法蘭盤，并用工具車準備好新收線軸，破線端口表面毛刺用銼 去除。 安裝上新線軸。用定位銷固定方向。 確保線軸位置正確。首先將扭矩扳手調到 lOON.m將螺絲擰緊，再調到180N.m進一步緊固螺絲，緊固須按下列步驟：銷子卡位-緊螺絲-轉線軸180度卡位-緊固。如此反復幾次到250N.m。這樣線軸的受力均勻而且緊 固。部分機床收線軸排線，采用液壓錐形軸，當切割結束時，關閉繞線室，鎖好門，點 擊“鋼線控制”把鋼線彈出，用手把舊線拆卸到舊線箱內，擦凈法蘭盤及錐

3、形軸測距儀，重新上好法蘭盤螺絲。 測量排線：用鋼板尺測量收線軸排線區域內外壁到機床壁的距離，比如測量值分別是54mm 364mm把內排線位置設置為 54mm,點擊“排線內側位置按鈕”，待排線單元靜 止后，測量滑輪外套的外邊緣到機床壁的距離，比如：測量值是67mm那么排線單元的真實位置是：67-13=54mm （13mm為滑輪外套厚度的一半）。此時說明排線單元位置是正確 的，如果不相符，請技術員做位置校正。 預熱完成后，如果排線不正常（凸起、凹陷等）， 繼續測量并調整排線設置直至正常。2.裝載定位硅棒線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第3頁 啟動主驅動，按照圖2標示方向旋轉幾圈，然后搭接在線網上

4、表面，這樣能防止線結頭被其 他鋼線卷入線網而導致斷線。用手輔助線結進入線網一段距離。線結兒走過200-300m 后改成高張力走線。0.14mm鋼線（24； 22N） ,0.12mm鋼線（22;20N）。0.13mm 鋼線（22 ； 20N），0.11mm鋼線（19;19N），0.10mm鋼線（15;15N） 整理跳線：由于槽內存在顆粒物，將鋼線擠出原來的線槽，鋼線進入其他線槽而形成跳線。上下導輪垂直方向兩個線槽中，只有一個跳槽的，稱為單向跳 線，可以用手校正，使鋼線恢復原位。下導輪跳線時應該用手壓住該跳線的上方區域，同時正轉線網，直至拇指壓住的區域到達下導輪；上導輪跳線處理方 法相反。3#（下

5、導輪單向跳線處理圖片）上下全部跳槽的，需要用膠帶粘住“未跳線”區域的部分線網，整體向前（跳線位置在線網后半部分）或向后（跳線位置在線網前半部分）轉動線網，以校正跳線。#（膠帶方法整理雙向跳線圖片）#線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第4頁啟動主驅動，激活 wire break control，關門上鎖。控制在15m/s以內，注意隨時從觀察門觀察線結狀態，如有異常 網有縫隙等）馬上停止，檢查并修復。 等線結快出線網時（圖4）,降低速度，并用手輔助線結緩慢的通過線網末端,在線網形成處，慢慢前進，以避免線結出線導輪時相鄰鋼線“撞開”線結。這 可能會導致鋼線斷開，進而整個線網全部散開。4#把線結繞到收

6、線軸上幾圈后，再檢查線網有無跳線、交叉等現象。更改高張力，轉動線網，使整個線網的分布均為高張力。4.切前準備在開始切割之前，必須檢查以下內容:-鋼線是否足夠，在控制面板上檢查鋼線長度-輸出軸上的間空是否足夠切割-檢查張力壁的垂直位置是否合適-排線位置是否適當及調整是否正確檢查滑輪外套（A正常）是否切深夾線，滑輪方向是否適合鋼線，鋼線偏的話調整滑輪方5線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第5頁6#如已更換了線網，檢查正確的操作程序， 輸入輸出滑輪的對齊情況，與硅棒尺寸相關的線 網大小，等等。-漿料導出管有無泄露-冷卻水流量和壓力是否適當-檢查所有的溫度（漿料頂、底部，導輪前后軸承，電器柜）-硅棒的

7、位置及夾持情況工作臺的垂直位置，降至硅棒頂面上方即可漿料簾是否均勻在控制面板上，檢查切割工藝是否正確 5.晶棒裝載按步驟2操作將其他晶棒裝載到機床 6.設置零點然后慢手動降工作臺讓四條晶棒導向條剛剛接觸線網并點擊觸摸屏主界面設零點按鈕,速將工作臺升至-1.5mm位置真正設零點并命名切割編號。7.預熱線網無跳線后，啟動預熱程序，鋼線回線率WARM tJP廠9 故 ° !M設定為98%，熱機5分鐘。8.整理線網檢查四個輪線網有無跳線，有跳線的整理線網，用壓縮空氣沿上下方向吹出導輪槽內的顆粒雜物，整理完畢后再預熱 5分鐘，繼續檢查直到無跳線。線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第6頁79.自

8、動運行重新設定預熱時間3分鐘，鋼線回線率為0%,啟動切割程序。#操作者認真填寫質量跟蹤單。清理線鋸周圍及機床本身衛生。10.運行監視每30分鐘觀察線網跳線并作記錄每30分鐘觀察線網跳線并作記錄、砂簾有無斷流、回、砂簾有無斷流、回砂溫度應低于 39.8 C、線弓情況并給予紀錄，參與切割的砂溫度應低于 39.8 C、線弓情況并給予紀錄，參與切割的線網與縫隙、邊緣線網的高度差就是線弓高度，正常線弓在5-7mm之間，如果某根鋼線線弓大，導致接地報警（切到護板）可能是硬點所致（一般在硅塊底部），此時要停下機床,d工作臺靜止，直到線弓去d能將雜質片去除的就去除，去不掉的，打開漿料、啟動鋼線轉動、#除后自動

9、運行。回砂溫度超過 39.8 C （切割階段除外）應停機更新部分漿料，更新量由技術員確定。Tob*s speed ipdinia -Up &時&憂尚wire:-Wilre 苫 fjwd- Wtire speed pwftl吉-Rrtr :f »f|：| Th f rif-ri- irinl -： >#線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第7頁11.運行結束結束前5分鐘，準備好新鋼線，取片小車，電筒，紙板，裝護板的小車，從粘接室取出晶棒，復核崩邊情況是否與記錄紙一致。如果不一致做好記錄。結束前1分鐘，記錄結束時 間，結束密度。自動切割結束，機床會報警，開門用手電照明

10、檢查是否切透。12.移除舊線 剪斷收線軸鋼線，關閉鋼線管理室安全門并加鎖，點擊液壓松開按鈕并確認。安全門關好后，激光檢測燈點亮;8# 等待液壓活塞完全打開到位后（顯示狀態如圖），開安全門;# 用扳手松開法蘭并取下；打開固定外盤的螺絲;#取下外盤，將松散的鋼線放入盛放廢線的容器中;#線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第8頁用酒精清潔法蘭、外盤、支架，收線軸;法蘭和外盤復位安裝;10線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第9頁13.冷卻晶棒拆除線網兩側的擋板，取消斷線控制Wire break control。記錄下 ABCD導輪上的跳線數量情況。用鏟子把夾在晶棒中的掉片鏟下來，打開漿料，曾於正向轉動導

11、輪0.4m/s冷卻晶棒10分鐘，使軟化的膠冷卻，防止硅片倒伏。在此冷卻時間內更換收線軸。14.取片操作啟動主驅動速度設置為0.4m/s，并以100 mm分鐘的臺面速度自動返回到頂部（線網不轉時工作臺30mm/min），當線網還有10mm脫離硅片時，停止線網轉動。上升過程中檢查線網，以確保沒有掛片。若出現在硅片倒角處大量掛線可能導致質量事故時要按緊急預案處理:夾線可能帶碎硅片，如果有夾線，可以降低工作臺速度30mm/mi n;仍然掛片的話，停止轉動，剪斷該線，直接提升工作臺。剪線時應注意每次少剪（3毫米），拉出時觀察不能有鋼線打結現象，直至把掛線全部剪掉抽出再提工作臺。如果鋼線打滑，其現象為線網

12、斷續轉動，此時應加速線網轉動，高速度可以克服打滑，穩定后再把線網降速，同時提升工作臺。若發現大量掛線現象要立即停止工作臺上升，控制工作臺下降使線網重新進入玻璃,，從收線軸開始剪線網,1（自動上升）（取片）'-二 1 一，.L11 r12線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第10頁13（翻轉桿安裝）（翻轉硅片）松開硅棒夾緊裝置，兩人配合小心取出硅棒，翻轉晶棒時盡量同步，按順序依次擺在小車上。因硅片較薄，移動時要慢。分線網切割的硅片需要第三個人保護中間部位，助力翻轉。 依此類推取出四個硅棒。估算合格率:a理論出片數=硅塊總長度/槽距-4 *硅塊數（只去頭部的2*硅塊數）b崩邊片數=（切前崩邊

13、長度+切后崩邊長度）/槽距c掉片數=掉片區長度/槽距d跳線切斜數=跳線數*4不合格數=b+c+d合格率=1-不合格數/a 認真填寫質量跟蹤單。為下一次運行準備線網及其他工作。八、注意事項 每運行一次放線軸更換， 同時清理過濾網、漿料嘴及側面護板，更換切深的滑輪外套; 機床中轉缸每10次清空一次，過濾網每次清潔吹干； 滑輪外套和絕緣轉子每次按規定檢查并記錄到質量跟蹤單，入線口滑輪外套每兩次拆下，用壓縮空氣吹凈后檢查，如果外套松動或切深，立即更換；#線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁|第“頁 及時了解硅片的切割質量（通過清洗工序），以便于及時對線鋸做出調整； 工具用完后，擦凈放回原處。使用后的漿料

14、一定要打塑料桶的大概 90%不要太滿避免溢出，擦凈、在桶頂做好標示貼好標簽、拉到指定地點； 各班班組長每周一白班要將所有的運行記錄（破錠機、去頭尾、線鋸）集中整理后交到統計員處統一保管； HCT切156x156規格硅片的機床，導輪壽命使用次數參照第17頁“導輪壽命對照表”特殊情況下（如勒傷、槽深等）可馬上更換； 清洗機床后，打入舊砂漿，熱機10分鐘，把水分帶出，然后清空舊砂漿，換新砂切割。 自動切割過程中，E500SD-5機床的激光測試傳感器不要磕碰。九、建立新線網方法1）織線網用透明膠帶繞在線導輪外，有膠的一面朝外。繞3-4圈,這樣膠帶可將四個線導輪固定以防止其滑動； 將鋼線固定在膠帶上。放

15、線張力設置為10N低張力狀態； 啟動主驅動，以0.1m/s的速度旋轉線導輪。 把第1根鋼線安裝在線網開始處，即推動鋼線至線導輪的第二個線槽，然后拉下一根線，放到第三個線槽里，依次類推約需20根線，均勻的放到線槽里，不能有跳線和重疊； 停止主驅動器運行。把一束線固定在線網開始處，即用灰色膠帶將它和8根鋼線平行粘起來；15線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第12頁 開啟主驅動，速度設為0.1m/s，讓機器自動生成線網。當鋼線達到一定的數量（寬度約為50mm，關閉主驅動器，移走透明膠帶。繼續生成線網； 在線網快生成時，降低速度，緩慢的轉動線導輪，直到鋼線剛好布滿所有線槽； 停止轉動，拿開膠帶并截斷最

16、后一根鋼線。把鋼線拉到收線軸上，再繞上幾圈； 快速（2m/s）轉動1、2分鐘，停止機床，檢查線網有無跳線、交叉現象并糾正。2）線網織好后恢復正常模式，高張力狀態下鋼線前進4000米（導輪上鋼線的長度）。分線網切割需要從中間剪斷線網，再過線結進行調整。十、斷線處理：1 ）出線口斷線處理： 線網斷線處線頭和纏繞到線導輪上的鋼線清理干凈，如果硅片中間有鋼線要及時清理干凈，防止鋼線纏繞造成其他部位斷線和誤報警發生； 在斷線處抽取最外邊的一根鋼線連接的收線軸。調整出線口滑輪的位置與鋼線垂直； 檢查并排除斷線的原因， 徹底檢查出線口側的滑輪和收線軸的狀態。如果是排線不均造成的斷線，需要更換收線軸； 啟動切

17、割，手動加速到切割速度后，點擊切割運行。2）入線口斷線： 切至10/20mm范圍以內：要采取二次入刀的處理方法，把導向條用手晃動直至從硅線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第13頁塊上脫落，提升工作臺使硅塊脫離線網，重新過線結并整理線網后開始重新入刀，打開漿料,線網高張力，啟動速度 0.4m/s以內，手動慢速（30mm/min以內）下降工作臺。入刀過程中如果鋼線有大的線弓,需用手輔助將鋼線撥入硅片間隙，工作臺下降至斷點高度即可。注意鋼線量如果不足，應經過工藝技術員調整臨時切割工藝切完本鋸。切至90%以上：反向切割a.放線軸上需要大約 10KM的鋼線來緩解線軸受到的壓力，防止卸放線軸困難。需要松開

18、放線軸上白色尼龍的頂絲;b. 在斷線的位置整理好線網，連接到放線軸;c. 在線網的菜單使用“腳印 ”的功能。改變放線軸和收線軸的功能;：li； H©Mjiiwh4 (hr18#d. 改變收線軸的排線單元，把線放到黃色滾輪上；拆下左側排線單元排線安裝到放線軸排線單元上.設置右側線軸的排線距離。內側設置60mm，外側設置成355mm,排線時注意檢查排線位置是否合適，要及時修改排線距離;e.改變漿料分布，讓漿料從入線側流出。（閥門在機床頂部），右側張力降低2N ,左側不變;f 啟動切割，在切割時。注意放線軸的排線位置;g.及時檢查張力臂抖動的情況，如果發現抖動異常或機床發出張力臂位置異常報

19、警時，每隔0.5小時更換右側線軸，安裝使用過的放線軸。 其它割切位置：使用焊接機，過焊點機床參數設置及步驟a.低張力10N，打開漿料，流量調制10 0 kg/min,焊點走過10cm寬度線網線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第14頁后，張力改為高張力；b. 記錄過焊點時的收放線軸線量，走過約4km時，焊點可達收線軸位置；c. 工作臺速度以 30 um /min上下往復運動，線速度小于 0.5 m / s。工作臺往復運動幅度盡可能大一些，但要防止線網離開硅塊或者切割硅塊；d. 過焊點時注意線網狀態，有無裂開，焊點斷裂應及時停止所有運動，采取進一步措施；e. 焊點過完后以線速2 m / s,工作臺

20、1 0 Ou m /min速度往復運動,高張力( 0.14mm,24N 21N )( 0.12mm,22; 20N)( 0.11mm,19;19N )( 0.10mm,15;15N ) 運行3000m,用咼張力鋼線布滿整個導輪；f. 把工作臺慢速下降到斷線位置，使線網保持一定線弓，然后自動切割。3)中間位置斷線使用焊接機焊線，處理方法：a. 中間斷線區域剪去少量線網，應用分線網換輪使斷線兩側銜接在一起，焊接兩側鋼線(盡可能使焊接的鋼線短一些；b. 應用滑輪撐起松在線網外面焊接好的鋼線；C.啟用過焊點工藝運行機床(入線口張力保持高張力，出線口低張力)，撐起的鋼線會被緩慢的收入進線網，操作者應拿著

21、滑輪隨動，在接近完全收入線網時，撤出滑輪，用手 拉住鋼線防止松散，直至鋼線完全收完；e.焊點收到收線軸后。繼續走線使整個線網分布高張力。線鋸工序HCT線鋸工藝規范共17頁第15頁22#故障斷線斷線斷線斷線斷線斷線斷線斷線檢查部位排線單元1或收線軸滑輪鋼線用量太少漿料流量太少漿料簾的間隙硅塊上鋼線的深度不一致滑輪里/外的線網原因排線設置不準確法蘭有毛刺（毛邊）磨損調整工藝噴嘴里有雜質或臟東西硅錠里有硬點=Si里含有SiC檢查滑輪垂直一后果鋼線在收線軸法蘭上有突升突降。鋼線在收線軸法蘭上有突升突降。卡住鋼線鋼線磨損，切割后的直徑太小漿料簾里的鋼線過熱漿料簾的間隙一用措施2( MMIp.3-28清除毛刺更換滑輪增加鋼線用量（用一個千分尺測量鋼線入口直徑和岀口直徑）增加每個切割臺/噴嘴的漿料流量一個鉤子清潔噴嘴硅片上有鋸痕