潔凈基本知識與純水制備CONTENTS目錄02潔凈室分類01課程導入03凈化等級與潔凈度定義04高純水制備與清洗工藝01PARTfour課程導入液晶顯示器生產過程對生產環境有著很高的要求，生產環境不好會對產品的質量造成很壞的影響，成品率會大幅降低。因此，生產車間的潔凈控制是保證產品高質量生產的先決條件。車間的潔凈控制包括廠房潔凈度的控制及生產中所有的人員、設備、材料等的潔凈度控制，只有生產環境滿足工藝要求，才能使生產正常進行。02PARTfour潔凈室分類它是通過空調機和風機對空氣進行調濕、調溫和過濾，然后用管道從潔凈室頂棚的高效過濾器出口向室內送風。這種潔凈室的送風口分布在頂棚，回風是在地板下或側墻壁下部，空氣在室內紊亂地流動，它的潔凈度不很高，一般在千級至十幾萬級間，但因為它的投資較少而被生產TN型產品的廠家廣泛采用。潔凈室分類01.紊亂式潔凈室凈化空氣從一側的高效過濾器水平送入，然后從另一側排風口回風，潔凈室內的空氣呈水平方向流動，這種氣流的流動有一定方向性，相對紊流式效果要好，這種方式多用于局部凈化，如PI涂覆、絲印等工序。潔凈室分類02.水平平行流式潔凈室潔凈空氣從整個頂棚垂直向下運動，地面呈網格狀作為回風口，室內的空氣是從上到下垂直流動的，這種氣流使塵埃不會向上翻轉，這種潔凈室的效果好于前兩種。由于是從整個頂棚的高效過濾器向下送風，因此它的造價遠高于上述兩種。它用于生產工藝要求很高的工序如曝光、絲印成盒等。潔凈室分類03.垂直平行流式潔凈室03PARTfour凈化等級與潔凈度定義隨著潔凈技術的產生和發展，各國針對不同的生產工藝要求，提出了衡量潔凈等級的標準，國際上較有代表性的標準為美國潔凈室標準。我國有電子工業和航天工業的潔凈標準。這些標準主要規定塵埃濃度、溫度、濕度、壓力等，有些標準規定了氣流、明度等。塵埃濃度是衡量潔凈效果的最直接、最重要的參數，通常稱之為潔凈度，它是指單位體積的空氣中含有大于0.5μm真徑的塵埃數量。潔凈室級別塵埃壓強(MPa)溫度（℃)粒徑（μm)粒／英尺3粒／升范圍推薦值誤差100≥0.5≤100≤3.5≥1.6719.4~2522.2±2.8特殊場合±0.2810000≥0.5≥5.0≤10000≤65≤350≤2.3100000≥0.5≥5.0≤100000≤700≤3500≤25美國聯邦標準潔凈室等級潔凈度溫度（℃)相對濕度（%)正壓值(MPa)噪聲(A聲級dB)使用范圍舉例（以集成電路工藝為例）粒徑(μm)濃度（粒／升）最高最低最高最低1級≥0.5≤127186040逐級相差≥0.67≤70-10級≥0.5≤1027186040同上≤70光刻，制版100級≥0.5≤10027186040同上≤70擴散1000級≥0.5≤100027186040同上≤70封裝10000級≥0.5≤1000027186040同上≤70腐蝕原電子工業部潔凈室等級試行規定凈化等級與潔凈度定義04PARTfour高純水制備與清洗工藝普通水粗過濾活性炭過濾電滲析離子交換紫外線殺菌微孔濾膜高純水LCD產品的清洗，與半導體生產一樣，是非常關鍵的環節，而清洗中大量使用的清洗材料是高純水。高純水制備流程如圖所示。高純水制備與清洗工藝（1）高純水制備流程離子交換樹脂是高分子聚合物，是一種不溶的、呈顆粒狀的固體。離子交換樹脂顏色有白色、黃色、褐色等。如果將其放入含有各種離子的水溶液中，由于離子交換樹脂能吸附溶液中的離子，并把自己的離子析出釋放到溶液中，即能進行離子交換反應，因而被稱為離子交換樹脂。去離子水制備簡圖高純水制備與清洗工藝01.高純水的制備（2）離子交換樹脂簡介離子交換樹脂使用一段時間后，陰、陽離子樹脂大部分轉變成鹽型的離子交換樹脂，它的置換能力大大降低，這時需要對離子交換樹脂進行再生處理。水的純度越高，其雜志含量就越低，水的電阻率也就越大，因此測量水的純度一般通過使用電導儀測量水中電阻率的大小來衡量。LCD生產中水的純度越高越好。高純水制備與清洗工藝01.高純水的制備（3）離子交換樹脂的再生（4）水的純度測量液晶顯示器生產工藝中首先要做的事情就是對ITO玻璃進行潔凈處理，因為ITO玻璃在其制作、包裝和運輸過程中很容易被灰塵、油脂等雜質污染，未經潔凈處理的玻璃無法保證工藝質量要求。清洗有多種形式，如有機溶劑清洗、堿液加超聲波清洗、中性清洗劑清洗等，它們各有優缺點，下面簡單介紹用堿液的清洗方