JJF(閩)1043-2011接觸(觸針)式表面2011-6-10發布2011-6-10實施接觸（觸針）式表面輪廓接觸（觸針）式表面輪廓4概述………………6校準條件…………………6.1環境條件………………6.2標準器及其它設備……8校準結果表達………………9復校時間間隔………………附錄C極差系數C數值表………GB/T3505-2009產品幾何技術規范（GPS）表面結構輪廓法表面結構的3.1接觸（觸針）式表面輪廓測量儀〔123.2坐標系(CoordinateSystem)表面輪廓參數的坐標系采用直角坐標系，X軸與基準導軌方向一致(輪廓的水平方向),Z軸與X軸垂直的鉛垂面(輪廓的垂直方向)。4概述輪廓儀一般由傳感器、驅動箱、電子信號處理裝置、計算機系統等組成(見圖1)。口1—底座；2—工作臺；3—觸針；4—基準導軌；5—立柱；6—驅動箱；7—傳感器；8—電子信號處理裝置；9—計算機系統。圖1接觸(觸針)式表面輪廓測量儀示意圖其工作原理是：儀器的觸針在被測輪廓表面滑移，傳感器通過銳利觸針感受被測表面的幾何形狀變化，并轉換成電信號。該信號經放大和處理，再轉換成數字信號貯存在計算機系統的存貯器中。計算機對此原始輪廓的數字信號進行數字濾波，并計算其參數。輪廓儀可用于測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀。如：凸出量、曲面曲率半徑、直線度、平行度、傾斜度、角度等。5計量特性5.1各部分部件相互作用：輪廓儀各活動部件運動應平穩、靈活，無卡滯、跳動和爬行等現象；緊固部件作用有效、可靠；可調部分應滿足測量要求。5.5輪廓水平分量(X軸)示值誤差。36.1.3被校儀器及校準用測量標準及其他設備在室內連續平衡溫度的時間不少于1中準確度等級電子天平,其分辨力為2345半徑和形狀經校準的標準球或標準半678檢查輪廓儀各部分相互作用，確定沒有影響校準計量特性的因素后按7.1~位移顯示指向零位。讀出電子天平的示值，再乘以重力加速度g（g=9.8m/s2將標準球或標準半球放置于輪廓儀工作臺上，調整觸針滑行軌跡通過標準球4將四等棱體放置于輪廓儀工作臺上，先調整棱體的側邊平行于觸針滑行方52.2基準導軌直線度(μm）測量不確定度：U=，k=2。6測量不確定度：U=，k=2。測量不確定度：U，k2。123測量不確定度：U=，k=2。"71/2/3456/78/89在環境溫度（20±3）℃,采用4等量塊〔U=0.20μm+2×10-6ln測量輪廓垂直分量Li——輪廓儀垂直分量示值，mm；Ls——量塊實際值，mm。u2(?)=c?u2(Li)+c?u2(LS)B1.3.1輪廓垂直分量（Z軸）示值（Li）引入的標準不輪廓垂直分量示值產生的不確定度主要是測量重復性引起的標準不確定度B1.3.2標準器引入的標準不確定度u(LS)(LS)=(0.20+2Ls)/2.63=0-1范圍內等概率分布。若被測量塊溫度tx與標準溫度20℃的偏差不超過3℃,則u2(LS)=LS(t?20)?α/=0.20μmu(LS)=0.22μm度分量u(xi)ci1u（LS）(LS)u2(LS)(LS)uc=cu2(Li)+cu2(LS)（B1.4）U=k?ucB1.6輪廓垂直分量（Z軸）示值校準結果及不在環境溫度（20±3）℃,采用激光干涉儀〔MPE=±（0.03+1.5L）μm〕測量輪廓水平分量（X軸）100mm處示值，輪廓Li——輪廓水平分量（X軸）示值，mm；Ls——激光干涉儀示值，mm。u2(?)=c?u2(Li)+c?uB2.3.1輪廓水平分量（X軸）示值（Li）引入的標準不確定度u(Li)B2.3.2激光干涉儀示值引入的標準不確定度u(LS)（1）激光干涉儀示值誤差（LS）引入的標準不確定度u(LS)激光干涉儀使用空氣參數補償單元的位移測量最大允許示值誤差為：±圍內等概率分布。若被測溫度tx與標準溫度20℃的偏差不超過3℃,則對于u2(LS)=LS(t?20)?α/=0.17μmu(LS)=0.20μm分量u(xi)ci1u（LS）(LS)u2(LS)uc=cu2(Li)+cu2(LS)（B2.4）cB2.6水平分量（X軸）示值校準結果及不?——輪廓儀測量圓弧半徑各校準點示值誤差，mm；LLs——標準半球半徑值，mm。式（B3.1）中，Li、Ls之間互為獨立，u2(?)=c?u2(Li)+c?uB3.3.1輪廓儀半徑測量的平均值Li引入的標準不確定度u(Li)輪廓儀半徑測量示值產生的不確定度主要是測量重復性引起的標準不確定u(Li)=0.77×=0.44μmB3.3.2標準半球半徑測量不確定度（LS）引入的標準不確定度u(LS)t與標準溫度20℃的偏差不超過3℃,則對于R80mm標準半球：u2(LS)=LS(t?20)?α/=0.08μmu(LS)=0.51μm分量u(xi)ciu(Li)1u(LS)(LS)u2(LS)uc=（B3.4）cB3.6輪廓儀半徑測量示值誤差校準結果及不?=Li-LsL式（B4.1）中，Li、Ls之間互為獨立，u2(?)=c?u2(Li)+c?u輪廓儀角度測量示值產生的不確定度主要是測量重復性引起的標準不確定+37″，+16″，-48″，+43″，32″，+13″，+36″。S(Li)=34.7″u(Li)=34.7×=20.0″B4.3.2四等棱體工作角角值（LS）引入的標準不四等棱體工作角偏差最大允許值為：MPE=±5″，估計其均勻分布。則u(LS)=5″/=2.89″分量u(xi)(?