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JJF(冀)213-2023河北省市場監督管理局發布關鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準規范JJF(冀)213-2023CalibrationSpecificat歸口單位：河北省市場監督管理局I1本規范適用于放大倍數20k~200k的關鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)的校準。2引用文件本規范引用了下列文件：JJF1071國家計量校準規范編寫規則凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規范。3術語和定義下列術語和定義適用于本規范。線條兩側平均線邊緣之間的距離。3.2線寬標準樣板linewidthreferenceartifact具有單一或多種線寬量值的樣板。2關鍵尺寸掃描電子顯微鏡是一種具有高分辨力、可以自動定位并測量納米級線條寬度的儀器。其測量原理為：在高真空的環境下，電子槍高壓引出高壓電流形成電子束轟擊樣品表面產生二次電子束，將二次電子信號轉換成圖像，通過專業量測軟件對需要量測的線條進行測量，最終獲得被測線條線寬值。該儀器通常應具有樣片自動傳輸、自動調焦、圖形自動對準、自動定點測量、測量數據自動保存上傳等功能，一般用于微電子行業中各類線條寬度的測量。其結構示意見圖5計量特性5.1示值誤差3校準時，選擇合適的放大倍率，在包含測量范圍下限和上限在內的至少44Ew0…………（1） n12…………（2）n15A.1測量方法E1A.3測量不確定度來源1622

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