特殊形態微球的電鏡圖片24h2h6h電鏡儀器掃描探測和橢圓光度顯微鏡法（SPEM）＋＝SPEM是一臺把掃描探測顯微鏡方法(SPM)和影像橢圓光度法兩種方法結合在一起的分析儀器。場發射透射電子顯微鏡

1.點分辨率：

0.19nm

2.線分辨率：

0.14nm

3.加速電壓：

80,100,120,160,200kV

4.傾斜角：

25

5.STEM分辨率：

0.20nmJEM-2100F掃描電子顯微鏡

JSM-6360LV1.高真空模式：3.0nm低真空模式：4.0nm

2.低真空度1to270Pa，高、低真空切換

3.樣品臺X:80mmY:40mmT:-10to+90degreeR:360degree

4.加速電壓0.5kVto30Kv束流1pA—1uA

5.真空系統馬達驅動臺能譜分析接口穩壓電源循環水箱用于各種材料的形貌組織觀察、金屬材料斷口分析和失效分析。1.既保證高電壓下的高分辨率，也可提供低電壓下高質量的圖像。

2.全自動電子槍

3.高靈敏度半導體背散射探頭

4.超級圓錐形物鏡，高精度的變焦聚光鏡系統

5.大樣品室，全對中的樣品臺，大視野觀察范圍可觀測到2厘米見方的樣品

主要特點KYKY-2800B型掃描電子顯微鏡1.分辨本領：

4.5nm

2.放大倍數：

15X～250,000X

3.加速電壓：

0.1kV～30kV

4.試樣尺寸：

Φ60mm（最大）1、分辨率

6.0nm(鎢絲陰極)

2、放大倍數

15倍～250000倍

3、電子光學系統電子槍：發叉式鎢絲陰極

加速電壓：0～30KV

透鏡系統：三級電磁透鏡

物鏡光闌：三個可在真空外選擇調節KYKY-EM3200型數字化掃描電子顯微鏡CSPM3000系列掃描探針顯微鏡廣泛的應用范圍物理學化學生物和生命科學材料科學微電子科學和技術表面科學納米科學和技術CSPM3000系列多模式掃描探針顯微鏡性能指標

■分辨率：

掃描探針顯微鏡(STM)：橫向0.13nm垂直0.01nm（以石墨定標）

原子力顯微鏡(AFM)：橫向0.26nm垂直0.1nm（以云母定標）

■探針激勵信號：

振幅為0～2V頻率為DC～1000kHz（32-bit分辨率）AP-990

原子力顯微鏡

AtomicForceMicroscopes

觀察拋光固本表面、薄膜表面的表面形貌,價鍵狀態；觀察集成電路芯片的光刻質量,摻雜后的電場分布,用于觀察信息存貯材料表面磁場分布磁疇等.可用于微電子集成電路器件的失效分析.掃描探針顯微鏡

Scanner

X,Y

scan

size:

200

×

200

micron

X,Y

resolution:

1

nm

Z

range:

15

micron

Z

resolution:

<

0.5

nm

Approach

Type:

Automatic

Length:

>

1.5

mm

Operation

Mode:

AC,

DC,

LFM,

MFM.

Optional

mode:

STM,

Conductive

AFM.

Imaging:

Topography,

Phase,

Lateral

Force.

Objective

Type:

Bright

Field.

Focal

length:

95

mm.

Magnification:

15X.

AJ-Ⅰ型掃描隧道顯微鏡（STM)

1.STM探頭

2.懸吊式抗震架

3.AJ-Ⅰ型掃描隧道顯微鏡控制箱

4.控制軟件及離線軟件

5.測試樣品及常用備品備件主要特點

1.樣品尺寸：φ≤10mm

2.掃描范圍：ＸＹ方向3μm×3μm６μm×６μm

3.分辨率：XY方向：0.1nm,

Z方向：0.01nm能夠常規得到高序石墨（HOPG）表面原子圖像

4.針尖逼近行程及精度：行程≥10nm，精度≤0.1μm,納米級步進馬達自動保護

驅近;

5.掃描模式：恒流模式、恒高模式,I-V曲線、Ｉ-Z曲