多晶硅生產車間干凈室施工工法1．前言隨著電子、化工行業的飛迅發展，對產品純度的要求日益提高，而生產、加工環境的干凈度干脆影響著產品的純度。干凈室從最初的生物醫藥行業逐步擴展至電子、化工行業。近幾年，對產品純度要求極高的多晶硅行業的發展與興起使得干凈室更充分的應用于化工領域。我單位依據所承建的江蘇中能硅業多晶硅一期、二期及三期近三萬平方米干凈室的施工閱歷，總結編定本工法。其中一期、二期干凈室已驗收、檢測合格，投入運用，順當產出合格的多晶硅，取得了良好的社會和經濟效益；三期干凈室正在驚慌、有序施工。《多晶硅生產車間干凈室施工工法》被我公司評為2008年度施工工法一等獎。2.特點2．1干凈室的建立須要多個專業共同協作完成。土建專業要為建立干凈室供應合格的外圍護結構。干凈室的裝修材料要求壁板平整、接縫嚴密且平整光滑，不許有凸凹造型，陰陽角全部做成R＞50mm的圓弧角；窗戶應與墻面平齊，不應設置凸出墻面的踢腳；風口、燈具采納帶密閉罩的凈化燈吸頂安裝；地面采納不產塵材料整體制作，且平整、光滑、防靜電。在干凈室內明裝的管道均應采納不銹鋼管，其連接采納氬電連焊。2．2采納本工法施工，可以保證干凈室的施工質量，并可大大提高工效、削減材料消耗，降低施工成本，取得更大的經濟效益。3.適用范圍本工法適用于以多晶硅干凈廠房為代表、其凈化要求為千級至十萬級的精細化工、醫藥車間、電子車間等生產車間的施工，不適用于有特別要求的生物工程試驗室的施工。本工法重點介紹干凈室裝修工程的施工內容，對干凈室施工中的通風、電氣、給排水等專業的施工工藝不做具體說明。4.工藝原理通過二次排版設計和材料選用、節點選型進行施工，使干凈室內不出現污染死角或氣流過濾不到的部位，沒有揚塵。經過凈扮裝修保證干凈室達到不產塵、不集塵要求，具有肯定的密閉性能，確保室內維持肯定的正壓，防止外界非干凈空氣滲入造成污染。5.施工工藝流程及操作要點5.1施工流程施工流程遵循先有塵后無塵、先上后下的原則。具體施工依次如下：施工打算→測量放線→二次排版→材料加工→可調整吊桿安裝→槽鋁安裝→壁板安裝→T型鋁安裝→頂板安裝→彩鋼板調平并固定→門窗安裝→陰陽角安裝→風口安裝→燈具安裝→地面施工→過濾器安裝→硅膠密封→愛護膜拆除→清潔→干凈度檢測→竣工驗收5.2操作要點5.2.經圖紙會審及施工現場勘察，土建工程屋面防水及保溫已竣工；室外門窗安裝完畢，室內易產生粉塵的施工內容結束，水、電已進入施工現場，廠房四周能通過8t以上載重汽車。5.2.施工技術打算：依據業主供應的合格施工圖及收集到的現場資料，結合工程特點，確定工程施工的管理技術人員構成、管理體系；熟識、消化技術文件、設計圖紙及相關規范、標準，做好設計交底和圖紙會審工作，對各施工班級進行具體的施工技術交底。材料及設備的打算：所運用材料必需符合設計要求和施工規范規定，且具有出廠合格證明書或相關質量證明文件。依據設計要求制定不同施工階段的供應支配，落實貨源，組織運輸，支配好現場儲備，保證項目施工連續、有序進行。施工人員的打算：包括項目經理部管理人員和施工工人，及由此二者組成的工程施工管理層及作業層。5.2測量放線是干凈室裝修施工的的基礎，有多個專業共同安裝施工的干凈室裝修工程施工精確性至關重要，而測量放線是施工精確性能否得到保證的關鍵條件。由于施工中專業多、交叉施工困難，干凈室裝修測量需按統一的安裝基準線進行，以縱橫兩方向的軸線為原始基準，確定一條對各專業施工最有利的安裝基準線。采納激光水平儀或精度較高的水準儀進行測量放線。在測量放線中，必需采納多點法確定每一個基準點和基準線，以保證精確度，在地面盡可能低的地方找尋確定最高點，并在柱中心相對于地面最高點繪出500mm高的水準測量點。彈墨線前應用棉線校核基準點或參考點，墨線彈好后剛好做好相關標記。5.2.依據現場測量放線的尺寸了解完成的建筑實體與圖紙的誤差進行二次排版，排版內容包括頂板、壁板及高效過濾器、燈具、門窗的安裝位置及尺寸規格，繪出結點大樣圖和各部分的的具體尺寸。排版時尤其要留意考慮門窗、高效過濾器、燈具、通訊、消防、工藝管道所開孔洞與彩鋼夾芯板間的模數、位置關系及強度、結構要求。對原設計圖中的門窗尺寸及位置，在二次排版時可能依據現場實際進行肯定調整。在排版過程中不能完全依據土建工程中的建筑模數，假如門窗口寬度沒有特別嚴格的尺寸要求，可以將門窗的寬度改為彩鋼板的有效寬度并提前預留，裁下的板正好可做門扇材料，這樣不但節約材料，而且門窗縫與彩鋼夾芯板拼接縫相重合，效果美觀。假如工藝要求門洞寬度大于彩鋼夾芯板的有效寬度，做成雙扇門且門洞位置于兩板相鄰壁板中間，裁下來的材料可做門扇。彩鋼夾芯板上電氣、工藝管道、消防、通訊等專業洞口的定位要避開在彩鋼夾芯板企口位置而降低強度，同時要考慮陰陽角的安裝尺寸。彩鋼夾芯板上的高效過濾器泂口口邊的寬度不得太窄，若洞口邊寬度太窄，人上吊頂時，由于彩鋼板頂板的強度降低而存在嚴峻的平安隱患。已完裝飾工程的愛護愛護好已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、敲打、踩踏、多水作業等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。壁板安裝過程中不得撕下壁板表面塑料愛護膜，禁止撞擊和踩踏板面。全部穿過干凈室的管道、設備在與彩鋼夾芯板接口處均密封處理。節點彩鋼板安裝中主要的節點有：彩板與干凈燈具的節點、彩板與過濾器的接點、彩板與密閉窗門的接點、彩板與百頁風口的接點、頂板的節點、壁板的節點等。節點連接形式有多種，這里僅以其中一類為例說明（詳見圖），具體接點形式的選用，可依據現場狀況敏捷選取。.1壁板與地面：按圖紙開間尺寸彈出墨線，用電錘間距300mm～500mm鉆眼，用膨脹螺栓固定槽鋁，壁板依據公母口方向按依次安裝。在壁板和地面施工完畢后安裝陰角條，最終用硅膠密閉縫隙。墻角應垂直交接，防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲，壁板的垂直度偏差不應大于０.２％。（如圖）.2壁板與頂板連接：在壁板上端用抽芯固定槽鋁并用自攻螺絲與頂板連接，室內側安裝鋁合金陰陽角，用硅膠密封（如圖）。.3頂板與現澆板：依據二次排版的頂板布置圖用電錘在現澆板上間距1.2m～1.5m鉆眼，吊桿一般采納鍍鋅或不銹鋼拉絲柑，吊桿上端焊接50mm的角鋼。用膨脹螺栓固定在現澆板上。吊桿中間設置花籃調整螺栓，用以調整頂板的水平或起坡坡度。吊桿下端焊接T型鋁，頂板放置在T型鋁上，并用角鋁壓緊，角鋁與T型鋁用抽芯鉚釘固定，并用膠密封。（如圖5.5.3）。.4頂板與建筑墻面：工藝同壁板與地面節點（如圖5.2.6.4-1）。用乳膠漆封閉墻柱面后方可安裝彩鋼板，陰陽角安裝完畢后縫隙用硅膠密封（如圖5.2.6.4-2）。.5門窗節點：凈化彩鋼門一般采納不銹鋼或鋁合金門框，在門扇底端設置掃地密封條，材質有橡膠類、皮革類等，底部縫隙高度5mm～10mm，掃地條長度約為縫隙的1.5倍～２.5倍（如圖5.2.6.5－1）；窗有單層密閉窗（如圖.5－2）和雙層密閉窗（如圖5.2.6.5－3）兩種，雙層密閉窗在彩鋼板壁板安裝時預先將窗洞口留設出來，用鋁合金型材進行包邊，然后按下圖粘貼雙面膠，之后現場測量洞口尺寸，按尺寸下料白玻璃，玻璃尺寸要比洞口每邊少5mm，最終用扣條壓蓋并用硅膠密封。單層密閉窗同樣在安裝壁板時留設窗洞口，先將內側不銹鋼框架安裝并用鉚釘固定打膠密封，然后安裝白玻璃或防火玻璃。安裝外側不銹鋼框架，玻璃與框架間的縫隙用密封條密閉，框架與彩鋼板縫隙用膠密閉。回風夾道依據設計凈化風量設置回風夾道的尺寸和位置（如圖.5－4）.6過濾器、燈具與彩鋼板：干凈燈具及過濾器依據二次排版的平面布置圖在頂板安裝前開孔，留設過濾器和燈具的安裝位置（如圖）。干凈燈具宜采納吸頂式、易清潔的、不易積塵的燈具。過濾器每個框架需設置四根吊筋，且吊筋不得承載其他構件，過濾器框架從室內用繩子吊上去人工校正后用螺栓固定到頂板上，防止位移，承重要靠吊筋，不得用頂板承重。安裝完畢后進行清洗并用薄膜愛護，過濾器在凈化系統調試運轉48小時后方可進行安裝。過濾器安裝后干凈室必需按規范要求進行管理，防止管理不當對過濾器造成損耗或損壞。.7干凈室PVC地面：用石磨機打磨地面，并用吸塵器清理灰塵及沙粒；自流平水泥，經充分攪拌勻稱后，呈稀和狀倒在地面，用工具刮涂勻稱，厚度約2-3mm。待干透后，表面用磨光機打磨一遍，灰塵清理干凈。地面干燥后進行放線、涂膠：確定地板基準線，采納雙組分防水膠，經充分攪拌后刮涂于干凈地面，依據地面位置，涂膠先后依次，留出合理的施工通道。正常環境下等候時間為15－20分鐘后起先鋪設；將材料鋪設在濕的膠水上，施預壓力使其粘接住，地板安裝完成一部分后，要馬上運用50公斤組合滾筒將地板壓平；安裝完畢后，清掃或運用吸塵器將地面全部殘留物清除干凈，確保房間通風，使膠水干燥，剛鋪好24小時后進行打臘，清洗機對完工PVC地面進行徹底清洗，地面水吸干后用專用蠟水涂抹勻稱。打蠟后8小時即可投入運用，竣工前宜用薄膜覆蓋防止污染。6．材料及施工機具干凈室壁板及頂板要求防靜電、耐腐蝕、易清潔、不產塵、不集塵、接縫少，依據工藝要求不同采納不同材質的彩鋼夾芯板，一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯材料、石膏板、巖棉板、紙蜂窩板、鋁蜂窩板等。厚度一般50mm～80mm不等。地面裝飾材料要求具有良好的耐磨性能、防滑、防靜電、耐腐蝕、易清潔、不易起塵開裂、二次施工簡便、接縫少或無接縫。干凈室常用的裝飾材料有嵌銅條水磨石地面、環氧自流平地面、防靜電PVC地板和聚氯乙烯軟板等。干凈室施工的主要工機具見下表6-1序號名稱規格型號單位數量1溝通焊機BX3-300臺22氬弧焊機NSA4-300臺13液壓升降機YSD-300臺14工業吸塵器GM80臺15切割機TC-4QPVC臺16沖擊鉆GBH3-28E臺37手電鉆φ6臺88鉚釘槍YWJ-D把139水平尺、線垂把610塵埃粒子計數器y09-6臺111熱球式風速儀EY3-2A只212補償式微壓計YJB-150臺213通風干濕球溫度計DHM2只17.工程質量限制措施7.1材料限制措施進場設備、材料的檢查驗收。在訂購設備、材料前，具體了解生產廠家的各種有效證件；設備、材料進場后，會同業主及監理人員進行驗收。7.1.2彩鋼夾芯板分批次7.1.3彩鋼夾芯板在堆放時標明生產批次，以免在同一干凈室內產生色差。安裝過程中支配專人清掃施工現場，以免造成板7.1.47.1.5在彩鋼夾芯壁板明顯位置張貼標語，提示其它專業施工單位做好成品愛護，并在壁板轉角等易碰撞位置包袱橡塑板等軟質材料，防止彩鋼夾芯板被撞損7.2施工過程限制干凈室建立具有技術含量高、專業施工交叉多等特點，假如采納傳統的“秋后算賬”式質量限制方法，只強調中間驗收、竣工驗收的相關數據達標，而對施工過程的動態限制力度不夠，會造成驗收資料合格但實際工程不合格的現象。所以，通過提高二次排版、材料選用、節點選型等施工技術，加強施工過程中動態質量限制是保證干凈室施工質量的有效方法。施工過程中的動態質量限制也是干凈室施工的技術難點之所在。7.2.1施工前環境限制：凈化空調系統施工前，屋面防水工程和外圍結構完成，外門、外窗安裝完畢。施工現場環境交由負責凈化工程施工的公司管理7.2.2干凈室的密封限制：干凈工藝房間內的空氣壓力必需保證相對于室外大氣為正壓，避開室外非干凈空氣滲入室內影響室內干凈度。干凈房間的嚴密性對房間正壓值的維持和干凈度的保證具有確定性的影響。車間干凈區的房間采納凈化彩鋼夾心板作為房間圍護結構材料，板材與板材之間的拼縫均涂密封膠，并要達到嚴密不漏風。干凈房間的圍護結構按規范標準要求進行工序交接驗收，合格后方可對穿越圍護結構的管線進行開孔安裝。機電安裝工程中必需在壁板上開孔安裝的插座、開關、煙感探測器、廣播喇叭、監控攝像頭、照明開關箱、消火栓箱等部件，其箱體與壁板之間用密封膠進行密封，箱體中7.2.3干凈房間空調系統風管和設備的清潔限制：施工過程中必需重視對風管和空調部件的清洗，安裝后須防止再次污染。風管制作前必需用中性洗滌劑擦洗其表面油污，再用清水沖洗晾干。風管加工應在干凈、無風沙的室內操作間進行，工作臺上應鋪設地毯或橡膠板，防止鐵皮表面鍍鋅層劃傷。應用清潔半干抹布擦拭風管內表面，再用白綢布檢查內表面清洗質量，白綢布揩擦后不留任何灰跡、油漬即為清洗合格。風管管段加工清洗合格后，用塑料薄膜封好管段兩端再運至安裝現場，全部風管配件及設備在安裝前必需擦拭干凈，否則不得安裝。凈化空調的全部送風管和回風管均進行漏風量測試，檢測合格后方可進行下一道工序施工。干凈室和空調送回風管道應在高效過濾器安裝前達到清潔要求，凈化空調系統必需連續試運轉（空吹）12小時以上，空吹后再對送回風管和組合式空調器內進行清掃和擦洗干凈。每臺安裝于5級干凈區的高效過濾器在安裝前應7.3竣工驗收7.37.37.3.3干凈室的檢測在空態、靜態下進行（動態檢測因超出了干凈室施工單位限制的范圍，一般不做為干凈室竣工檢測依據。）。空態：設施已經建成，全部動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。靜態：設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。7.37.3.5綜合性能全面評定由建設單位負責，設計、施工單位協作，有資格的第三方檢測單位進行綜合性能全面評定檢測。7.37.3.7竣工驗收的檢測結果應全部符合設計要求，其檢測項目符合室內干凈度級別要求，滿意現行國家標準《干凈廠房設計規范》GB50073-2001、《干凈室施工及驗收規范》JGJ71-90及《通風與空調工程施工質量驗收規范8.平安措施8.1建立完善的平安生產組織機構及規章制度，配備專職平安員負責平安管理工作。8.2施工作業人員進廠時必需經過三級平安教化，教化施工人員在施工過程中做到不損害他人、不損害自己、不被他人損害。現場設置平安警示牌。8.3進入施工現場必需統一穿工作服，帶好平安帽，系好下額帶，登高作業必需系平安帶。在施工現場室內工作時嚴禁吸煙，嚴禁酒后進入施工現場。8.4施工需搭設腳手架時，所搭設的腳手架必需經專職平安員確認平安牢靠后方可運用，施工所用工具應放入工具袋內，不能順手放在腳手架上。8.5施工用電必需采納三相五線，配電箱必需堅固且有牢靠接地。8.6避開動火作業，當不行避開時，要做好動火作業的監護。8.7各種機具設備應有專人操作及管理。9．環保措施9.1建立定期噪音監測制度，對施工中產生的機械噪聲、金屬撞擊噪聲等實行有效措施進行減弱