13.030.30CCS

Z

2334 DB34/T

4100—2022平板顯示用稀釋劑精餾法再生利用技術要求Technical

and

utilization

of

distillation

for

panel

display

發布

實施安徽省市場監督管理局 發

布DB34/T

4100— 本文件按照GB/T

《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別專利的責任。本文件由合肥茂騰環保科技有限公司提出。本文件由安徽省節能減排及循環經濟標準化技術委員會歸口。省產品質量監督檢驗研究院、安徽省合肥市廬江縣生態能源局、綿陽茂睿環保有限公司。DB34/T

4100—1范圍本文件適用于平板顯示用稀釋劑精餾法再生利用。2 規范性引用文件文件。GB/T

液體化學產品顏色測定法(Hazen單位一鉑-鈷色號)GB/T

化工產品中水分含量的測定卡爾費休法(通用方法)GB/T

化學試劑氣相色譜法通則GB

12348 工業企業廠界環境噪聲排放標準GB

16297 大氣污染物綜合排放標準GB

18597 危險廢物貯存污染控制標準GB

18599 一般工業固體廢物貯存和填埋污染控制標準GB

50160石油化工企業設計防火規范HJ

危險廢物收集、貯存及運輸技術規范

氣

SJ/T

11637電子化學品

電感耦合等離子體質譜法通則3 術語和定義下列術語和定義適用于本文件。DB34/T

4100—3.1稀釋

thinning膠進行涂膠，這種用有機溶劑溶于光刻膠的工藝過程就是稀釋。3.2稀釋液

thinner用于稀釋光刻膠進行玻璃面板涂膠的溶液。3.3稀釋劑廢液

waste

膠、水、金屬離子等。3.4再生利用

recycling量的回收和利用。4 原料稀釋劑廢液。5 技術要求5.1基本要求、 、、5.1.1平板顯示用剝離液精餾法再生利用相關的總平布置應滿足

、 、、HG/T

20580

、、

、

、

、

、

、

對乙類可燃液體的相關規定設計。5.1.2

HJ

2025

相關規定。5.1.3 平板顯示用稀釋劑精餾法再生利用過程中危險廢物的貯存容器、貯存設施的選址與設計原則、貯存設施的運行和管理、安全防護與檢測等應滿足

GB

18597

的規定。5.1.4 殘液的排放數量應小于

4

倍光刻膠的含量。5.1.5 應控制系統運行溫度在設定溫度的

±3℃內，壓力在設定壓力的

±5

內。5.1.6 整個系統配備氮氣保護系統。5.1.7 保證系統真空度、溫度滿足精餾要求，冷卻水應宜采用

7℃低溫水冷。5.2 工藝流程5.2.1 平板顯示用稀釋劑精餾法再生利用工藝流程,如下圖

1

所示.DB34/T

4100—圖1 廢液再生利用工藝流程圖5.3工藝流程技術要求5.3.1 過濾稀釋劑廢液經不小于50目的過濾器過濾，濾出的固體雜質作為危廢交由有資質單位處理。5.3.2蒸發器排放殘液的數量應不大于廢液中光刻膠含量的2倍。排出的殘液作為固廢交由有危廢處理資質單位處理。蒸發器溫度宜在60℃～100℃，壓力

～

100

。5.3.3 一級精餾2/5到1/22/3到4/5DB34/T

4100—宜為：60℃～90℃、70

～

、回流比（1～3）：1。5.3.4二級精餾到1/2量，當精餾塔高位槽至到1/2液位時，打開回流，全回流，系統穩定運行1小時后，打開出料，控制進料和采出平衡，精餾過程中嚴格控制溫度、壓力、回流比等工藝參數，經精餾脫除金屬離子雜質、80℃～℃、60

mmHg～

mmHg、回流比（2～5）：1。5.3.5 分析按GB/T

、GB/T

6283、GB/T

、SJ/T

11637

對二級精餾塔塔頂冷凝液的色度、水分、有機200.10效有機組分含量應不小于95.00％；金屬

Li、Na、Mg等應不大于

，則為電子級再生稀釋劑，泵入電子級再生稀釋劑儲罐。5.3.6 不合格回用檢測不合格品則切換回稀釋劑廢液罐中供再次生產。6 污染控制要求6.1廢氣宜經吸收處理后應按照企業取得的排污許可證或環評批復中相關要求標準排放。可參照

16297

的規定執行。6.2 廢水經預處理后應按照企業取得的排污許可證或環評批復中相關要求標準排放（一般為相應園區污水處理廠接管標準）。6.3 噪聲按照

12348

的規定執行。6.4一般工業固體廢物處置按照

GB

18599

的規定執行；產生的殘液等危廢貯存應按照

18597

的規定執行。7 安全要求7.1 再生稀釋劑屬于乙類可燃液體，生產、包裝、儲存、運輸過程中應嚴格遵守國家有關危險品的消防、安全條例。7.2 再生稀釋劑儲存地點應干燥、通風、遠離火源及其他危險品或禁配物，避免陽光直射，應具備消防器材和救護設施。7.3 再生稀釋劑應避免明火、曝曬以及與有機物、金屬粉末等接觸。當用槽車運輸時，不應在容器附近抽煙或動用明火。7.4 如被再生稀釋劑灼傷皮膚應立即用大量水沖洗，并立即就醫。7.5 再生稀釋劑運輸須使用有資質的危險化學品