ICS7715099

H63..

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T1025—2015

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

High-puritytungstenandtungstenalloysputteringtargetused

inelectronicfilm

2015-04-30發布2015-10-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

中華人民共和國有色金屬

行業標準

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

YS/T1025—2015

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20161

*

書號

:155066·2-29184

版權專有侵權必究

YS/T1025—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位寧波江豐電子材料股份有限公司有研億金新材料有限公司北京天龍鎢鉬科技

:、、

股份有限公司株洲凱特實業有限公司西安方科新材料科技有限公司

、、。

本標準主要起草人姚力軍王學澤丁照崇張濤扶元初袁海軍鄭文翔宋佳蘇國平錢紅兵

:、、、、、、、、、、

袁潔王興權張玉利王越杜鐵路

、、、、。

Ⅰ

YS/T1025—2015

電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

1范圍

本標準規定了電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的要求試驗方法檢驗規則及標志包裝運

、、、、

輸貯存訂貨單或合同等內容

、、()。

本標準適用于電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材以下簡稱高純鎢及鎢合金靶

,。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產品幾何技術規范表面結構輪廓法表面粗糙度參數及其數值

GB/T1031(GPS)

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

致密燒結金屬材料與硬質合金密度測定方法

GB/T3850

鎢化學分析方法第部分硫量的測定燃燒電導法和高頻燃燒紅外吸收法

GB/T4324.2323:

鎢化學分析方法第部分氧量的測定脈沖加熱惰氣熔融紅外吸收法

GB/T4324.2525:-

鎢化學分析方法第部分氮量的測定脈沖加熱惰氣熔融熱導法和奈氏試

GB/T4324.2626:-

劑分光光度法

鎢化學分析方法第部分碳量的測定高頻燃燒紅外吸收法

GB/T4324.2727:

金屬平均晶粒度測定法

GB/T6394

金屬板材超聲波板探傷方法

GB/T8651

濺射靶材背板結合質量超聲波檢驗方法

YS/T837-

高純鎢化學分析方法痕量雜質元素的測定電感耦合等離子體質譜法

YS/T900

高純鎢化學分析方法痕量雜質元素的測定輝光放電質譜法

YS/T901

3要求

31產品分類

.

311產品按外形分為圓形矩形和異形如三角形等

..、()。

312靶材的背板為銅及銅合金或鋁及鋁合金

..。

313根據合金材料不同分為純鎢靶鎢鈦合金靶鎢硅合金靶三種靶材

..,、、。

314產品按化學成分分為

..W-99.999、WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999、

八個牌號

WSi-99.99、WSi-99.999。

表示方法和標記示例如下

:

-