中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG901—1995

電子探針?lè)治鰞x

ElectronProbeMicroanalyzer

1995-10-19發(fā)布1996-03-01實(shí)施

國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

JJG901—1995

電子探針?lè)治鰞x檢定規(guī)程??

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VerificationRegulationof??

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ElectronProbeMicroanalyzer

本檢定規(guī)程經(jīng)國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局于年月日批準(zhǔn)并自年

19951019,1996

月日起施行

0301。

歸口單位:上海市技術(shù)監(jiān)督局

起草單位:上海市測(cè)試技術(shù)研究所

本規(guī)程技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋

JJG901—1995

本規(guī)程主要起草人:

張訓(xùn)彪上海市測(cè)試技術(shù)研究所

()

JJG901—1995

目錄

一概述…………………

(1)

二技術(shù)要求……………

(1)

三檢定條件……………

(2)

四檢定項(xiàng)目和檢定方法………………

(2)

五檢定結(jié)果的處理和檢定周期………

(5)

附錄電子探針?lè)治鰞x檢定記錄……………………

1(6)

附錄檢定證書(shū)背面格式……………

2(8)

JJG901—1995

電子探針?lè)治鰞x檢定規(guī)程

本規(guī)程適用于新制造使用中和修理后的電子探針?lè)治鰞x以下簡(jiǎn)稱電子探針的

、()

檢定也適用于配有波譜儀具有元素分析功能的掃描電子顯微鏡的檢定

,。

一概述

電子探針主要用于測(cè)定固體樣品中微小區(qū)域內(nèi)原子序數(shù)從號(hào)硼至號(hào)鈾

5()92()

元素的種類和含量同時(shí)可以用于分析樣品表面的形貌其原理是用細(xì)聚焦一定能量

,。:

的電子束轟擊樣品樣品在電子的作用下產(chǎn)生射線二次電子等信息用波譜儀將

,X、。

射線按波長(zhǎng)進(jìn)行分散并測(cè)定特征射線的強(qiáng)度根據(jù)特征射線的波長(zhǎng)確定元素

X,X。X

的種類根據(jù)特征射線的強(qiáng)度進(jìn)行修正計(jì)算確定元素的含量用二次電子成像分

;X,。

析表面形貌

。

電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)射線色散系統(tǒng)信號(hào)接收放大和顯示系統(tǒng)計(jì)算

、X、、

機(jī)系統(tǒng)真空系統(tǒng)供電系統(tǒng)等部分組成

、、。

二技術(shù)要求

電子探針按其性能分為一級(jí)二級(jí)三級(jí)

、、。

外觀

1

標(biāo)明儀器名稱型號(hào)制造單位出廠日期出廠編號(hào)等面板上的標(biāo)記清晰部

、、、、;;

件裝配牢固導(dǎo)線連接可靠無(wú)影響計(jì)量性能的損傷操作自如運(yùn)轉(zhuǎn)正常

;;;,。

放大倍數(shù)示值誤差

2

一級(jí)不超過(guò)二級(jí)不超過(guò)三級(jí)不超過(guò)

±5%;±10%;±20%。

二次電子像分辨力

3

一級(jí)不大于二級(jí)不大于三級(jí)不大于

10nm;20nm;50nm。

探針束流穩(wěn)定度

4

一級(jí)不大于-3二級(jí)不大于-3三級(jí)不大于-3

3×10;5×10;10×10。

束斑位置穩(wěn)定度

5

一級(jí)不大于二級(jí)不大于三級(jí)不大于

0.5μm;1μm;2μm。

樣品臺(tái)重復(fù)性

6

一級(jí)不超過(guò)二級(jí)不超過(guò)三級(jí)不超過(guò)

1μm;2μm;5μm。

射線強(qiáng)度重復(fù)性

7X

一級(jí)不大于二級(jí)不大于