中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1913—2021

激光干涉比長儀校準規范

CalibrationSpecificationforLaserInterferometricComparators

2021-07-28發布2022-01-28實施

國家市場監督管理總局發布

JJF1913—2021

激光干涉比長儀校準規范??

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CalibrationSpecificationfor??

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?代替JJG331—1994?

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LaserInterferometricComparators

歸口單位全國幾何量長度計量技術委員會

:

起草單位中國計量科學研究院

:

中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術

研究所

本規范由全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋

JJF1913—2021

本規范起草人

:

孫雙花中國計量科學研究院

()

趙新麗中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所

()

沈雪萍中國計量科學研究院

()

高宏堂中國計量科學研究院

()

JJF1913—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和定義

3……………(1)

概述

4……………………(1)

計量特性

5………………(2)

工作臺運動直線度

5.1…………………(2)

瞄準重復性

5.2…………(2)

測量重復性

5.3…………(2)

影像測頭示值誤差

5.4…………………(2)

示值誤差

5.5……………(2)

校準條件

6………………(2)

通用校準條件

6.1………………………(2)

環境條件

6.2……………(2)

校準用標準器

6.3………………………(2)

校準項目和校準方法

7…………………(3)

工作臺運動直線度

7.1…………………(3)

瞄準重復性

7.2…………(3)

測量重復性

7.3…………(4)

影像測頭示值誤差

7.4…………………(4)

示值誤差

7.5……………(5)

校準結果表達

8…………(5)

復校時間間隔

9…………(5)

附錄激光干涉比長儀示值誤差的測量不確定度評定示例

A………(6)

附錄校準證書內容及內頁格式

B……………………(8)

Ⅰ

JJF1913—2021

引言

國家計量校準規范編寫規則通用計量術語及定義和

JJF1071《》、JJF1001《》

測量不確定度評定與表示共同構成支撐本規范制定工作的基礎性系列

JJF1059.1《》

規范

。

本規范代替激光干涉比長儀與相比除編輯性

JJG331—1994《》。JJG331—1994,

修改外主要技術變化如下

,:

用激光干涉比長儀的示值誤差代替比長儀的準確度

———;

修改了測量重復性校準及其數據處理方法

———;

增加了瞄準重復性及其校準方法

———;

刪除了激光平行光束的均勻性干涉條紋的對比度及輸出信號的質量測量光

———、、

束與運動方向的一致性工作臺運動速度均勻性等檢定項目

、;

增加了對影像測頭瞄準系統的相關校準項目

———;

增加了附錄激光干涉比長儀示值誤差的測量不確定度評定示例

———A。

本規范歷次版本發布情況為

:

———JJG331—1994。

———JJG331—1983。

Ⅱ

JJF1913—2021

激光干涉比長儀校準規范

1范圍

本規范適用于測量范圍為的激光干涉比長儀的校準

(0~1000)mm。

2引用文件

本規范引用了下列文件

:

高等別線紋尺

JJG73—2005

通用計量術語及定義

JJF1001—2011

測量不確定度評定與表示

JJF1059.1

測量儀器特性評定

JJF1094—2002

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規范

,()。

3術語和定義

下列術語和定義適用于本規范

。

最小線紋測量間隔

3.1minimumlinemeasurementinterval

激光干涉比長儀能夠有效測量的線紋尺最小刻線間隔

。

4概述

激光干涉比長儀是以激光波長為測長基準直接測量線紋尺線性位移傳感器激

,、