標準解讀

《GB/T 8758-1988 砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法》是一項國家標準，它詳細規定了使用紅外光干涉技術來測定砷化鎵材料上外延生長層厚度的方法。該標準適用于對單晶砷化鎵襯底上通過氣相沉積、液相外延或分子束外延等工藝形成的砷化鎵外延層進行厚度測量。

在本標準中，主要介紹了如何利用紅外光源產生的光波，在經過樣品表面反射后形成干涉條紋，并通過對這些條紋的分析計算出外延層的具體厚度值。此過程涉及到選擇合適的光源（如鎢絲燈）、調整實驗裝置使得光線能夠垂直入射到樣品表面以及采用適當的方法記錄和處理所得到的干涉圖樣等步驟。


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  • 1988-02-25 頒布
  • 1989-02-01 實施
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GB/T 8758-1988砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法-免費下載試讀頁

文檔簡介

UDC661.868.1.46：620.1H21中華人民共和國國家標準GB8758-88砷化鎳外延層厚度紅外干涉測量方法Measuringthicknesssofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterference1988-02-25發布1989-02-01實施家標準）發布

中華人民共和國國家標準UDC661.868·1.46：620.1砷化鏢外延層厚度紅外干涉GB8758-88測量方法Measuringthicknessofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterfercnce本標準適用于砷化鏢外廷層厚度的測定。，可測厚度大于2山m。要求襯底電阻率小于0.020·cm,外延層的電阻率大于0.12·cm。原理村底與外延層的光學常數差別較大,當紅外光入射到外延片表面時,在反射光譜中產生干涉條紋。根據干涉條紋的極大值或極小值的波長位置、襯底和外延層的光學常數以及光束的入射角，計算出外延層的厚度。2樣品要求2-1樣品應具有良好的光學表面，不應有大面積的鈍化層2.2襯底和外延層的導電類型和襯底電阻率應是已知的。3儀器和附件3.1儀器3.1.1波長范圍為2.5～50um（4000～200cm2）的雙光束紅外分光光度計或傅立葉變換紅外光譜儀、3.1.2波長重復性和波長精度至少為0.05um。3.1.3在1000cm-處,光譜分辨率為2cm2或更小.3.2附件3.2.1與分光光度計相匹配的反射附件,入射角不大于30°3.2.2光闌：應以非反射的黑體材料制成，具有各種孔徑。4測量步驥4.1分光光度計校準4.1.1測定波長精度和重復性。測址厚度為300～500m聚苯乙烯膜吸收光譜，并以3.303m吸收帶為測量參考譜帶,測量10.次，其結果應滿足3.1.2的要求。4.1.2將反射附件置入光路中,測量100%線，其峰谷值應小于8%。4.2.測量條件選擇4.2.1安裝反射附件。4.2.2按照下列步驃選擇最大的掃描速度。使用襯底和外延層電阻率分別為0.008·cm和0.12（·cm的外延片在波長大于25u

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