ICS29020

J09.

中華人民共和國國家標準

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

機械電氣安全機械電氣設備

第33部分半導體設備技術條件

:

Electricalsafetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—

Part33Reuirementsforsemiconductorfabricationeuiment

:qqp

(IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—

Part33:Requirementsforsemiconductorfabricationequipment,IDT)

2017-10-14發布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

目次

前言

…………………………Ⅶ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………3

基本要求

4…………………11

一般原則

4.1……………11

電氣設備的選擇

4.2……………………11

電源

4.3…………………11

實際環境和運行條件

4.4………………12

運輸和存放

4.5…………………………12

設備搬運

4.6……………12

安裝

4.7…………………12

引入電源線端接法和切斷開關

5…………12

引入電源線端接法

5.1…………………12

連接外部保護接地系統的端子

5.2……………………13

電源切斷隔離開關

5.3()………………13

附加切斷裝置

5.4………………………15

對未經允許疏忽和錯誤連接的防護

5.5、……………15

電擊防護

6…………………16

概述

6.1…………………16

直接接觸的防護

6.2……………………16

間接接觸的防護

6.3……………………17

采用的保護

6.4PELV…………………18

防止有技能人員和受訓人員接觸危險帶電部分

6.5…………………19

電氣設備的保護

7…………………………19

概述

7.1…………………19

過電流保護

7.2…………………………20

電動機的過熱保護

7.3…………………22

電動機的超速保護

7.4…………………22

異常溫度的檢測

7.5……………………23

對電源中斷或電壓降落隨后復原的保護

7.6…………23

接地故障殘余電流保護

7.7/…………23

相序保護

7.8……………23

閃電和開關浪涌引起過電壓的防護

7.9………………23

電解電容器

7.10………………………23

等電位聯結

8………………23

Ⅰ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

概述

8.1…………………23

保護聯結電路

8.2………………………25

功能聯結

8.3……………27

限制大泄漏電流影響的措施

8.4………………………27

控制電路緊急斷開和保護聯鎖電路

9,(EMO)…………27

控制電路

9.1……………27

緊急斷開

9.2(EMO)…………………28

緊急斷開之外的操作

9.3………………29

聯鎖保護

9.4……………30

安全功能和或保護措施的暫時停止

9.5()……………31

操作板和安裝在機械上的控制器件

10…………………31

總則

10.1………………31

按鈕

10.2………………32

指示燈

10.3……………33

光標按鈕

10.4…………………………34

旋動控制器件

10.5……………………34

起動器件

10.6…………………………34

緊急斷開裝置

10.7……………………34

緊急停止裝置

10.8……………………35

使能控制器件

10.9……………………35

控制設備位置安裝和電柜

11:、…………35

一般要求

11.1…………………………35

位置和安裝

11.2………………………35

防護等級

11.3…………………………36

電柜

11.4………………36

導線和電纜

12……………38

一般要求

12.1…………………………38

絕緣

12.2………………39

載流容量

12.3…………………………39

導線和電纜的電壓降

12.4……………39

柔性電纜

12.5…………………………39

配線技術

13………………40

連接和布線

13.1………………………40

多插座組件

13.2………………………42

插頭插座組合件

13.3/…………………42

導線的標識

13.4………………………42

電柜外配線

13.5………………………43

管道接線盒與其他線盒

13.6、…………45

電動機及有關設備

14……………………46

一般要求

14.1…………………………46

遠程安裝的電動機

14.2………………46

Ⅱ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

電機尺寸

14.3…………………………46

電機的安裝與隔間

14.4………………46

附件和照明

15……………46

附件

15.1………………46

半導體設備的局部照明

15.2…………46

標記警告標志和參照代號

16、……………47

概述

16.1………………47

電擊危險警告標志

16.2………………47

功能識別

16.3…………………………47

設備的銘牌

16.4………………………48

參照代號

16.5…………………………48

技術文件

17………………48

概述

17.1………………48

提供的資料

17.2………………………48

適用于所有文件的要求

17.3…………49

安裝文件

17.4…………………………49

概略圖和功能圖

17.5…………………50

電路圖

17.6……………50

操作文件

17.7…………………………50

維修文件

17.8…………………………50

測試

18……………………51

概述

18.1………………51

接地連續性和保護聯結回路連續性試驗

18.2………51

一體式電源線的接觸電流試驗

18.3…………………52

耐壓試驗

18.4…………………………52

電線防拉試驗

18.5……………………53

電輸出源短路試驗

18.6………………54

聯鎖保護電路功能試驗

18.7…………54

儲能電容器放電試驗見

18.8(6.2.4)…………………54

溫度試驗

18.9…………………………55

電柜強度試驗的穩定力試驗

18.10;30N……………55

電氣柜強度試驗的穩定力試驗

18.11;250N………56

指型試具試驗

18.12……………………56

導線彎曲試驗

18.13……………………56

絕緣電阻試驗

18.14……………………57

功能試驗

18.15EMO…………………57

輸入電流試驗

18.16……………………57

其他安全電路實驗

18.17………………57

電動機溫度試驗

18.18…………………57

附錄規范性附錄在系統中的基本保護間接接觸的防護來自

A()TN()(GB/T16895.21—2011

和

GB/T16895.23—2012)……………………59

Ⅲ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

附錄規范性附錄在系統中間接接觸的防護來自和

B()TT(GB/T16895.21—2011

GB/T16895.23—2012)…………62

附錄規范性附錄導體載流能力電氣間隙和爬電距離

C()、…………64

附錄規范性附錄標準試指

D()…………70

附錄資料性附錄系統接地型式引自

E()(IEC60364-1:2005)………72

參考文獻

……………………86

圖電氣設備等電位接地示例

1…………24

圖電氣外殼前面空間

2…………………38

圖故障環路阻抗測量典型配置

A.1……………………61

圖剛性試指

D.1…………………………70

圖鉸接試指

D.2…………………………71

圖整個系統的中性線和保護導體是分開的系統

E.1TN-S…………73

圖整個系統的接地相線和保護導體是分開的系統

E.2TN-S………73

圖有保護接地沒有配電中性導體的系統

E.3,TN-S…………………74

圖三相四線的系統中在裝置中某處和是分開的

E.4TN-C-S,PENPEN…………74

圖三相四線的系統中在進線端分開成和

E.5TN-C-S,PENPEN………………75

圖單相兩線的系統中在進線端分開成和

E.6TN-C-S,PENPEN………………75

圖系統整個系統中性導體和保護導體合一

E.7TN-C…………………76

圖在用電設備中保護導體和中性線分開的的多電源系統

E.8TN-C-S……………77

圖具有兩相或三相負載整個系統只有保護導體而沒有中線的多電源系統

E.9,TN………………78

圖在整個裝置中中性線和保護導體分開的系統

E.10TT……………79

圖在整個裝置中具有接地保護導體而沒有中線的系統

E.11TT……79

圖所有外露可導電部分通過一個共地的保護導體互連的系統

E.12IT……………80

圖外露可導電部分成組接地或單獨接地的系統

E.13IT……………80

圖直流系統

E.14TN-S…………………81

圖直流系統

E.15TN-C…………………82

圖直流系統

E.16TN-C-S………………83

圖直流系統

E.17TT……………………84

圖直流系統

E.18IT……………………85

表無熱保護的變壓器過電流保護

1……………………21

表帶熱保護的變壓器過電流保護

2……………………22

表按鈕操動器的顏色代碼及其含義

3…………………32

表按鈕符號

4……………33

表指示燈的顏色及其相對于半導體設備狀態的含義

5………………34

表電氣設備部件可接受的溫度

6………………………55

表系統的最長切斷時間

A.1TN………………………59

表最長切斷時間

B.1……………………63

表的導體載流量環境溫度

C.1AWG30-4,30℃……………………64

表2的導體載流量環境溫度

C.225mm~600kcmil,30℃…………65

表降額載流量根據表和表22

C.3(C.1C.2)0.050mm~4.00mm…………………65

Ⅳ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

表環境溫度校正系數

C.4………………66

表非絕緣母線尺寸

C.5…………………66

表潔凈室等級或以下的電氣間隙和爬電距離

C.61000……………68

表印刷線路板爬電距離

C.7(PWB)……………………68

表潔凈室等級以上的電氣間隙和爬電距離

C.81000………………69

Ⅴ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

前言

機械電氣安全機械電氣設備擬分成部分出版已經發布如下幾部分

GB/T5226《》,:

第部分通用技術條件

———1:;

第部分建設機械技術條件

———6:;

第部分電壓高于或但不超過的高壓設備的技術條件

———11:1000Va.c.1500Vd.c.36kV;

第部分縫紉機縫制單元和系統的特殊安全和電磁兼容性方面的要求

———31:、;

第部分起重機械通用技術條件

———32:;

第部分半導體設備技術條件

———33:。

本部分為的第部分

GB/T522633。

本部分按給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用機械安全機械電氣設備第部分半導體設

IEC60204-33:2009《33:

備技術條件第版英文版

》(1,)。

與本部分中規范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

標準電壓

———GB/T156—2007(IEC60038:2002,MOD)

外殼防護等級代碼

———GB/T4208—2017(IP)(IEC60529:2001,IDT)

所有部分電氣簡圖用圖形符號所有部分

———GB/T4728()[IEC60617()]

信息技術設備安全第部分通用要求

———GB4943.1—20111:(IEC60950-1:2005,MOD)

電工電子產品著火危險試驗第部分試驗火焰水平與垂

———GB/T5169.16—200816:50W

直火焰試驗方法

(IEC60695-11-10:2003,IDT)

所有部分電氣設備用圖形符號所有部分

———GB/T5465()[IEC60417()]

所有部分機械安全控制系統有關安全部件所有部分

———GB/T16855()[ISO13849()]

機械安全控制系統有關安全部件第部分設計通則

———GB/T16855.1—20081:(ISO13849-

1:2006,IDT)

所有部分機械安全指示標志和操作所有部分

———GB/T18209()、[IEC61310()]

變壓器電抗器電源裝置及其組合的安全第部分通用要求和試

———GB/T19212.1—2016、、1:

驗

(IEC61558-1:2009,MOD)

機械安全雙手操縱裝置功能狀況及設計原則

———GB/T19671—2005(ISO13851:2002,

MOD)

所有部分電氣電子可編程電子安全相關系統的功能安全所有

———GB/T20438()//[IEC61508(

部分

)]

本部分做了下列編輯性修改

:

標準名稱改為機械電氣安全機械電氣設備第部分半導體設備技術條件

———《33:》。

本部分由中國機械工業聯合會提出

。

本部分由全國工業機械電氣系統標準化技術委員會歸口

(SAC/TC231)。

本部分負責起草單位中微半導體設備上海有限公司

:()。

本部分參加起草單位北京機床研究所上海微電子裝備有限公司北京北方微電子基地設備工藝

:、、

研究中心有限責任公司沈陽拓荊科技有限公司北京七星華創電子股份有限公司中晟光電設備上

、、、(

海有限公司理想太陽能上海有限公司盛美半導體設備上海有限公司

)、()、()。

本部分主要起草人李天笑黃祖廣王海濤田保峽郭和平沈紅孫東曦潘菊鳳孫巖劉忠武

:、、、、、、、、、、

張志強李補忠薛瑞娟

、、。

Ⅶ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

機械電氣安全機械電氣設備

第33部分半導體設備技術條件

:

1范圍

的本部分規定了半導體設備相關的制造測量組裝和測試的電氣電子和可編程電子

GB/T5226、、、

設備及系統的安全要求

。

注1本部分中的電氣一詞包括電氣電子和可編程電子設備三方面如電氣設備是指電氣設備電子設備和可編

:“”、(、

程電子設備

)。

注2就本部分而言人