標準解讀

《GB/T 38446-2020 微機電系統(MEMS)技術 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》是一項國家標準，旨在規范微機電系統中帶狀薄膜材料的抗拉性能測試過程。該標準適用于MEMS領域內使用的各種帶狀薄膜材料，通過定義統一的測試方法來確保不同實驗室或機構間測試結果的一致性和可比性。

標準首先明確了術語和定義部分，對關鍵概念如“帶狀薄膜”、“抗拉強度”等進行了界定，為后續內容的理解奠定了基礎。接著，在試驗設備章節里，詳細描述了進行此類實驗所需的基本裝置配置要求，包括但不限于拉伸試驗機、夾具以及測量工具等，并規定了這些設備的具體技術參數與精度等級。

對于樣品制備，《GB/T 38446-2020》提出了明確的操作指南，涵蓋從選取合適尺寸的試樣到如何正確安裝于測試儀器上的全過程。同時，還特別強調了環境條件（如溫度、濕度）對測試結果的影響，建議在控制良好的條件下開展實驗以減少外界因素干擾。

在試驗步驟方面，標準詳盡地列出了每一步驟的具體操作流程，從加載方式的選擇到數據記錄方法均有涉及。此外，還針對可能出現的數據異常情況給出了處理建議。最后，在結果計算與表示環節，《GB/T 38446-2020》提供了公式用于計算關鍵指標值，并指導如何準確表達最終測試成果。


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....

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  • 2020-03-06 頒布
  • 2020-10-01 實施
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GB/T 38446-2020微機電系統(MEMS)技術帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法_第1頁
GB/T 38446-2020微機電系統(MEMS)技術帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法_第2頁
GB/T 38446-2020微機電系統(MEMS)技術帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法_第3頁
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文檔簡介

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T38446—2020

微機電系統MEMS技術

()

帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Testmethodsfortensilepropertymeasurementofstripthinfilms

2020-03-06發布2020-10-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T38446—2020

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

試驗方法

4…………………2

數據處理

5…………………4

附錄資料性附錄采用工藝的樣品制備

A()MEMS……………………5

附錄資料性附錄對準偏差和幾何結構對性能測試的影響

B()………7

附錄資料性附錄納米壓痕儀的測試結果誤差及補償

C()……………9

參考文獻

……………………10

GB/T38446—2020

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準起草單位北京大學中機生產力促進中心北京智芯傳感科技有限公司無錫華潤上華科技

:、、、

有限公司中北大學北京必創科技股份有限公司

、、。

本標準主要起草人張威李海斌張亞婷朱悅夏長奉石云波陳得民馬書嫏程紅兵周浩楠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38446—2020

微機電系統MEMS技術

()

帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

1范圍

本標準規定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法及數據處理

。

本標準適用于厚度在到數微米之間且長度和厚度的比值大于的樣品也可用于

50nm300,MEMS

產品帶狀薄膜結構的質量監控

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

微機電系統技術術語

GB/T26111(MEMS)

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T26111。

31

.

彈性模量modulusofelasticity

E

材料在彈性變形階段時應力與應變的比值

,。

注改寫定義

:GB/T3102.3—1993,3.18.1。

32

.

屈服強度yieldstrength

Re

當材料呈現屈服現象時在試驗期間達到塑性變形發生而力不增加的應力點

,。

注1改寫定義

:GB/T228.1—2010,3.10.2。

注2對于屈服現象明顯的材料屈服強度就是材料發生屈服現象時屈服極限的應力對于屈服現象不明顯的材料

:,;,

屈服強度為應變達到殘余應變時的應力

0.2%。

33

.

抗拉強度tensilestrength

Rm

材料拉斷過程中對應的最大應力

。

注改寫定義

:GB/T228.1—2010,3.10.1。

34

.

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