ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T35086—2018

MEMS電場傳感器通用技術條件

GeneralspecificationforMEMSelectricfieldsensor

2018-05-14發布2018-12-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T35086—2018

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

原材料

4……………………1

傳感器組成

5………………2

技術要求

6…………………2

試驗項目和方法

7…………………………4

檢驗規則

8…………………10

標志包裝儲存和運輸

9、、…………………12

Ⅰ

GB/T35086—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準起草單位中國科學院電子學研究所中機生產力促進中心西安西谷微電子有限責任公司

:、、。

本標準主要起草人夏善紅彭春榮李海斌鄭鳳杰程紅兵朱悅白巍

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T35086—2018

MEMS電場傳感器通用技術條件

1范圍

本標準規定了電場傳感器以下簡稱傳感器的原材料結構組成技術要求試驗項目和

MEMS(“”)、、、

方法檢驗規則包裝存儲和運輸

、、、。

本標準適用于電場傳感器的研制生產和采購其他類型的電場傳感器可參照使用

MEMS、。。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗低溫

GB/T2423.1—20082:A:

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗高溫

GB/T2423.2—20082:B:

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗交變濕熱循

GB/T2423.42:Db(12h+12h

環

)

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗和導則沖擊

GB/T2423.52:Ea:

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗振動正弦

GB/T2423.102:Fc:()

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗及導則長霉

GB/T2423.162:J:

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗鹽霧

GB/T2423.172:Ka:

電工電子產品環境試驗第部分試驗方法試驗低氣壓

GB/T2423.212:M:

環境試驗第部分試驗方法試驗溫度變化

GB/T2423.22—20122:N:

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

電磁兼容試驗和測量技術靜電放電抗擾度試驗

GB/T17626.2—2006

傳感器主要靜態性能指標計算方法

GB/T18459—2001

微機電系統技術術語

GB/T26111(MEMS)

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T26111。

31

.

MEMS電場傳感器MEMSelectricfieldsensor

敏感元件采用微機電系統技術制造能感受電場