ICS29045

H83.

中華人民共和國國家標準

GB/T31092—2014

藍寶石單晶晶錠

Monocrystallinesapphireingot

2014-12-22發布2015-09-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31092—2014

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

要求

4………………………1

檢驗方法

5…………………3

檢驗規則

6…………………4

標志包裝運輸貯存和質量證明書

7、、、……………………5

訂貨單或合同內容

8()……………………6

附錄規范性附錄總雜質含量的測定方法

A()…………7

附錄規范性附錄位錯密度測試方法

B()………………9

附錄規范性附錄雙晶搖擺曲線的半峰寬值的檢測方法

C()…………12

附錄規范性附錄局部光散射體氣泡包裹物及散射顆粒檢測方法

D()、、……………15

附錄規范性附錄鑲嵌孿晶的檢測方法

E()、…………18

附錄規范性附錄透光率檢測方法

F()…………………20

Ⅰ

GB/T31092—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會和全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位協鑫光電科技江蘇有限公司中國科學院上海光學精密機械研究所常州億晶

:()、、

光電科技有限公司江蘇吉星新材料有限公司新疆紫晶光電技術有限公司

、、。

本標準主要起草人劉逸楓魏明德徐養毅杭寅吳劍波蔡金榮趙新儉

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T31092—2014

藍寶石單晶晶錠

1范圍

本標準規定了藍寶石單晶晶錠的要求檢驗方法檢驗規則及標志包裝運輸貯存和質量證明書

、、、、、、

訂貨單或合同內容

()。

本標準適用于藍寶石單晶晶錠產品可用于制造氮化鎵外延薄膜及其他用途的藍寶石單晶襯底材

,

料以下簡稱晶錠

()。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法

GB/T1554

半導體單晶晶向測定方法

GB/T1555

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

藍寶石sapphire

可以用來外延生長的有確定晶向的人工生長單晶氧化鋁材料

,。

32

.

藍寶石晶錠sapphireingot

依特定軸向生長的晶體通過機械加工后能滿足切片的藍寶石棒材

,。

33

.

總長度totallength

晶錠測量的實際幾何長度

。

34

.

有效長度effectivelength

晶錠實際長度中去除晶錠內部缺陷后的幾何長度

,。

4要求

41化學組成

.

晶錠為高純的α其總雜質含量應小于

-Al2O3,