ICS29045

CCSH.83

中華人民共和國國家標準

GB/T31092—2022

代替GB/T31092—2014

藍寶石單晶晶棒

Monocrystallinesapphirebar

2022-12-30發(fā)布2023-07-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T31092—2022

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替藍寶石單晶晶錠與相比除結構調整和編

GB/T31092—2014《》,GB/T31092—2014,

輯性改動外主要技術變化如下

,:

更改了適用范圍見第章年版的第章

a)(1,20141);

更改了藍寶石單晶的定義見年版的增加了藍寶石單晶晶棒參考槽的

b)“”(3.1,20143.1),“”“”

定義見刪除了藍寶石晶錠總長度的定義見年版的

(3.2、3.3),“”“”(20143.2、3.3);

更改了結晶質量的要求見年版的

c)(4.2,20144.2);

刪除了圖見年版的圖見年版的

d)1(20144.4.1)、2(20144.4.2);

更改了棒料的尺寸及允許偏差的要求見年版的

e)(4.4.1,20144.5);

增加了參考槽的尺寸及允許偏差的要求見和參考槽的結構圖見圖

f)(4.4.2)(1);

增加了塊料的尺寸要求見

g)(4.4.3);

更改了透過率的要求見年版的

h)(4.6,20144.7);

更改了總雜質含量結晶質量表面取向及主參考面取向尺寸及允許偏差鑲嵌孿晶及透過

i)、、、、、

率的試驗方法見第章年版的第章

(5,20145);

更改了標志的內容見年版的

j)(7.1,20147.1);

增加了隨行文件的內容見

k)(7.4)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位天通銀廈新材料有限公司天通控股股份有限公司有色金屬技術經濟研究院有

:、、

限責任公司浙江晶瑞電子材料有限公司雅波拓福建新材料有限公司中國科學院上海光學精密機

、、()、

械研究所哈爾濱奧瑞德光電技術有限公司山東恒晶新材料有限公司山西華晶恒基新材料有限公司

、、、、

重慶四聯(lián)光電科技有限公司蘇州恒嘉晶體材料有限公司通遼精工藍寶石有限公司義烏力邁新材料

、、、

有限公司

。

本文件主要起草人康森魯雅榮滕斌邵峰李素青宋巖巖張芹賀東江杭寅石剛左洪波

:、、、、、、、、、、、

楊鑫宏許永賓鄺光寧趙偉徐永亮閆殿軍付萍黃德銀

、、、、、、、。

本文件于年首次發(fā)布本次為第一次修訂

2014,。

Ⅰ

GB/T31092—2022

藍寶石單晶晶棒

1范圍

本文件規(guī)定了藍寶石單晶晶棒的技術要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存隨行文件

、、、、、、、

及訂貨單內容

。

本文件適用于襯底光學用途的藍寶石單晶晶棒以下簡稱晶棒

、(“”)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

產品幾何技術規(guī)范幾何公差檢測與驗證

GB/T1958(GPS)

無色光學玻璃測試方法第部分光譜內透射比

GB/T7962.1212:

半導體材料術語

GB/T14264

藍寶石晶錠應力測試方法

GB/T31093

多晶硅痕量元素化學分析輝光放電質譜法

GB/T33236

藍寶石單晶位錯密度測量方法

GB/T33763

藍寶石單晶晶向測定方法

GB/T34210

藍寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法

GB/T34612X

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

藍寶石單晶monocrystallinesapphire

人工生長的有確定晶向的型氧化鋁單晶

α。

32

.

藍寶石單晶晶棒monocrystalli