標準解讀

《GB/T 30858-2014 藍寶石單晶襯底拋光片》是一項國家標準，主要針對用于電子器件、光學元件等領域的藍寶石單晶襯底拋光片的質量要求進行了規(guī)定。該標準涵蓋了產品的分類與標記、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內容。

在產品分類上，根據(jù)其用途不同，藍寶石單晶襯底拋光片被分為不同類型，并且每種類型都有相應的規(guī)格尺寸要求。此外，對于材料的晶體取向也有明確的規(guī)定，以確保滿足特定應用領域的需求。

技術要求方面，《GB/T 30858-2014》對藍寶石單晶襯底拋光片提出了嚴格的物理性能指標，包括但不限于外觀質量、幾何尺寸偏差、表面粗糙度、晶體完整性及純度等。其中特別強調了表面平整度的重要性，因為這對于后續(xù)加工或直接使用都非常關鍵。

為了驗證這些技術參數(shù)是否達標，標準還詳細列出了相應的檢測方法。這不僅包括了常規(guī)的視覺檢查，也涉及到利用專業(yè)儀器進行更精確測量的技術手段。比如通過原子力顯微鏡來測定表面粗糙度值；采用X射線衍射儀測試晶體結構等。

關于檢驗規(guī)則，《GB/T 30858-2014》明確了抽樣方案、合格判定條件等內容，確保出廠前每個批次的產品都能達到規(guī)定的質量水平。同時，還給出了不合格品處理的具體指導原則。

最后，在包裝、標志、運輸和貯存部分，則是對如何妥善保護這些精密材料提出了建議，比如應使用防靜電材料包裝、避免強烈光照直射等措施，以防止在物流過程中造成損壞。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-07-24 頒布
  • 2015-04-01 實施
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文檔簡介

ICS29045

H83.

中華人民共和國國家標準

GB/T30858—2014

藍寶石單晶襯底拋光片

Polishedmono-crystallinesapphiresubstrateproduct

2014-07-24發(fā)布2015-04-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30858—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會及材料分技術委員會

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標準主要起草單位協(xié)鑫光電科技控股有限公司中國科學院上海光機所浙江昀豐新能源科技

:、、

有限公司浙江上城科技有限公司江蘇吉星新材料有限公司

、、。

本標準主要起草人魏明德黃朝暉劉逸楓杭寅徐永亮袁忠純蔡金榮

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30858—2014

藍寶石單晶襯底拋光片

1范圍

本標準規(guī)定了藍寶石單晶襯底拋光片的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸儲存質量證

、、、、、、、

明書與訂貨單或合同內容

()。

本標準適用于單面拋光藍寶石襯底片以下簡稱藍寶石襯底片

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產品幾何技術規(guī)范表面結構輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

半導體單晶晶向測定方法

GB/T1555

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

硅片彎曲度測試方法

GB/T6619

硅片翹曲度非接觸式測試方法

GB/T6620

硅拋光片表面質量目測檢驗方法

GB/T6624

硅及其他電子材料晶片參考面長度測量方法

GB/T13387

硅片直徑測量方法

GB/T14140

半導體材料術語

GB/T14264

硅拋光片表面顆粒測試方法

GB/T19921

藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法

GB/T30857

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

藍寶石sapphire

可以用來外延生長的有確定晶向的人工生長單晶氧化鋁材料

、。

32

.

襯底substrate

用于生長硅氮化鎵或其他材料的拋光藍寶石晶片

、。

33

.

局部厚度變化localthicknessvariation

當藍寶石晶片的背面為理想平面時在晶片表面的局部區(qū)域內相對于特定參考平面的最大偏差

,,,

通常報告晶片上所有局部定域的最大值

。

34

.

藍寶石晶棒sapphireingot

依特定軸向生長的

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