ICS.23.160J78中華人民共和國國家標準GB/T_18193-2000idtISO3530：1979真空技術質譜檢漏儀校準Vacuumtechnology·Mass-spectrometer-typeleakdetectorcalibration2000-09-26發布2001-02-01實施國家質量技術監督局發布

GB/T18193-2000前本標準等同采用ISO3530:1979《真空技術質譜檢漏儀校準》.在技術內容上與該國際標準等效但是考慮到我國標準本身的特點及漢語的表述習慣，使該標準既與國際標準接軌.又適合我國的國情，為此·對ISO3530:1979標準的個別內容作了編輯性修改。本標準由國家機械工業局提出。本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口本標準起草單位：沈陽真空技術研究所。本標準主要起草人：龍方、李春影、任麗華、李玉英

GB/T18193-2000ISO前音ISO(國際標準化組織)是各國標準協會(ISO成員)世界性的聯合組織。制定國際標準工作是通過ISO技術委員會來進行的。每個成員都有權參加其感興趣的議題所在的委員會,與ISO有關的國際組織·政府的和非政府的也參加了這個工作。技術委員會采納的國際標準草案，被ISO理事會采納成為國際標準以前，應發給各個委員會成員ISO3530國際標準為ISO/TC112真空技術委員會制定，并于1978年11月發給了每個成員。本標準由以下國家成員通過：澳大利亞比利時智利前捷克斯洛伐克德國法國印度意大利日木墨西哥韓國波蘭羅馬尼亞南非共和國西班牙英國美國沒有成員表示反對這個文件

GB/T18193-2000ISO引言該標準規定了質譜檢漏儀校準的使用程序，即測定質譜檢漏儀靈敏度。但該程序需要使用的一個?；绰┛缀鸵环N標準的氣體混合物，不在這個標準的范圍內。質譜檢漏儀以下簡稱“檢漏儀"。檢漏儀用于機械孔(如針孔)的漏量和通過許多聚合材料而發生的漏氣的探測。那些表面解吸、氣化和氣穴的虛漏，一般不能用檢漏儀探測。漏率校準范圍限制在一個規定的水平，因為對于較大泄漏這個因素是不重要的.而對于漏率小于10-1Pa·m2·s的泄漏·這個因素就變得重要了。檢漏儀檢驗的對象可以在高真空條件下或者高于大氣壓下。一般在兩種情況下檢漏技術將不同。在第一種情況下.檢漏儀通常在接近它的低的極限壓力下進行工作：在第二種情況下，檢漏儀常被使用在其最大或接近最大工作壓力。對應于這兩個工作條件，兩個靈敏度術語定為：“最小可檢漏率"和“最小可檢濃度比"（見本標準第2章)。這樣定義的兩個量是有關系的，但是,從一個數據去算得另一個數據不可行。因此規定了測定兩者的方法該標準用在真空技術領域中是一系列泄漏試驗程序和裝置標準之一。應用分類：氣密性、檢漏儀校準、漏孔的校準、氣體混合物、檢漏儀驗收規范和真空設備的氣密檢驗的一般程序。上述應用分類中的-一些項構成將來標準的課題

中華人民共和國國家標準真空技術質譜檢漏儀校準GB/T18193-2000idtIso3530：1979Vacuumtechnology一Mass-speetrometer-typeleakdetectorcalibration1范圍本標準規定了質譜檢漏儀的校準程序。它僅適用于校準將靈敏元件處于高真空系統中的檢漏儀。因此這個方法沒有制訂完整的驗收試驗。本標準規定探索氣體使用氨-4。但在適當的預防措施下,可以使用其他探索氣體,如氬-40,本標準的應用受到檢漏儀不能測定小于10-Pa·m2·s一漏率漏孔限制。本標準程序提出了測定最小可檢漏率和最小可檢濃度比的兩個要點。它分別應用于高真空和壓力大于一個大氣壓的檢漏儀上。2定義本標準采用下列定義2.1本底(或殘余信號）background(orresidualsignal)2.1.1本底background設有注入探索氣體時，檢漏儀給出的總的假象指示(本底發生在質譜管中或在電極電子系統中或同時發生在兩者中。由于離子不同于注人探索氣體所產生的離子.所以該術語習慣稱為指示）。2.1.2漂移drift本底較緩慢的改變。有效的參量是在規定的期間內測得的最大漂移2.1.3噪聲noise本底比較快地改變。有效的參量是在規定的期間內測得的噪聲2.1.4氫本底heliumbackground由檢漏儀壁或檢漏系統釋放出氨所造成的本底2.2元件components2.2.1人口管路或試樣人口管路inletlineorsampleinletline深索氣體從試驗件流到檢漏儀經過的管路。2.2.2人口閥inletvalve連接試樣與檢漏儀的閥門(見圖1),它是檢漏儀的主要部件2.2.3漏孔隔離閥leakisolationvalve安裝在試驗檢漏儀所用的漏孔和試樣入口管路之間的閥門(見圖1)。2.2.4抽氣閥pumpvalve安裝在抽空試樣人口管路使用的粗抽泵和管路之間的閥（見圖1）2.2.5放氣閥ventvalve用來引進空氣或其他氣體進