標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量方法》是一項由中國發(fā)布的國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定使用掃描電子顯微鏡（SEM）對微米量級尺寸進(jìn)行精確測量的方法與要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于各類材料表面結(jié)構(gòu)特征的長度測量，包括但不限于線寬、顆粒直徑、孔隙大小等微觀幾何參數(shù)。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的測量對象和條件，即利用掃描電鏡對樣品表面微米尺度的線性尺寸進(jìn)行測量。

  2. 引用標(biāo)準(zhǔn)：列出了實施該測量方法時需要參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)或國際標(biāo)準(zhǔn)，確保測量過程和技術(shù)要求的一致性和準(zhǔn)確性。

  3. 術(shù)語和定義：對在標(biāo)準(zhǔn)中使用的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了明確界定，幫助使用者準(zhǔn)確理解測量中的概念，如分辨率、放大率、測量誤差等。

  4. 儀器要求：詳細(xì)描述了進(jìn)行測量所必需的掃描電鏡設(shè)備應(yīng)具備的技術(shù)指標(biāo)，包括分辨率、穩(wěn)定性、校準(zhǔn)要求等，以保證測量結(jié)果的可靠性。

  5. 樣品制備：說明了樣品預(yù)處理、固定、切割、鍍膜等準(zhǔn)備步驟，確保樣品適合于SEM觀測且不引入額外的形變或污染。

  6. 測量方法：

    • 成像條件選擇：根據(jù)被測特征的尺寸和性質(zhì)，確定合適的加速電壓、工作距離、探測器類型等成像參數(shù)。
    • 圖像獲取：如何正確采集高清晰度的SEM圖像，包括對焦、選擇合適的放大倍數(shù)等操作。
    • 測量技術(shù)：介紹了直接測量法、標(biāo)尺法、圖像分析軟件輔助測量等多種測量手段，并給出了具體操作流程。

  7. 數(shù)據(jù)處理與分析：包括如何從SEM圖像中提取測量數(shù)據(jù)，計算測量結(jié)果，以及對測量誤差進(jìn)行評估和校正的方法。

  8. 質(zhì)量控制：強調(diào)了重復(fù)測量、儀器校驗、環(huán)境條件監(jiān)控等措施，以確保測量結(jié)果的可重復(fù)性和準(zhǔn)確性。

  9. 報告：規(guī)定了測量報告應(yīng)包含的信息，如樣品描述、測量條件、結(jié)果數(shù)據(jù)、不確定度分析等，以便于信息的交流和追溯。


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  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16594-2008
  • 1996-11-04 頒布
  • 1997-04-01 實施
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ICS17.040.01N33中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16594-1996微米級長度的掃描電鏡測量方法MicrongradelenghtmeasurementbySEM1996-11-04發(fā)布1997-04-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

CB/T16594-1996前本標(biāo)準(zhǔn)是一個測量方法標(biāo)準(zhǔn)，其量值可以湖源到長度基準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)主要用于測量微小顆粒的直徑、薄層厚度、線條寬度、線條距離、線維直徑、刀刃的曲率半徑本標(biāo)準(zhǔn)可與JG550—88掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程并列使用。本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：上海市測試技術(shù)研究所、中國船崩總公司725研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張訓(xùn)彪、徐國照、高文華。

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)微米級長度的掃描電鏡測量方法GB/T16594-1996MicrongradelenghtmeasurementbySEM1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量微米級長度的方法，適用于測量0.5～10m的長度，也適用于電子探針分析儀測量微米級長度。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。在標(biāo)準(zhǔn)出版時，所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。JJG550-88掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程3基本原理這是一種比較測量方法。其基本原理是：先用掃描電鏡獲得待測樣品和微米級標(biāo)尺（以下簡稱標(biāo)尺)的二次電子像，然后用比長儀測量出底片上標(biāo)尺圖像的分度長度（A)和樣品圖像中待測的兩個特征點之間的長度(B)。樣品中待測的實際長度(L)按式(1)計算、········（1）式中一·標(biāo)尺分度的標(biāo)定值4標(biāo)準(zhǔn)器和儀器設(shè)備4.1標(biāo)尺：應(yīng)經(jīng)過法定計地機構(gòu)標(biāo)定、4.2掃描電鏡：分辨力優(yōu)于0.01gm.4.3比長儀：量程不小于60mm,誤差不超過士5m:4.4光學(xué)顯微鏡：放大倍數(shù)不小于40倍。5試驗方法5.1樣品的準(zhǔn)備5.1.1將待測樣品置于樣品柱上，用光學(xué)顯微鏡觀測，將樣品的工作面調(diào)整到與樣品柱垂直，然后用導(dǎo)電膠將樣品固定、5.1.2若樣品不導(dǎo)電，應(yīng)在樣品表面噴鍍厚度大約為10nm的金5.1.3將樣品柱置于樣品座上，并調(diào)整到標(biāo)準(zhǔn)高度5.1.4按5.1.1～5.1.3方法，將標(biāo)尺于樣品座上。5.1.5用光學(xué)顯微鏡觀測,先將樣品暨于視場中，調(diào)節(jié)光學(xué)顯微鏡，使樣品工作面正焦5.1.6平移樣品座，使標(biāo)尺置

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