標準解讀

《GB/T 15075-1994 電子探針分析儀的檢測方法》是中國關于電子探針分析儀檢測技術的一項國家標準。該標準詳細規定了使用電子探針分析儀進行材料微區成分分析的操作程序、測量條件、數據處理及結果表示等技術要求，旨在確保測試結果的準確性和可比性。以下是對該標準主要內容的概述：

  1. 范圍：標準明確了適用范圍，即適用于使用電子探針分析技術對固體材料表面或微小區域內的元素種類及其含量進行定性和定量分析。

  2. 術語和定義：定義了電子探針分析相關的專業術語，如電子探針（EPMA）、波長色散X射線光譜（WDX）、能量色散X射線光譜（EDX）等，為標準的正確理解和應用提供了基礎。

  3. 引用標準：列出了執行本標準時需要參考的其他相關國家標準和國際標準，確保了檢測方法的規范性和一致性。

  4. 儀器要求：詳細描述了電子探針分析儀應具備的基本構造、性能指標及校準要求，包括電子光學系統、X射線探測系統、樣品室、真空系統等關鍵部件的技術參數。

  5. 樣品準備：規定了樣品制備的原則、方法及要求，強調了樣品表面處理、形狀尺寸、清潔度對分析結果的影響，確保樣品適合電子探針分析。

  6. 測試條件選擇：包括加速電壓、束流強度、工作距離等參數的選擇原則，以及如何根據被測材料性質和分析目的優化測試條件。

  7. 測量與分析方法：闡述了WDX和EDX兩種主要分析技術的原理、操作步驟和注意事項，指導如何進行點分析、線掃描、面掃描等不同類型的測量。

  8. 數據處理與結果表示：規定了數據采集、背景扣除、定量分析模型（如內標法、經驗系數法等）的應用，以及最終測試報告的內容、格式和要求，確保結果的科學性和規范性。

  9. 質量控制與檢驗：提出了重復性、再現性試驗的方法，以及儀器定期校驗、比對實驗等質控措施，以監控和保證分析結果的可靠性。

  10. 安全操作：簡要提及了在操作電子探針分析儀過程中的安全注意事項，強調遵守輻射防護、高壓設備操作等相關安全規范。


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  • 廢止
  • 已被廢除、停止使用，并不再更新
  • 1994-05-09 頒布
  • 1994-12-01 實施
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文檔簡介

UDC621.317.7：620.1N33中華人民共和國國家標準GB/T15075－94電子探針分析儀的檢測方法MethodfortestingEPMAinstrument1994-05-09發布1994-12-01實施國家技術監督局發布

中華人民共和國國家標準GB/T15075-94電子探針分析儀的檢測方法MethodfortestingEPMAinstrument1主題內客與適用范圍本標準規定了電子探針分析儀的檢測條件、技術要求、檢測方法、判別原則與檢測周期。本標準適用于使用中、修理后用X射線波長分光譜儀（簡稱波譜儀）進行元素分析的電子探針分析儀的檢測。配有波譜儀的掃描電子顯微鏡的檢測可參照執行。2引用標準GB4930電子探針分析標準樣品通用技術條件JJG550掃描電子顯微鏡試行檢定規程3檢測東件3.1環境條件3.1.1環境溫度：18～25℃；3.1.2相對濕度：50%～~70%；3.1.3雜散磁通量密度：小于0.5PT;3.1.4地基振幅;小于5“m(5～20Hz);3.1.5接地電阻：小于1000；3.1.6電源：電壓220V士10%;頻率50Hz3.2檢測用標準器3.2.1檢測放大倍數的標準樣品：經標定的金屬柵網或標尺。3.2.2檢測二次電子像分辨力的標準樣品：碳表面噴金粒子3.2.3檢測定量分析準確度的標準樣品：國家發布的合金標準樣品和礦物標準樣品。4技術要求根據技術性能，電子探針分析儀分為：一級、二級、三級4.1外觀要求4.1.1應標明儀器名稱、型號、制造廠家、制造日期、出廠編號。4.1.2應無影響分析性能的損傷;面板上的標記應清晰;部件裝配應牢固，導線連接應可靠4.1.3操作應自如，運轉應正常。4.2工作真空度優于2×10-'Pa。4.3柬流穩定性(10-*/h)-級：優于2.5二級：優于5

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