標準解讀
《GB/T 11094-1989 水平法砷化鎵單晶及切割片》是一項中國國家標準,發布于1989年,旨在規定水平生長法制備的砷化鎵(GaAs)單晶及其切割片的質量要求、測試方法和檢驗規則。以下是該標準的主要內容概述:
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范圍:本標準適用于采用水平法生長技術制備的砷化鎵單晶及其切割片,明確了這些材料的適用范圍和基本要求。
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術語和定義:標準首先界定了相關專業術語,確保讀者對砷化鎵單晶及切割片的基本概念有清晰理解。
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分類和標記:規定了砷化鎵單晶及切割片的分類方法,包括按純度、尺寸、用途等進行區分,并要求產品應有明確的標識信息,以便于追溯和使用。
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技術要求:
- 化學成分:詳細說明了砷化鎵單晶中主元素及雜質元素的最大允許含量,確保材料的電學和光學性能。
- 物理性質:包括晶體結構、電阻率、載流子濃度、晶向、直徑、厚度等參數的規范要求。
- 表面質量與缺陷:規定了單晶表面應達到的光潔度標準,以及內部缺陷如位錯、夾雜物的允許程度。
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試驗方法:詳細描述了如何通過各種檢測手段(如X射線衍射、掃描電子顯微鏡、霍爾效應測量等)來測定砷化鎵單晶及切割片的上述各項技術指標,確保測試結果的準確性和可重復性。
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檢驗規則:制定了產品出廠前的檢驗流程、抽樣方案及合格判定準則,確保每批產品的質量符合標準要求。
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標志、包裝、運輸和儲存:規定了砷化鎵單晶及切割片的包裝方式、標志內容、運輸注意事項及適宜的儲存條件,以防止在流轉過程中受到損害。
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文檔簡介
DS.661.868.146-415H81中華人民共和國國家標準GB11094—89水平法砷化單晶及切割片Boat-growngalliumarsenidesingleCrystalsandAs-cutslices1989-03-31發布1990-03-01實施國家技術監督局發布
中華人民共和國國家標準水平法神化家單晶及切割片GB11094-89Boat-growngaliumarsenidesinglecrystalandAs-cutslicea1主題內客與適用范圍本標準規定了水平法神化家單品及切割片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規則等。本標準適用于水平法制備的砷化鏢單晶及其切割片。產品供制作光電器件、徽波器件和傳感元件等元器件用。2引用標準GB4326非本征半導體單品蛋爾遷移率和蛋爾系數測量方法GB8759化合物半導體單晶晶向×射線衍射測量方法GB8760神化驚單品位錯密度測量方法3產品分類3.1導電類型產品按導電類型分為N型和P型,按電阻率分為低阻導電型和高阻半絕緣型。以摻雜劑、載流子濃度和遷移率分類,按位錯密度分級。3.2牌號單品及切割片的牌號分別表示為:HBMORAS--口阿拉伯數字與羅馬數字組合表示產品等級與等次化學元素符號表示摻雜劑。有兩種摻雜劑時,元素符號之間用“十”連接水平法神化緣單品中國有色會具
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