第5章鋼的熱處理重點：熱處理方法和選擇。難點：熱處理原理。學習方法：工作條件→性能要求→使用組織→熱處理工藝改善鋼的性能，主要有兩條途徑：①合金化，下幾章研究的內容；②熱處理，本章要研究的內容。熱處理:

是將鋼在固態下加熱到預定的溫度，保溫一定的時間，然后以預定的方式冷卻下來的一種熱加工工藝。第1節熱處理的基本概念一、熱處理的重要性和目的經鑄造、鍛造等熱加工以后，工件中往往存在殘余應力，硬度偏高或偏低，組織粗大，存在成分偏析等缺陷。危害：

1）力學性能差；

2）不利于切削加工和成型；

3）淬火時也容易造成變形和

開裂。

熱處理的目的：1、預備熱處理（中間熱處理）：

1）改善加工性能；

2）為最終熱處理作準備。

2、最終熱處理：獲得使用性能。

3、表面熱處理：改善表面性能。在機床制造中約60-70%的零件要經過熱處理。在汽車、拖拉機制造業中熱處理的零件達70-80%。熱處理是一種重要的加工工藝，在制造業被廣泛應用。模具、滾動軸承100%需經過熱處理。總之，重要零件都需適當熱處理后才能使用。

二、熱處理的基本要素

加熱、保溫和冷卻。三、熱處理工藝

根據熱處理原理制定的溫度、時間、介質等參數稱熱處理工藝。(a)940淬火+220回火（板條M回+A‘少）(b)(c)(d)940淬火+820、780、750淬火（板條M+條狀F+A’少）(e)940淬火+780淬火+220回火（板條M回+條狀F+A‘少）(f)780淬火+220回火（板條M回+塊狀F）

20CrMnTi鋼不同熱處理工藝的顯微組織四、熱處理的理論依據

原子擴散和固態相變。五、熱處理的特點改變組織與性能；而不改變形狀與尺寸。六、熱處理的分類1、普通熱處理：

退火、正火、淬火和回火。2、表面熱處理：表面淬火；化學熱處理。

3、其它：真空熱處理；可控氣氛熱處理；形變熱處理等。七、鋼的臨界轉變溫度

A1→Ac1→Ar1A3→Ac3→Ar3

Acm→Accm→Arcm

第二節鋼的熱處理原理一、鋼的加熱轉變目的：獲得細小的奧氏體。（一）奧氏體的形成（共析鋼）鋼坯加熱共析鋼奧氏體化過程亞共析鋼和過共析鋼的奧氏體化過程與共析鋼基本相同。但由于先共析

或二次Fe3C的存在，要獲得全部奧氏體組織，必須相應加熱到Ac3或Accm以上.（二）奧氏體晶粒度

1、奧氏體晶粒度的概念用來度量奧氏體晶粒的大小的量。奧氏體晶粒度在100倍顯微鏡下，分為8級，1級最粗，8級最細。

2、晶粒度分類①起始晶粒度；②實際晶粒度；③本質晶粒度。（三）奧氏體晶粒度的影響因素⑴加熱溫度和保溫時間:

加熱溫度高、保溫時間長,晶粒粗大。⑵加熱速度:加熱速度越快,過熱度越大,形核率越高,晶粒越細。

⑶合金元素：若鋼中加入適量能形成難熔中間相的合金元素，如Ti、Zr、V、Al、Nb等，能強烈阻礙奧氏體晶粒長大，達到細化晶粒的目的。析出顆粒對黃銅晶界的釘扎Nb/%奧氏體晶粒尺寸/μmNb、Ti對奧氏體晶粒的影響二、鋼在冷卻時的組織轉變（一）鋼的冷卻方式（二）過冷奧氏體等溫轉變圖

1、“C曲線”的建立（TTT曲線）5506502s10s5s2s5s10s30s40s時間溫度A1MSMfA過冷PBMA→MA→BA→P轉變開始線轉變終了線奧氏體2、影響C曲線的主要因素1）碳含量對碳鋼C曲線的影響亞共析鋼和過共析鋼的“C曲線”左移2）合金元素對C曲線的影響大多數合金元素使“C曲線”右移。

3、三種等溫轉變的組織和性能

1）珠光體類型組織與性能

（1）珠光體類轉變是過冷A在臨界溫度A1以下比較高的溫度范圍內進行的轉變。是典型的擴散型相變。

珠光體轉變過程（2）珠光體型組織：是由鐵素體和滲碳體兩相組成的機械混合物，通常呈片層狀。（3）分類：根據珠光體片間距的大小，可分為:珠光體、索氏體、屈氏體。珠光體索氏體托氏體珠光體×1000

屈氏體×1000珠光體、索氏體、屈氏體之間無本質區別，其形成溫度也無嚴格界線，只是其片層厚薄和間距不同。（4）機械性能綜合性能好，可制作性能要求不高的零件。主要取決于片層間距的大小：片層間距愈小，其強度、硬度愈高，同時塑性、韌性也有所改善。

珠光體<<索氏體屈氏體2)馬氏體類型組織與性能

(1)馬氏體轉變：是指鋼從奧氏體狀態快速冷卻(即淬火)而發生的無擴散型相變。是強化鋼的重要途徑之一。(2)馬氏體：是碳溶于α-Fe中的過飽和間隙式固溶體，記為M。

馬氏體具有體心正方晶格（a=b≠c）軸比c/a稱馬氏體的正方度。C%越高，正方度越大，正方畸變越嚴重。當＜0.25%C時，c/a=1，此時馬氏體為體心立方晶格。(3)馬氏體轉變特點a、無擴散性:通過切變方式完成，轉變速度極快。馬氏體轉變切變示意圖馬氏體轉變產生的表面浮凸b、降溫轉變:

MfMsM(50%)M(90%)c、轉變不完全：室溫時仍有部分未轉變的奧氏體存在，稱之為殘余奧氏體，記為Ar。’原因：多數鋼的Mf在室溫以下。消除方法：冷處理。（4）馬氏體的形態主要取決于其含碳量C%小于0.2%時，組織幾乎全部是板條馬氏體。C%大于1.0%C時幾乎全部是針狀馬氏體。C%在0.2~1.0%之間為板條與針狀的混合組織。馬氏體形態與含碳量的關系0.45%C0.2%C1..2%C（4）馬氏體的組織形態

a.低碳鋼：板條馬氏體（位錯馬氏體、低碳馬氏體）。光鏡下電鏡下b.高碳鋼：片狀馬氏體（孿晶馬氏體、高碳馬氏體）。

電鏡下光鏡下（5）馬氏體的性能特點

a.顯著特點：

是具有高硬度和高強度。

b.塑性和韌性:

主要取決于馬氏體的亞結構。片狀馬氏體：脆性較大。

原因是含碳量高、晶格畸變大，存在許多顯微裂紋。板條馬氏體：

有相當有一定的塑、韌性。（6）馬氏體的強化機制固溶強化

相變強化

造成晶格缺陷密度很高的亞結構。時效強化碳和其它合金元素的原子會向位錯線等缺陷處擴散偏聚。晶界強化

3）貝氏體類型組織與性能貝氏體（B）=過飽和F+Fe3C

a、貝氏體的組織形態：

上貝氏體上貝氏體轉變過程下貝氏體下貝氏體轉變b、貝氏體的力學性能：上貝氏體：

強度和韌性較低。下貝氏體：

不但強度高，而且韌性也好。

c、應用上貝氏體：

無應用價值，工藝上應避免。下貝氏體：

綜合性能好；在航空航天等領域得到應用；通過等溫淬火工藝獲得。過冷奧氏體轉變產物（共析鋼）

轉變類型轉變產物形成溫度，℃轉變機制顯微組織特征HRC獲得工藝珠光體PA1~650擴散型粗片狀，F、Fe3C相間分布5-20退火S650~600細片狀，F、Fe3C相間分布20-30正火T600~550極細片狀，F、Fe3C相間分布30-40等溫處理貝氏體B上550~350半擴散型羽毛狀，短棒狀Fe3C分布于過飽和F條之間40-50等溫處理B下350~MS竹葉狀，細片狀Fe3C分布于過飽和F針上50-60等溫淬火馬氏體M針MS~Mf無擴散型針狀60-65淬火M*板條MS~Mf板條狀50淬火

4、“C曲線”的應用

1）臨界冷卻速度VK

VK臨界冷卻速度：獲得100%馬氏體的最低冷卻速度，即與C曲線鼻尖相切的冷卻速度Vk。C曲線越靠右邊，Vk越小，越容易獲得馬氏體，即鋼的淬透性越好。2）C曲線的應用將冷卻曲線與C曲線疊加，可確定鋼冷卻后的組織與性能，是制定熱處理工藝的理論依據。Vk’Vk時間/s溫度/℃共析鋼的CCT圖共析溫度連續冷卻轉變曲線完全退火正火等溫轉變曲線油淬水淬M+A’M+T+A’SP200100P均勻A細AP退火(爐冷)正火(空冷)S淬火(油冷)T+M+A’M+A’淬火(水冷)A1MSMf時間650℃600℃550℃用TTT曲線定性說明共析鋼連續冷卻時的組織轉變爐冷空冷油冷水冷PST+M+A’M+A’(三)碳鋼過冷奧氏體連續冷卻轉變圖（CCT曲線）VKVK

、1、CCT曲線在C曲線的右下方，且無貝氏體轉變，即半個C曲線。2、等溫冷卻時的臨界冷卻速度Vk比連續冷卻時的臨界冷卻速度V、k大1.5倍。因此，只要實際冷卻速度V大于Vk，就能保證大于V、k，在連續冷卻時就能獲得100%馬氏體，達到淬火目的。結束預備熱處理與最終熱處理預備熱處理——為隨后的加工（冷拔、沖壓、切削）或進一步熱處理作準備的熱處理。最終熱處理——賦予工件所要求的使用性能的熱處理。預備熱處理最終熱處理W18Cr4V鋼熱處理工藝曲線時間溫度/℃曲軸的加工工藝：下料→鍛造→正火→粗機加工→調質處理（淬火+高溫回火）→軸頸表面淬火

+低溫回火→精機加工→成品第三節鋼的退火與正火目的：“四化”1）“軟化”：調整硬度改善切削加工和壓力加工的性能；2）細化：改善組織和性能，淬火作準備；3）均勻化：消除成分和組織偏析，為淬火作準備；4）穩定化：消除殘余應力，減小變形，提高尺寸精度。一、退火1、定義將鋼加熱到適當的溫度，保溫一段時間后，緩慢地冷卻（爐冷、在煤木灰和石綿材料中的冷卻）到室溫，獲得平衡組織的工藝。真空退火爐2、目的及作用：退火可降低硬度；消除內應力；提高鋼材冷變形后的塑性；細化晶粒，改善組織。

3、分類

再結晶退火去應力退火4、退火的應用1）完全退火：晶粒細化，均勻組織，消除應力，降低硬度，以利于切削加工。主要用于亞共析鋼的鑄件、鍛件、熱軋件，有時也用于焊件。2、球化退火：使鋼中碳化物呈球狀化，以降低硬度，改善切削加工性能，并為以后的淬火做好組織準備。

主要用于過共析鋼的刃具、滾動軸承和冷作模具等。球狀珠光體3、擴散退火：成分均勻化。4、再結晶退火：消除加工硬化。5、應力退火：消除殘余內應力，避免工件在使用或隨后的加工過程中產生變形或開裂。主要用于鑄件、鍛件、焊接件、熱軋件、冷拉件等。二、正火

1、定義是將鋼件加熱到Ac3或Accm以上，保溫一定時間后，在空氣中冷卻得到細片狀珠光體組織的熱處理工藝。

正火溫度2、正火目的：與退火基本相同。3、正火后的組織：

<0.6%C時，組織為F+S；

0.6%C時，組織為S

。3、正火的特點：其冷卻速度較退火快些，所得到的組織較細，機械性能要好；在爐外冷卻，不占用加熱設備，生產周期比退火短，生產效率高，能量消耗少，工藝簡單。

4、應用（1）對于亞共析鋼：主要是細化晶粒，均勻組織，提高機械性能；對力學性能要求不高的普通結構零件，可作為最終熱處理。改善中、低碳鋼的切削性能；

鋼的熱處理與加工硬度（陰影部分為適合切削加工的硬度范圍）（2）過共析鋼：球化退火前作一次正火，可消除網狀二次滲碳體，保證二次滲碳體全部球粒化；為淬火作組織準備。（3）用于鑄鋼件：可以細化鑄態組織，改善切削加工性能。（4）用于大型鍛件：可作為最后熱處理，從而避免淬火時較大的開裂傾向。

（5）用于球墨鑄鐵：提高硬度、強度、耐磨性。用于制造汽車、拖拉機、柴油機的曲軸、連桿等重要零件。第四節鋼的淬火

一、淬火是將鋼件加熱到Ac1或Ac3以上，保溫一定時間后，快速冷卻（通常大于臨界冷卻速度Vk），以得到馬氏體（或下貝氏體）組織的熱處理工藝。淬火是應用最廣的熱處理工藝之一。淬火目的是為獲得馬氏體組織，提高鋼的性能。高強螺栓柴油機連桿齒輪二、淬火工藝1、淬火加熱溫度原則：獲得細小奧氏體。亞共析鋼：Ac3+30~50℃；對共析鋼和過共析鋼：

Ac1+30~50℃。鋼的淬火溫度范圍亞共析鋼淬火組織：0.5%C時為M；0.5%C時為M+A’。65MnV鋼(0.65%C)淬火組織45鋼(含0.45%C)正常淬火組織共析鋼淬火組織：M+A’過共析鋼淬火組織:

M+Fe3C顆粒+A’預備組織為P球T12鋼（含1.2%C）正常淬火組織2、保溫時間t

電爐加熱1-1.5min/mm；鹽爐加熱45s/mm。

3、淬火冷卻介質理想淬火曲線示意圖MsMf水快用于碳鋼，熔鹽的能力在水和油之間,用于分級淬火和等溫淬火。油慢用于合金鋼。4、淬火方法：1-單液淬火；2-雙液淬火；3-分級淬火；4-等溫淬火。二、鋼的淬透性和淬硬性1、淬透性（J）1）定義：在規定條件下，獲得馬氏體的能力。實際冷卻速度、臨界冷卻速度與馬氏體區的關系1、淬透性的測定常用末端淬火法d2、淬透性的表示方法⑴用淬透性曲線表示用淬硬層深度d（半馬氏體區深度）與硬度表示，J(HRC/d)。

例、45鋼：J(42/3.3)40Cr：J(46/9.4)

⑵用臨界淬透直徑D0表示用中心被淬成半馬氏體的最大直徑，用D0表示。45鋼：D0水=16mm，D0油=8mm；40Cr：D0油=20mm。3）主要影響因素：合金元素↑→使C曲線右移→Vk降低→

淬透性越好。2、淬硬性定義：鋼在規定條件下進行淬火時能達到的最高硬度的能力。主要影響因素：含碳量。3、鋼的淬火變形與開裂（1）造成的原因：熱應力；組織應力。（2）減小變形的措施：選淬透性好的鋼；鍛造和球化退火改善碳化物分布；結構設計合理：總原則：厚薄均勻和對稱，避免應力集中。①避免尖角和截面突變。②結構要對稱，必要時可增加工藝孔。③孔的位置距邊與尖角的距離要適當，并應避免盲孔。④必要時可將整體件改成組裝件。⑤采用封閉結構和加筋，熱處理后切開或去掉。⑥為了減少零件的變形，熱處理時可以上夾具。第五節

回火1）定義：是將淬火后的鋼加熱到Ac1以下某一溫度，保溫后冷卻下來的一種熱處理工藝。

螺桿表面的淬火裂紋2）回火目的：

(1)是減小或消除淬火應力，穩定組織;（2）提高鋼的塑性和韌性;（3）使鋼的強度、硬度和塑性、韌性得到適當配合，以滿足不同工件的性能要求。（4）高合金鋼常用回火改善切削性能。

3）回火時組織的變化4）回火時性能的變化不同含碳量淬火鋼回火時硬度的變化200℃以下，由于馬氏體中碳化物的彌散析出，鋼的硬度并不下降，高碳鋼硬度甚至略有提高。200-300℃，由于高碳鋼中A’轉變為M回,硬度再次升高。大于300℃,由于Fe3C粗化，馬氏體轉變為鐵素體,硬度直線下降。5）回火的分類和應用

按溫度范圍，回火可分為：低溫回火中溫回火高溫回火

⑴低溫回火

(150-250℃)

主要組織：回火馬氏體

M回=ε（Fe2.4C）+F過飽和性能：降低殘余應力和脆性；保持高強度、硬度和耐磨性。

應用：工具、滾動軸承、滲碳工件、表面淬火工件等。

⑵中溫回火(350-500℃)組織：回火屈氏體T回。性能：內應力基本消除；具有極高的彈性極限和良好的韌性。應用：主要用于各種彈簧零件及熱鍛模具的處理。⑶高溫回火(500-650℃)調質處理：淬火+高溫回火組織：回火索氏體S回性能：具有較高綜合機械性能。應用：重要零件，如軸類、連桿、高強螺栓。

三、鋼的表面熱處理

1、分類

1）表面淬火：感應加熱、火焰加熱、激光加熱、電子束加熱等。

火焰加熱感應加熱2）化學熱處理：滲碳、滲氮和碳氮共滲等。2、表面淬火1）工藝

軸的感應加熱表面淬火通過快速加熱方法，使鋼件表面達到臨界溫度（Ac1或Ac3）以上，不等熱量傳到工件內層就迅速予以冷卻，只使表面被淬硬為馬氏體，而內層仍為塑韌性良好組織的工藝。

2）方法：

感應加熱、火焰加熱、激光加熱、電子束加熱等。感應加熱分為：①高頻感應加熱頻率為250-300KHz；淬硬層深度0.5-2mm。傳動軸連續淬火感應器感應加熱表面淬火齒輪的截面圖②中頻感應加熱頻率為2500-8000Hz；淬硬層深度2-10mm。各種感應器中頻感應加熱表面淬火的機車凸輪軸③工頻感應加熱頻率為50Hz；淬硬層深度10-15mm。各種感應器感應穿透加熱火焰加熱:

利用乙炔火焰直接加熱工件表面的方法。成本低，但質量不易控制。火焰加熱表面淬火示意圖火焰加熱表面淬火激光熱處理:①

利用高能量密度的激光對工件表面進行加熱的方法。②效率高，質量好。激光表面熱處理3）用鋼中碳鋼和中碳合金鋼。例如：45、40Cr、35CrMo鑄鐵。機床導軌表面淬火齒輪4）熱處理工藝調質處理（或正火）+表面淬火+低溫回火

5）熱處理后組織表層：M回；心部：S回或F+S。回火索氏體索氏體6）性能表層：55HRC，耐磨性好；心部：25~35HRC，綜合性能很好；或10~20HRC，塑韌。感應加熱表面淬火感應淬火機床7）其它特點生產周期短，幾秒至幾分鐘表層深度：0.5~7mm；耐磨性較好；變形較小；抗疲勞性能好。

7）應用耐磨性要求較高、變形要求小、形狀簡單、尺寸不大的零件；如齒輪、軸、連桿等。

3、滲碳1）工藝在含碳介質中，將鋼加熱到900~950℃，保溫3~9小時，向低碳鋼制造的工件表面滲入碳原子，使工件表面達到高碳鋼的含碳量（1.0%）。

滲碳目的提高工件表面硬度、耐磨性及疲勞強度，同時保持心部良好的韌性。經滲碳的機車從動齒輪2）方法：固體、氣體滲碳。

真空滲碳爐低碳鋼滲碳緩冷后的組織滲碳緩冷后組織：

表層為P+網狀Fe3CⅡ;心部為F+P;

中間為過渡區。3）用鋼低碳鋼和低碳合金鋼。例：20、20Cr、20CrMnTi4）熱處理工藝滲碳+淬火+低溫回火

5）熱處理后組織碳鋼：表層：M回+碳化物；心部：F+P；合金鋼：表層：M回+合金碳化物：心部：低碳M回；6）性能碳鋼表層：58~62HRC，耐磨性高；心部：10~20HRC，塑韌。合金鋼表層60~67HRC，耐磨性很高；心部：50HRC，強韌。6）其它特點生產周期較長，3~9小時；表層深度：0.5~2mm；耐磨性很好；變形較大；抗疲勞性能一般。

7）應用耐磨性要求很高、形狀復雜的零件，如齒輪、軸等。

4、氮化1）工藝在含氮介質中，將鋼加熱到500℃左右，保溫幾十小時，向鋼的表面層滲入氮原子，在其表面形成氮化物層的過程。井式氣體氮化爐2）方法：最常用的是氣體氮化法。3）用鋼：38CrMoAl。4）熱處理：調質處理+滲氮。5）組織：表層：氮化物，如AlN、CrN、MoN、TiN、VN等；心部：S回。6）性能：表層：65~70HRC，很硬。心部：

25~35HRC，綜合性能很好。

7）特點：時間很長，30~50小時。厚度：0.2~0.5mm。耐磨性最好。抗疲勞性能最好。耐蝕性能最好。變形最小。時間最長。

8）應用：高速傳動的精密齒輪、精密機床的主軸，如鏜床和磨床。

5、離子氮化

6、滲鋁

7、其它表面處理方法

1）熱噴涂；2）氣相沉積；

3）離子注入；4）化學鍍。四、熱處理新技術1、可控氣氛熱處理；2、真空熱處理；3、形變熱處理；4、熱處理生產線。第十節表面處理新技術近年來，金屬材料表面處理新技術得到了迅速發展，開發出許多新的工藝方法，這里只介紹主要的幾種。

全方位離子注入與沉積設備一、熱噴涂技術

將熱噴涂材料加熱至熔化或半熔化狀態，用高壓氣流使其霧化并噴射于工件表面形成涂層的工藝稱為熱噴涂。利用熱噴涂技術可改善材料的耐磨性、耐蝕性、耐熱性及絕緣性等。廣泛用于包括航空航天、原子能、電子等尖端技術在內的幾乎所有領域。等離子熱噴涂1、涂層的結構熱噴涂層是由無數變形粒子相互交錯呈波浪式堆疊在一起的層狀結構，粒子之間存在著孔隙和氧化物夾雜缺陷。噴涂層與基體之間以及噴涂層中顆粒之間主要熱噴涂層組織是通過鑲嵌、咬合、填塞等機械形式連接的，其次是微區冶金結合及化學鍵結合。2、熱噴涂方法常用的熱噴涂方法有：①火焰噴涂:多用氧-乙炔火焰作為熱源。②電弧噴涂:絲狀噴涂材料作為自耗電極、電弧作為熱源的噴涂方法③等離子噴涂:是一種利用等離子弧作為熱源進行噴涂的方法。火焰熱噴涂電弧熱噴涂等離子噴涂3、熱噴涂的特點及應用⑴工藝靈活：熱噴涂的對象小到Φ10mm的內孔,大到鐵塔、橋梁,可整體噴涂，也可局部噴涂。⑵基體及噴涂材料廣泛：基體可以是金屬和非金屬，涂層材料可以是金屬、合金及塑料、陶瓷等。⑶涂層可控:從幾十m到幾mm⑷生產效率高⑸工件變形小：基體材料溫度不超過250℃(冷工藝)渦輪葉片的熱障涂層(熱噴涂層)由于涂層材料的種類很多，所獲得的涂層性能差異很大，可應用于各種材料的表面保護、強化及修復并滿足特殊功能的需要。熱噴涂二、氣相沉積技術

氣相沉積技術是指將含有沉積元素的氣相物質，通過物理或化學的方法沉積在材料表面形成薄膜的一種新型鍍膜技術。根據沉積過程的原理不同，氣相沉積技術可分為物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)兩大類。物理氣相沉積TiAl靶1、物理氣相沉積（PVD）物理氣相沉積是指在真空條件下，用物理的方法，使材料汽化成原子、分子或電離成離子，并通過氣相過程，在材料表面沉積一層薄膜的技術。物理沉積技術主要包括真空蒸鍍、濺射鍍、離子鍍三種基本方法。磁控濺射鍍膜設備真空蒸鍍是蒸發成膜材料使其汽化或升華沉積到工件表面形成薄膜的方法。真空蒸鍍TiN活塞環真空蒸鍍Al膜的塑料制品濺射鍍是在真空下通過輝光放電來電離氬氣，氬離子在電場作用下加速轟擊陰極，濺射下來的粒子沉積到工件表面成膜的方法。濺射鍍示意圖磁控濺射鍍膜機磁控濺射鍍Al的塑料制品離子鍍是在真空下利用氣體放電技術，將蒸發的原子部分電離成離子，與同時產生的大量高能中性粒子一起沉積到工件表面成膜的方法。多弧離子鍍膜機物理氣相沉積具有適用的基體材料和膜層材料廣泛；工藝簡單、省材料、無污染；獲得的膜層膜基附著力強、膜層厚度均勻、致密、針孔少等優點。廣泛用于機械、航空航天、電子、光學和輕工業等領域制備耐磨、耐蝕、耐熱、導電、絕緣、光學、磁性、壓電、滑潤、超導等薄膜。離子鍍產品2、化學氣相沉積(CVD)化學氣相沉積是指在一定溫度下，混合氣體與基體CVD設備表面相互作用而在基體表面形成金屬或化合物薄膜的方法。例如，氣態的TiCl4與N2和H2在受熱鋼的表面反應生成TiN，并沉積在鋼的表面形成耐磨抗蝕的沉積層。化學氣相沉積由于化學氣相沉積膜層具有良好的耐磨性、耐蝕性、耐熱性及電學、光學等特殊性能，已被廣泛用于機械制造、航空航天、交通運輸、煤化工等工業領域。經CVD處理的模具經CVD處理的活塞環三、三束表面改性技術

三束表面改性技