2多晶鑄錠鑄錠車間SOP培訓教材部門流程介紹坩堝噴涂坩堝裝料鑄錠投料鑄錠出錠鑄錠拆錠DSS系統坩堝作業流程1、坩堝噴涂1.1磨料1）用電子秤準確稱取HGE噴涂氮化硅配比250g(A)+200g(B)=450g,氮化硅（450g)+純水（1600ml—1800ml）+硅溶膠（100--160g)單一氮化硅粉配比：450g+1700ml（純水）+硅溶膠(100-160g)備注：氮化硅粉用量，隨著工藝時期及季節時期，會有20-30g波動。氮化硅放于容器中。2）用尼龍網紗布網住小木桶的口。3）把氮化硅輕輕倒入尼龍網紗上，用塑料勺子慢慢研磨使氮化硅能通過砂網砂眼，達到工藝要求的顆粒大小而落入小桶中，直至磨完為止。1.2取出已檢查過未噴坩堝，視覺檢查坩堝表面有無裂紋，無缺角，記下坩堝序列號，將坩堝放置在坩堝噴涂站中，用90PSI的壓縮空氣吹掃坩堝表面，用百潔布沾純水來檫試坩堝表面，然后打開加熱裝置。1.3當坩堝溫度達到70℃（用測溫槍測量溫度）時，用量筒取1升純水,加入研磨好的氮化硅，攪拌均勻，備用。稱氮化硅粉磨粉坩堝作業流程1.2開始噴涂2.1當坩堝底部、測面溫度達到65℃-75℃（用測溫槍測量溫度）時，才可開始噴涂，將開始時間記錄在《坩堝噴涂記錄單》中。2.2定位噴槍上的螺旋及噴嘴1）順時針方向擰緊上螺旋，之后重新倒回螺旋1/4圈。2）順時針方向擰緊下螺旋，之后重新倒回螺旋3/2圈。3）將噴嘴設為水平橫方向。4）噴射壓力為20~35PSI。壓力計坩堝作業流程2.3開始噴涂時，先試噴在一張紙板上，以保證噴出的液體在紙板上均勻分布。2.4噴槍離所需噴涂表面垂直距離30-40cm，先噴底部，噴槍不間斷的來回噴涂7~10次，其它表面來回噴涂3~5次，直至噴完所有氮化硅混合液，手拿噴槍噴射速度勻速，時間平均分配，每點停留時間不超過一秒，否則混合液會凝聚在一起，影響噴涂質量。2.5每一次噴涂前，須用測溫槍測量坩堝底部、測面溫度，所有溫度必須控制在70℃-75℃內，溫度可以通過開關加熱器開關予以調節。操作員須記錄每次正式噴涂前的最高溫度和最低溫度，全部噴完后，再將整個噴涂過程中的最高溫度、最低溫度及噴涂結束時間記錄在《坩堝噴涂記錄單》中。攪拌噴涂兩人協作坩堝作業流程2.6用手電筒照射檢查，看噴涂質量，有無裂紋、凸起、脫落，如果有用純水洗掉，重新噴涂。2.7每次完成噴涂，噴涂器具清洗干凈，至少清洗二次以上。對這些水管重點清洗檢查噴涂是否完好坩堝作業流程4、坩堝裝料4.1操作員戴好手套，在推車上放一石墨板，擺放整齊（石墨平面與車板平行）。4.2將坩堝輕放在干凈的石墨板正中（即坩堝四個外表面到石墨板邊垂直距離為4.5±0.2cm），校正好石墨板與小車各面位置（即推車兩側邊到石墨板距離為14~17cm，正對推車扶手一面的邊緣距石墨板為6.5~7cm）。4.3擺放好用吸塵器吸去石墨板上、推車上的灰塵。4.4把坩堝推入裝料室中。4.5操作員在裝料前須確保帶好口罩、帽子、一次性膠皮手套。4.5cm±2標準著裝坩堝作業流程4.6開始裝料：4.6.1先把粒子狀、粉末狀的硅料輕輕鋪好底部，不要扔、投，避免刮破噴涂層；再放入較大塊和較小塊(如有可能)的混合料以清除空氣和氣泡。4.6.2大塊料擺放在底層，不要平鋪疊在一起，避免橫向膨脹，也不要直接貼在坩堝邊部，與坩堝內壁之間空出5cm±2空隙。4.6.3當裝料裝至整個坩堝高度1/2時，加入摻雜物質，均勻擺放在硅料表面。4.6.4繼續裝料直到距坩堝頂部1-2英寸處將硅料擺在中間位置以防掉落，直至裝完，應特別注意上部避免裝粉料或細小塊料，盡量放塊狀料。坩堝作業流程4.6.5用吸塵器吸去推車上、石墨板上的殘留物質在坩堝四邊固定好石墨檔板四邊石墨檔緊板的邊必須與石墨底板邊相吻合，且石墨檔板與底板平面相互垂直，對邊兩檔板與坩堝距離保持一致，用手旋上螺絲，不要太緊，蓋上薄膜，填寫并附上《裝料坩堝追蹤號單》。4.6.6送往DSS鑄錠區。注意：裝料過程注意防塵，不接觸金屬，輕拿輕放，不要碰壞噴涂層，非工作人員勿進入裝料室吸塵已裝好料裝護護板板三人人協協作作裝裝上上石石墨墨板板和和螺螺栓栓。。將石石墨墨支支撐撐板板放放在在坩坩堝堝周周圍圍，，將將螺螺栓栓對對準準安安裝裝孔孔螺螺入入且且固固定定。。螺螺栓栓不不能能擰擰得得太太緊緊，，只只能能用用手手指指擰擰緊緊。。繼繼續續固固定定支支撐撐直直到到完完全全圍圍住住坩坩堝堝。。三人協作作進爐裝料料先把裝有有硅料的的小車推推入“U”形叉叉車大約約中間位位置，再再提升““U”叉叉至石墨墨底板4～5cm處，，提升速速度小于于5mm/s，，再調整整小車的的位置，，使硅料料處于““U”叉叉的正中中央，左左右偏差差不超過過5mm,提升升“U””叉，使使叉車支支承起硅硅料至叉叉車的上上限位置置。送入爐體體把載有硅硅料的叉叉車開至至DSS爐正正前面，，使叉車車底部兩兩叉腳與與DSS爐底部部支架導導向定位位夾保持持基本對正正。把硅料送送入爐體體內（叉叉車速度度不超過過2cm/s）），當叉叉車底部部限位凸凸面抵觸觸至DSS爐下下部導向向定位的限位位平面，，卸下硅硅料至DSS-Block上上，叉車車卸料速速度不超超過5mm/s。鑄錠裝料料進爐裝料料定位前準準備兩把把刻度為為毫米、、量程大大于30mm鋼鋼尺，以以及三名名操作人人員，一一人操作作叉車，，另兩人用用刻度度尺在在下爐爐體左左右測測試定定位。。通過連連續重重復地地調整整叉車車橫向向縱向向位置置，間間接地地調整整了硅硅料的的橫向向縱向向位置置。連連續測測量四四周石墨支支承板板相對對DSS-Block邊邊緣的的凸邊邊距離離，當當四周周凸邊邊距離離都控控制在在10.1±1mm時，，硅料料定位位完畢畢，拖拖出叉叉車。。鑄錠裝裝料尺寸10.1mm尺寸10.1mm擦拭酒酒精和和真空空油先用一一塊干干凈的的工業業棉紙紙吸入入些酒酒精或或異兩兩醇，，在上上下爐爐體接接觸面面擦洗洗，擦擦洗過過程中中一次次抹過過去，，無需需反復復來回回地在在表面面上擦擦。擦洗后后，在在下爐爐體““O””形圈圈上稀稀薄地地抹上上一層層真空空油脂脂，在在抹的的過程程中間間隔地地涂上上米粒粒大小小的油油脂在在“O”形形圈上上，間間距為為10～15cm，，再用用干凈凈手指指頭輕輕輕滑滑抹涂涂勻。。鑄錠裝裝料擦拭酒酒精鑄錠出出爐打開腔腔室1按下下手動動按鈕鈕，打打開手手動操操作屏屏幕，，如果果爐腔腔壓力力沒有有超過過980mbar,按按一次次Backfill（重重新壓壓入氣氣體））按鈕鈕使壓壓力上上升到到980mba以以上（（當壓壓力上上980mba以上上時，，自動動停止止加壓壓動作作）。。按下腔腔室提提升按按鈕（（壓力力達到到950mba以上上時才才能看看見這這個按鈕））后出出現一一個警警告屏屏幕。。如下下：松開4個將將上面面的腔腔室和和下面面的腔腔室連連成一一個的的夾子子后點點擊警警告屏屏幕上上的YES。2提升升下面面腔室室的控控制屏屏幕下下面腔腔室的的方向向控制制箭頭頭必須須向下下，否否則單單擊此此箭頭頭使箭箭頭向向上。。檢查查下面面腔室室的最最大提提升速速度是是否小小于或或等于于35，遞遞減速速度是是否為為5，，啟動動速度度是否否為0，遞遞增速速度是是否為為3。。警告面腔室室的夾夾子了了嗎？？是沒沒有警告鑄錠出出爐出錠打開下下爐體體前應應該戴戴上高高溫手手套，，然后后操動動叉車車至DSS爐正正前方方，提提升““U””形支支架，，使其高高出已已打開開的下下爐體體的表表面5～8cm,緩緩慢地地把叉叉車開開進爐爐體內內，當當叉車車“U”形形支架架處于于下爐體體之上上，調調節““U”形形支架架的支支承面面至石石墨板板底面面以下下1～～2cm處處，再再次開開入叉叉車，，至爐體內內部極極限位位置，，操作作人員員應檢檢查““U””形支支架提提升時時是否否有可可能使使臺階階面與與石墨墨底板板發生生撞擊，，如果果有可可能發發生碰碰撞應應重新新調整整叉車車，直直到檢檢查發發現石石墨底底部全全部在在“U”形形支架架支承承面范圍圍以內內，提提升““U””形支支架托托起硅硅錠，，駛出出叉車車，將將準備備好的的小車車放入入“U”形形支架架大約約正中下下方位位置。。控制制下降降速度度不大大于1cm/s，緩緩慢卸卸下硅硅錠，，開離離叉車車。兩人協協作帶好高高溫手套套石墨條條放置置于DDS塊塊下鑄錠拆拆錠從爐體體取出出的硅硅錠由由于溫溫度過過高，，必須須在空空氣中中等待待2個小小時以以上散散熱后后，戴戴上絕絕熱手手套，，依次把把螺帽帽和石石墨板板拆開開，但但不需需要拆拆螺栓栓，當當還剩剩相鄰鄰兩塊塊石墨墨板時時需兩兩面名名操作作人員員相互配合合拆出出石墨墨板，，然后后再把把硅錠錠四周周坩堝堝碎塊塊清除除。鑄錠出出爐吊錠吊錠應應三人人協作作吊錠錠。一一人負負責按按吊錠錠開關關，一一人負負責復復稱，，另一一人拉拉錠。。注意：吊錠錠時，應輕輕拿輕放，，安全第一一.硅錠吊好之之后，擺放放整齊，并并把復稱重重量統計好好。鑄錠裝料檢查把四根依次次放好，檢檢查溢流棉棉和溢流線線是否有硅硅料和雜物物，檢查螺螺母，往回回擰松半圈圈。關閉下爐體體。相應在在“ChamberLift”界面面窗口更換換下爐體運運動方向的的箭頭使其其向上，其其它。當下下爐體到達達上限位置置，扣上四四個還將夾夾子，使下下爐體鎖扣扣在上爐體體上面而后后抽真空。。檢查螺母打開爐子ChamberLift檢查夾子裝好石墨條條安全篇1.對坩堝操作作時必需時時時配帶橡橡膠手套，，以降低操操作過程中中對坩堝的的造成的污污染；2.噴涂過程中中必需開啟啟抽風風機機排風，必必需配帶專專用高級防防塵口罩。。氮化硅超超細粉對人人體危害很很大。3：灼傷危險，，某些表面面溫度很高高。在高溫溫狀態時，，請不要觸觸摸加熱器器背部或周周圍表面。4.噴涂時，必必需確保排排風罩暢通通。5.在噴涂操作作中必需始始終配帶合合適的防護護裝置6.操作坩堝時時需配帶橡橡膠手套，，以降低操操作過程中中對坩堝造造成污染。。7.當心夾手！！當機器在在運轉中時時請保持手手遠離機器器運動部件件。噴涂裝料安安全注意事事項風機一定要要打開！噴涂前風機機要開，以及時吸收收SIN粉塵，噴涂時，必必需確保排排風罩暢通通。噴涂完后及及時清理風風口出灰塵塵。戴防塵面具具、一次性性手套、無無塵服加熱板，高高溫！噴涂涂時千萬不不能接觸到到！抬堝時，兩兩人協作抬抬起，如一一人未用到到力，易把把堝打碎或或扭傷鑄錠車間安安全注意事事項1.操作硅料的的手套必需需是潔凈無無污的新手手套。千萬萬不能用手手直接拿硅硅料，但也也不能用觸觸摸過它物物的手套來來搬拿硅料料，否則觸觸及過它物物的手套會會二次污染染硅料，引引入新的雜雜質。2.裝料人員必必需套鞋套套、穿無塵塵服、配帶帶高級防塵塵專用口罩罩、戴無塵塵手套。3.不能在硅料料中轉箱內內把大料砸砸成小料，，因為中轉轉箱會嚴重重污染硅料料。4.裝完料后要要及時清理理裝料車間間，保持車車間的無塵塵化。緊急停爐開開關，禁止止觸摸剛出爐，注注意高溫戴好高溫手手套DSS爐系統統概貌操作及制程原原理經過Si3N4涂涂層處理的坩坩堝里裝滿多多晶硅，并放放置在一個大大的導熱石墨墨塊(定向凝固塊塊或DS-Block)上。密密閉長晶晶爐且抽成真真空，然后加加熱數小時以以完全熔解多多晶硅。石墨墨加熱器包圍圍在坩堝的四四個垂直面上上，一隔熱籠籠包圍住加熱熱器、DS-Block及坩堝。此此隔熱籠的垂垂直邊可以上上下移動，暴暴露出DS-Block，允許熱能能以輻射方式式散發至通冷冷卻水的下部部爐壁。DS-Block的溫度下下降會傳至坩坩堝底部，使使坩堝內的硅硅溶液有垂直直的溫度梯度度，此溫度梯梯度會使硅在在坩堝的底部部凝固，然后后硅晶從底部部向頂部生長長。當所有的的硅液都固化化之后，鑄錠錠需經過退火火并按設計好好的冷卻方式式進行冷卻，，以避免裂縫縫及消除應力力。DSS爐系統統概貌系統硬件系統是由雙層層且有冷卻水水通過的不銹銹鋼爐體、電電源供應系統統、真空泵系系統、控制柜柜及操作面板板所組成。爐爐體內包含石石墨熱場及隔隔熱元件，一一個梯子的平平臺包圍在爐爐體的周圍，，供操作者及及維修人員進進入。此平臺臺亦可放置變變壓器及將電電纜設施等水水管、線整齊齊地布置于平平臺的夾板下下。DSS爐系統統概貌爐體上爐體是一個個倒鐘狀的形形狀，由三個個支柱固定。。下爐體則是是通過三個重重型絲桿螺母母副（Jackscrews））安裝于上爐爐體。jackscrews之間是是由可彎曲的的驅動纜線同同時驅動，一一個大功率直直流馬達控制制這三個Jackscrews的上上下移動以上上升或下降下下爐體。使得得坩堝/硅料料裝填能裝入入熱場及取出出長成的硅錠錠。六個絕緣緣的銅電極從從爐體上方穿穿入爐體，并并提供大電流流的交流電至至加熱器。三三個可移動的的部件在上爐爐體頂部，同同樣是由可彎彎曲的驅動纜纜線連接至伺伺服馬達以控控制隔熱籠的的上下移動，，從而控制硅硅錠的生長。。三個隔熱籠籠支撐桿用焊焊接式不銹鋼鋼的軟密封套套密封，防止止可能的漏氣氣。兩個壓力力指示器讀取取從大氣壓力力至1x10-3mbar的壓力，，一個質流控控制器（MFC）及相關關的閥門控制制在成長的過過程中控制適適當的氬氣及及氦氣的輸入入。兩根冷卻卻水總管安裝裝在后支腳上上，冷卻水歧歧管分配水流流至爐體、電電極和真空泵泵，下爐體會會通過大量的的水以吸收在在成長過程中中散發出的強強烈的輻射熱熱。DSS爐系統統概貌熱場熱場是由四組組彎曲的石墨墨平板組成一一個四方型的的加熱器，每每一片角落下下部亦有連接接板作連接，，圍繞在坩堝堝的四周，籍籍此可用平板板式隔熱元件件包覆在它周周圍。隔離層層是在兩層的的不銹鋼籠內內，由三個支支撐桿控制。。隔離籠的石石墨板使用平平板狀，降低低部件花費且且容易更換。。這些隔熱板板互相交疊避避免流失熱輻輻射。在下爐爐區有一塊大大的用三支石石墨桿支撐的的石墨DS-Block，可提提供能調整的的控制和散熱熱的平面，使使晶成長過程程為可控制的的。另有兩片片的平板式隔隔熱層置于DS-Block之下，，在長晶過程程中隔熱籠通通過三根提升升棒上下移動動，露出DS-Block的邊緣和和底部讓熱散散出至水冷的的下爐區壁，，在熱場內形形成一個垂直直的溫度梯度度，強迫使熔熔液從底部開開始凝固至上上方。DSS爐系統統概貌真空泵系統真空泵系統由由Rootblower及Mechanicalbackingpump組成，讓爐爐內的壓力可可以迅速降至至0.05mbar。當當制程壓力需需維持在400～600mbar時時，由Mechanicalpump作用。。Ar氣是制制程中壓力的的一部分，進進入的量由質質流控制器(MFC)控控制，抽氣是是由連接真空空泵的比例調調節閥（V3）調整。空空氣壓力控制制閥（V1））用在關閉Ar氣進氣系系統及使爐體體與真空系統統分開。另設設一個獨立的的閥（V7））控制He氣氣在冷卻過程程中可以通入入。DSS爐系統統概貌電源供應系統統165kVA的電源經經由水冷的纜纜線提供加熱熱組件功率，，電源供應分分成兩個部份份，第一個是是位于夾層上上靠近水冷的的feedthroughs的降壓壓變壓器，變變壓器提供一一個每相為最最大壓力25VAC、3800Amps的輸出出。另一個電電源供應柜位位于夾層后方方，內含有控控制提供電源源至主變壓器器初級線圈的的SCR控制制器，此柜還還含有控制電電源的降壓變變壓器、加熱熱器接觸器、、真空泵接觸觸器、下爐體體驅動馬達、、各種電路斷斷路器和保險險絲。SCR控制器照著著powersetpoint的設定打開開及關閉一定定的時間(cycletime為為4秒)，例例如設定為30％，SCR控制器完完全打開30％的時間(1.2杪)及關閉70％的時間(2.8杪)。SCR控控制器的循環環時間為4秒秒，所以上例例中SCR的的工打開時間間為1.2秒秒，關閉時間間為2.8秒秒，然后重復復循環。這種種類型的控制制將大幅度提提高整個系統統的電源使用用的功率因素素和效率。DSS爐系統統概貌控制柜控制柜內有Input/Output模塊(I/O)、Optoprocesscontroller(LCM4)、powersupplies、insulationmotordrive及UPS。還有有必需的回路路斷路器及保保險絲以避免免過載。來自自此控制柜的的電纜連接到到電源控制柜柜和機器上的的儀器及傳感感器。DSS爐系統統概貌操作控制臺控制面面板位位于主主腳架架上并并包含含觸碰碰屏幕幕及計計算機機，三三個警警示燈燈及蜂蜂鳴器器安裝于于夾層層下方方，提提醒操操作者者存在在潛在在的問問題。。緊急急停止止鈕位位于面面板右右上方方，讓讓操作作者緊緊急關關閉所所有通通至機機臺輸輸出儀儀器的的電源源，這這會讓讓機臺臺處于于安全全的狀狀況。。(關閉閉所有有的氣氣閥、、泵及及電源源供應應)DSS爐系系統概概貌注意緊緊急停停止按按鈕并并不會會移去去所有有的電電源，，在控控制柜柜及電電源供供應器器內還還是含含有危危險的的電壓壓在。。操作窗窗口接下來來的部部分會會介紹紹操作作者在在控制制DSS時最最常用用到的的窗口口及功功能。。ALARMS、、OVERVIEW、MODES、RECIPE、、MANUAL(orREALVALUES)還還有PLOTDATA鍵鍵都會會顯示示在屏屏幕的的下方方。DSS爐系系統概概貌AlarmsButtonAlarmsScreen當有聲聲音的的警告告出現現而需需要操操作者者注意意時，，會彈彈出這這個警警告窗窗口。。有問問題的的項目目會呈呈現紅紅色，，若是是正常常狀況況下會會呈現現綠色色。在在任何何時間間若想想進入入此窗窗口亦亦可壓壓下Alarmsscreen鍵。。按下下SilenceAlarm鍵鍵以消消除警警告聲聲音，，此鍵鍵同時時也可可以清清除Alarm狀況況。當當按下下SilenceAlarm鍵鍵時，，若是是Alarm持持續存存在則則狀況況仍為為紅色色；否否則會會變成成綠色色。所所有的的Alarms都是是延遲遲的，，即是是紅色色的狀狀況不不會消消失直直到操操作者者按下下SilenceAlarm鍵鍵，即即使此此Alarm已已經解解除。。如果偵偵測到到CriticalAlarm（危危急警警告）），電電源關關閉的的倒數數計時時會激激活，，秒數數歸零零后PowerSupplyContactor會會關閉閉。所所謂的的CriticalAlarms是是指CriticalWaterFlows、、MaxTemp及MaxPressure。。有些報報警會會在當當前屏屏幕的的上方方跳出出一個個新的的窗口口，這這些跳跳出的的窗口口告訴訴操作作者警警告的的一些些額外外的信信息或或要求求操作作者協協助。。另外外，Detail按按鈕會會出現現在警警告按按鈕的的左邊邊，能能夠在在當細細節窗窗口被被關閉閉或隱隱藏時時重新新該窗窗口。。例如如：CONTROLTC1警警告出出現紅紅色，，因此此，TC1細節節按鈕鈕被激激活。。除了了壓力力警告告、氬氬氣流流量警警告、、泄漏漏檢查查、PLC電池池不足足、CDA供應應以外外，其其它所所有的的警告告都伴伴隨有有細節節按鈕鈕的出出現。。DSS爐爐系統概概貌Power/phaselossscreen主電源丟丟失及相相的損失失其回復復是自動動執行的的，會自自動地將將功率增增加到損損失時功功率值之之上一點點點，如如果損失失時是溫溫度控制制模式，，會自動動地轉換換成溫度度控制模模式。當當損失的的情況已已經回復復之后會會要求操操作者確確認程序序回到正正常狀況況下。電電源丟失失后若TC1溫溫度下降降超出設設定范圍圍外，而而電力還還未回復復時，依依照電力力丟失時時程序在在哪個模模式而決決定程序序會跳至至冷卻程程序或緊緊急冷卻卻步驟。。DSS爐爐系統概概貌另外還有有兩個警警告窗口口：當隔隔熱籠的的移動有有問題時時，會出出現OpenManualInsulation鈕；如如果按下下MeltorGrowthEndDisable鈕鈕則會出出現EndTriggerDisable鈕鈕，指示示操作者者必須決決定何時時這些““End”程程序結束束。接觸器失失效窗口口當發生一個個criticalalarm且時間間超過設定定值，加熱熱器電源連連接器會關關閉，右方方的窗口會會彈出。此此窗口可以以關閉且ContactorFailure鈕會出現現在模式窗窗口。關閉閉ContactorFailure窗口，，允許操作作者去檢查查跳閘的原原因。按下下ContactorFailure細節按按鈕ContactorFailure窗口口又會出現。DSS爐系統統概貌DSS爐系統統概貌連接器失效按按鈕操作者關閉連連接器失效窗窗口并查明連連接器關閉原原因。連接器器失效窗口可可按FailureDetail鈕打打開。DSS爐系統統概貌模式窗口這可使連接器器重新激活并并回復功率至至連接器關閉閉時之數值。。當造成錯誤誤的問題排解解后，打開加加熱器電源連連接器并在功功率欄輸入連連接器關閉時時的數值或是是高于5％，用來補補償溫度損失失。接下來進進入RealValues窗口去去監看程序以以回復到正常常狀況。如果果連接器關閉閉時處于溫度度控制模式，，則當溫度爬爬升至之前的的值后必須回回到溫度控制制模式。注意意，機器仍處處于暫停模式式除非按下回回復鈕。DSS爐系統統概貌OverviewButton總窗口的中央央顯示現在的的模式、步驟驟及剩多少時時間至下個步步驟。Gti方框顯示示機器的ID號和當前的的日期及時間間，按ID可可改變名稱或或爐子的標識識—這一特性性只有在非自自動運行模式式時有用，用用WindowsControlPanelfeature可可改變PC的的日期及時間間，然后按Change/SyncTime/Date鈕可使時時間及日期與與PC同步。。OverviewScreen總窗口也顯示示實時的功率率設定值、溫溫度、壓力、、氣體流量及及水流量。電電源供應的電電流及電壓也也會顯示出來來，但是這些些值因為電源源是持續的開開關供應而出出現不穩定的的值。測量出出最高功率的的值會顯示在在PeakkVA欄。。氣閥在開啟狀狀態是顯示綠綠色，關閉狀狀態則是紅色色。質流控制制、壓力控制制、隔熱區位位置及PID控制都有DetailScreen可顯示示詳細的測量量值及趨勢圖圖，按下Detail鈕鈕可進入此窗窗口。DSS爐系統統概貌DSS爐系統統概貌這些窗口顯示示實時測量的的過程序變化化值、設定值值、輸出值及及PID參數，，并附有短時時間的趨勢圖圖。DSS爐系系統概概貌DSS爐系系統概概貌ModeButtonModescreen顯示示自動動成長長的選選項。。正常常時采采用默默認選選項,當按按下鈕鈕即開開始自自動成成長。。Timeofday的的開始始是從從AutoMode開開始算算始的的,后后來的的過程程自動動執行行。鍵鍵入預預設的的日期期和時時間，，然后后按下下Timeofday旁旁邊的的綠色色按鈕鈕。機機臺會會預先先做抽抽真空空步驟驟，然然后等等待（（自動動成長長時））開始始計時時。DSS爐系系統概概貌儲存recipe及及讀取取recipe鈕是是讓操操作者者可以以從硬硬盤選選擇(讀取取)新新的recipe或或儲存存recipe到硬硬盤內內。讀讀取或或儲存存recipe操作作后，，當前前的recipe名名稱會會顯示示出來來。當自動動成長長開始始時，，數據據儲存存的訊訊號會會在屏屏幕上上方閃閃爍，，當前前的模模式、、步驟驟及此此步驟驟的殘殘余時時間亦亦會顯顯現出出來。。如果按按下暫暫停鈕鈕，在在左下下方會會出現現一些些新的的選項項。如如果需需要跳跳至新新的模模式或或是步步驟，，輸入入新的的時間間及模模式號號碼(在屏屏幕的的下方方有各各模式式及其其相對對應的的號碼碼)，，步驟驟號碼碼欄也也會出出現。。輸入入所期期望的的步驟驟號碼碼程序序，填填入新新的數數值，，程序序會從從現在在的步步驟往往前或或往后后跳至至所輸輸入的的步驟驟，采采用新新輸入入的時時間。。也可可藉此此直接接按下下AdvancetoNextStep鈕讓讓程序序跳至至下個個步驟驟。DSS爐系系統概概貌AdvancetoNextStepButton(閱讀讀自動動成長長章節節以獲獲得更更多有有關跳跳程序序的細細節)，當當按下下Resume鈕會會回復復到自自動成成長程程序。。當按下下Pause鈕鈕時，，Abortauto鈕會會出現現。如如果選選擇Abort會彈彈出另另一個個窗口口詢問問操作作者是是否確確定要要跳至至緊急急冷卻卻程序序DSS爐系系統概概貌是否真真要跳跳出如果操操作者者選擇擇OK，，程序序會進進入緊緊急冷冷卻，，執行行完Recipe中中余下下的程程序；；選擇擇Cancel會回回到模模式窗窗口。。如果果錯誤誤地跳跳轉到到緊急急冷卻卻，處處理的的快的的話或或是在在按下下RESUME鍵前前，跳跳回前前面的的自動動成長長步驟驟是有有可能能的。。DSS爐系系統概概貌這個窗窗口允允許操操作者者去修修正這這些項項目，，但是是在自自動模模式下下不能能修改改。這這些項項目與與Recipe的的值互互相搭搭配以以控制制在自自動過過程中中的各各部份份條件件。(翻閱閱AdvancedFunctions部分分可得得到較較完全全信息息)DSS爐爐系系統統概概貌貌PIDValuesScreen此窗窗口口顯顯示示溫溫度度、、氣氣體體流流入入及及氣氣體體流流出出的的PID控控制制回回路路的的數數值值，，PID調調節節的的數數值值可可在在屏屏幕幕上上修修改改。。修改改這這些些參參數數可可能能會會擾擾亂亂機機臺臺的的控控制制，，只只有有經經過過審審核核的的人人員員可可以以修修改改這這些些數數值值。。ManualButton此鈕鈕只只有有進進入入自自動動運運行行時時才才會會出出現現，，與與機機器器不不是是在在自自動動程程序序時時屏屏幕幕右右下下方方的的Manual鈕鈕作作用用一一樣樣。。按按下下此此鈕鈕會會出出現現另另一一個個窗窗口口詢詢問問操操作作是是否否真真的的要要手手動動進進行行，，且且必必須須輸輸入入密密碼碼才才能能打打開開手手動動窗窗口口。。DSS爐爐系系統統概概貌貌ManualScreen(需需要要密密碼碼進入入)打開開手手動動窗窗口口會會使使自自動動程程序序進進入入暫暫停停狀狀況況，，且且可可對對自自動動成成長長做做重重大大改改變變。。DSS爐爐系系統統概概貌貌只有有經經過過審審核核的的人人員員可可以以嘗嘗試試更更改改這這些些參參數數、、打打開開或或關關閉閉閥閥門門、、移移動動隔隔熱熱籠籠位位置置或或開開關關電電源源供供應應等等。。在在做做任任何何變變更更以以前前必必須須要要有有清清醒醒的的認認定定，，對對任任何何的的變變動動所所產產生生之之影影響響要要有有全全盤盤的的了了解解。。直到到當當前前的的步步驟驟跑跑完完，，機機器器將將不不會會有有自自動動的的行行為為對對人人為為的的變變動動做做補補救救。DSS爐爐系系統統概概貌貌PumpdownScreen抽真真空空的的項項目目檢檢查查窗窗口口與與抽抽真真空空鈕鈕在在自自動動過過程程中中的的抽抽真真空空步步驟驟會會出出現現DSS爐爐系系統統概概貌貌RecipeButtonRecipeScreen按下下在在任任何何屏屏幕幕下下方方的的Recipe鈕鈕，，可可顯顯示示出出四四頁頁Recipe中中的的第第一一頁頁。。在在Recipe窗窗口口的的右右上上方方有有按按鍵鍵可可前前后后翻翻頁頁。。Recipe能能夠夠在在模模式式窗窗口口中中讀讀取取及及儲儲存存，，但但是是只只可可在在這這窗窗口口中中用用列列表表中中模模式式和和步步驟驟代代碼碼創創建建或或修修改改Recipe。。這這些些步步驟驟會會按按照照指指令令執執行行并并自自動動跑跑完完設設定定的的時時間間。。在在AdvancedFunctions章章節節對對于于創創建建及及修修改改Recipe部部分分有有詳詳細細的的描描述述。。DSS爐爐系統概概貌ManualButtonManualScreen當機器不不是處于于自動模模式，屏屏幕下方方會顯示示手動窗窗口按鈕鈕。此按按鈕會顯顯示如上上方窗口口，允許許操作者者操縱閥閥門、打打開或關關閉電源源供應連連接器、、改變功功率及溫溫度設定定值、調調整壓力力值及隔隔熱區移移動的目目標位置置，在壓壓力大于于950mbar時也也可按ChamberLift鈕鈕控制下下爐體的的移動；；按ManualInsulation鈕則可可移動隔隔熱區上上下。按按下PressOncetoBackfill鈕鈕，可使使爐體也也可回復復到大氣氣壓力。。如果輸輸入正確確的密碼碼，按下下Maint鈕鈕維護窗窗口會出出現—見見維護手手冊。在在自動模模式下，，進入手手動窗口口時此按按鈕不可可見。如果機臺臺處于自自動模式式，窗口口下方不不會出現現Manual鈕，但但是會出出現在模模式窗口口中。在在進入手手動窗口口做任何何改變閥閥、連接接器參數數等之前前，必須須輸入密密碼。在在自動模模式下Manual鈕鈕的地方方會被窗窗口下方方叫RealValue鈕鈕取代，，此窗口口可設定定功率、、溫度、、壓力等等之極限限值。DSS爐爐系統概概貌RealValuesScreenDSS爐系統統概貌ManualInsulationScreen此窗口可按在在手動窗口上上方的ManualInsulation鈕鈕進入，可上上下移動隔熱熱籠以幫助上上、下料等。。按最上方一一欄的提示，，可輸入新的的移動目標及及移動速度再再按Run即即會開始移動動。隔熱籠會會以新的速度度移動到新的的位置后再停停止。當隔熱熱籠移動到距距離目標0.5cm時，，速度會自動動降至2cm/min.。中間欄的信息息顯示現在隔隔熱籠的位置置、隔熱籠速速度及移動限限制開關的狀狀態，紅色是是表示隔熱籠籠位于上或下下端；綠色表表示隔熱籠在在兩端之間的的某個位置。。PositionOffset是要修正在在隔熱籠的MotorDriveControl(MDC)之電電源關閉后儲儲存在計算機機的位置，低低點的Homingroutine會執行。。PositionCounts是顯示隔熱熱籠MDC的的總計算位置置，通常可以以忽略不理。。DSS爐系系統概貌查閱維修手手冊。當隔隔熱籠在關關閉（零位位）時，如如果COUNTS之值值超過30,000,000和OFFSET之之值超過±±5CM，隔隔熱籠的MDC能夠夠使COUNTS累累計重新置置零，迫使使隔熱籠的的位置偏移移接近零。。下方字段的的信息及按按鈕通常顯顯示MDC的狀態，，其它的按按鈕及操作作只有在Drive有問題的的時候才會會出現。通常剎車是是處于松開開狀態，除除非MDC有問題或或是電源關關閉才會鎖鎖緊。如果剎車激激活，則隔隔熱籠不能能移動。如果Drive有錯誤，，MotorFault會會從綠色變變為紅色，，Drive重置按按鈕會出現現，按下此此鈕會嘗試試重置此錯錯誤。如果果錯誤沒有有清除，找找出控制柜柜中隔熱籠籠MDC錯錯誤代碼并并與廠商（（PacificScientific）聯聯絡以獲得得更多信息息。通常試試著去關閉閉再開啟MDC的電電源可清除除錯誤。DSS爐系系統概貌ManualInsulationScreenWith““Homing””RoutineDSS爐爐系系統統概概貌貌DriveCommFault紀紀錄錄從從MotorDrive傳傳送送或或接接收收的的速速度度及及位位置置的的通通訊訊錯錯誤誤總總次次數數。。出出現現5-8次次錯錯誤誤記記錄錄問問題題不不大大，，但但如如果果錯錯誤誤記記錄錄迅迅速速增增加加，，特特別別連連續續錯錯誤誤記記錄錄上上升升超超過過50時時，，就就存存在在問問題題了了。。如如果果發發生生這這種種狀狀況況，，先先按按下下StopMotor鈕鈕，，檢檢查查通通訊訊崩崩潰潰的的原原因因。。當當馬馬達達停停止止時時DriveCommFault會會重重置置為為0。。如果隔隔熱籠籠達到到低點點限制制位置置，““HomingRoutine”會會激活活而且且RunHomeRoutine鈕及及ResetHomeTimer數值值會出出現且且時間間會開開始倒倒數。。這會會使隔隔熱籠籠以0.5cm/min.的的速度度向上上移動動且ResetHomeTimer會會跑60sec.。。當隔隔熱籠籠向上上跑離離限制制開關關后馬馬達會會停止止。程程序會會在此此位置置調整整補償償值強強制讓讓位置置歸零零，即即是所所有位位置移移動的的參考考零點點。如如果低低點限限制開開關還還是紅紅色，，可以以按RunHomeRoutine鈕鈕執行行Routine程程序。。如果有有速度度偏差差或DriveCommFault的的次數數大于于9，，隔熱熱籠移移動的的警示示按鈕鈕會變變紅而而且馬馬達會會停止止。按按此InsulationLiftAlarm鈕去去重置置錯誤誤。在在此窗窗口下下面也也會顯顯示一一些錯錯誤排排解信信息。。繪圖資料（（以圖表的的形式顯示示在屏幕的的右下角））。DSS爐系系統概貌PlotDataButton可按窗口右右下方的圖圖標標志進進入此窗口口PlotDataScreen（Heat）這個趨勢勢窗口顯顯示5個個小時的的8條實實時曲線線，可以以觀察功功率、3個熱電電偶溫度度、爐內內壓力、、隔熱區區位置、、硅溶化化pyrometer的值及及紅色警警示燈。。每個曲曲線都可可以在某某個特別別或干擾擾處放大大倍率或或出出現現異常情情況的分分析。HistoricalFunction也可觀觀察之前前5小時時所記錄錄的資料料，以分分析之前前過程。。記得在選擇其其它窗口前要要執行實時的的擷取資料。。PlotDataScreen(MeltEnd)下面的窗口顯顯示了典型的的溶化結束曲曲線。MeltPyrometer的位位置顯示在窗窗口中—綠色色表示MeltPyrometer正在觀察察硅溶化。DSS爐系統統概貌DSS爐系統統概貌MeltandGrowthEndTrendScreen下面的窗口可可得到第二個個趨勢圖。這里顯示了更更多的功率和和DS-Block溫度度細節，使確確定溶化結束束或角部晶生生長結束更容容易，等等。。這些曲線的的斜率和它們們當前的數值值也顯示出來來，可以和主主參數表的trigger值相比較較。為了幫助助確定結束點點，趨勢圖的的比例可擴大大或縮小。DSS爐系統統概貌PowerProfilesScreen通過PowerProfiles鈕出現一窗窗口。正常運運行時，模式式號碼、步驟驟號碼、功率率設定值和絕絕熱區的位置置每五分鐘在在表中存儲一一次。當熱電電偶失效時，，這些表創建建的功率設定定的和絕熱區區的位置數據據文件能夠用用來硅錠的生生長。功率對比曲線線繪出了當前前的模式、步步驟、功率設設定和絕熱籠籠的位置。它它同時顯示最最后一次保存存的功率及隔隔熱籠曲線和和已載入表中中的曲線的數數值。最后的的數值用與recipe的步驟和/或未改變的的時間同樣長長的且與當前前同步的最后后的模式和步步驟繪成曲線線。考慮到每每一次運行中中溶化和成長長結束時都幾幾會乎有所不不同，因此要要作適當的補補償。當前的的數據和最后后的數據重疊疊使得決定當當前的數據是是否為保存為為將來的“profile”變得相相對容易。操操作者在每次次運行后需作作此決定。趨趨勢圖讓歷史史數據顯示出出來，以決定定是否應該為為將來而保留留老的“profile”。DSS爐爐系系統統概概貌貌PowerProfilesMode/StepScreen按下下Mode/StepScreen鈕鈕彈彈出出此此窗窗口口。。這這個個窗窗口口顯顯示示了了過過去去常常保保存存當當前前和和上上次次數數據據的的一一系系列列表表格格的的細細節節。。在在上上一一次次的的表表中中有