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AbbreviationFullName中文說明HVACCUBCentralUtilityBuilding中央動力廠房GEXGeneralEXhaust普通及熱排氣SEXScrubberEXhaust酸排氣VEXVolatileorgaiccompoundEXhaust有機溶劑排yAEXAmmoniaEXhaust堿性排氣PCWPlantCoolingWater工藝冷卻水PVProcessVacuum工藝真空HVHouseVacuum真空吸塵CWCityWater自來水FMCSFailityMonitoringControSystem廠務監控系統MCCMotorControlCenter馬達控制中心VFDVariableFrequencyDevice變頻器CCTVCloseCircuitTelevsion閉路電視PAPublicAdresssystem廣播系統FAFireAlarmsystem火災報警系統UPWUltraPureWater超純水FWWFluorideWasteWater低濃度氫氟酸廢水IWWIndustryWasteWater工業廢水OWWOrganicWasteWater有機溶劑廢水DAHWDrainAmoniaHydrideWaste含氨廢水RCLRecyclewater制程回收循環水RCMReclaimwater制程回收再利用水HFWHighFluorideWastewater高濃度氫氟酸廢水BGWBackgridingWastewater品背研磨廢水SAWSulfuricAcidWastewater硫酸廢液

PAWPhosphoricAcidWastewater磷酸廢液SWStripperWastewater剝離液廢液TWThinnerWastewater清洗廢液PIXPixwastewaterPIX廢液SLOWOxideslurrywastewater介電質研磨廢水SLWPMetalslurrywastewater金屬研磨廢水SLWPPolyslurrywastewater多晶硅研磨廢水PN2ProcessN2制程用氮氣GN2GeneralN2一般用氮氣CDACompressorDryAir壓縮干燥空氣VMBValveManifoldBox閥箱空調系統AHUAirHandlingUnit空調箱MAUMake-upAirUnit外氣空調箱VAVVariableAirVolumebox口」艾風量風箱FFUFanFilterUnit風車過濾器HEPAHighEfficiencyParticulateFilter局效率過濾器ULPAUltraLowPenetrationFilter超局效率過濾器A/SAirShower空氣浴塵室CUSCentralUtilityBuilding中央動力廠房電力系統FMCSFailityMonitoringControlSystem廠務監控系統MCCMotorControlCenter馬達控制中心VFDVariableFrequencyDevice變頻器CCTVCloseCircuitTelevsion閉路電視SCADASupervisoryControlAndDataAcquisition監視控制和數據搜集系統MCCMotorControlCenter馬達控制中心VFDVariableFrequencyDevice變頻器水處理系統UPWUltraPureWater超純水ROReverseOsmosis逆滲透膜TOCTotalOrganicCarbon總有機碳MBMixedBed混床UFUltraFiltration超濾SCStrongCation強陽離子SAStrongAnion強陰離子WAWeakAnion弱陰離于DODissolvedOxygen溶解氧MDMembraneDegasify脫氣膜GFGravityFilter重力式過濾器.DIDeionize去離子水氣體/化學系統CQCContinuousQualityControl連續品質控制系

統VMBValveManifoldBox閥箱VMPValveManifoldPanel閥盤GMSGasMonitoringSystem氣體監測系統CDSChemicalDispenseSystem化學系統SDSSlurryDispenseSystem化學研磨系統環境安全衛生ESHEnvironmentSafetyHealth環境安全衛生SCBASelfContainedBrathingApparatus自給式空氣呼吸器HVACAHUAirHandlingUnit空調箱MAUMake-upAirUnit外氣空調箱VAVVariableAirVolumebox可變風量風箱FDFireDamper防火風門FSDcombinedFireSmokeDamper防火防煙風門SDSmokeDamper防煙風門PHXPlatedtypeHeatExanger板式熱交換器FFUFanFilterUnit風車過濾HEPAHighEfficiencyParticulateFilter效率過濾器

ULPAUltraLowPenetrationFilter超局效率過濾器A/SAirShower空氣浴塵室A/LAirLock氣閉門室DCCDryCoolingCoil干盤管FCUFanCoilUnit小型冷風機SFSmokeFan消防排煙風車EFExhaustFan通風排氣風車CUPCentralUtilityPlant中央動力廠房GEXGeneralEXhaust普通及熱排氣SEXScrubberEXhaust酸排氣VEXVolatileorgaiccompoundEXhaust有機溶劑排氣AEXAmmoniaEXhaust堿性排氣PCWProcessCoolingWater工藝冷卻水PVPlantVacuum工藝真空HVHouseVacuum真空吸塵CWCityWater自來水FMCSFailityMonitoringControlSystem廠務監控系統MCCMotorControlCenter馬達控制中心

VFDVariableFrequencyDevice變頻器CCTVCloseCircuitTelevsion閉路電視PAPublicAdresssystem廣播系統FAFireAlarmsystem火災報警系統UPWUltraPureWater超純水ROreverseOsmosis逆滲透膜TOCtotalorganiccarbon總有機碳MBmixedbed混床UFultrafiltration超濾SCstrongcation強陽離子SAstrongAnion強陰離子WAweakAnion弱陰離于DOdissolvedoxygen溶解氧MDmembraneDegasify脫氣膜GFgravityFilter重力式過濾器.DIdeionize去離子水FWWFluorideWasteWater低濃度氫氟酸廢水IWWIndustryWasteWater工業廢水OWWOrganicWasteWater有機溶劑廢水DAHWDrainAmoniaHydrideWastewater含氨廢水RCLRecyclewater制程回收循環水RCMReclaimwater制程回收再利用水HFWHighFluorideWaste氟酸廢液BGWBackgridingWastewater廢水SAWSulfuricAcidWaste液PAWPhosphoricAcidWasteSWStripperWaste廢液TWThinnerWastePIXPIXwastePIXSLW-OSLurryWastewaterOxide水SLW-MSLurryWastewaterMetal水SLW-PSLurryWastewaterPoly磨廢水PN2ProcessN2GN2占GeneralN2CDACompressor縮干燥空氣VMBValveManifoldBox高濃度氫晶背研磨硫酸廢磷酸廢液剝離液清洗廢液廢液介電質研磨廢金屬研磨廢多晶硅研制程用氮一般用氮DryAir壓閥箱ESHESH安全衛生SCBAApparatusISOStandardizationEnvironmentSafetyHealth環境SelfContainedBrathing自給式空氣呼吸器InternationalOrganizationfor國際標準化組織記得PCW好像是processcoolingwater1、CUPCentralUtilityPlant--中央動力廠房，但好象叫CUBCENTERJTILITYBUILDING的多些；2、把ThinnerWastewater翻譯成"清洗廢液"不妥，Thinn

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