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文檔簡介

凱旸H708 高阻BM SEMPoints12345ProfileAngle16.74/17.8914.78/15.6617.53/18.4819.94/20.1117.36/18.48TopCD8.418.178.737.447.81EXP: 50mj/100um (Cut Filter use) Inspection CD:6.67 um凱旸H708 高阻BM SEMPoints12345ProfileAngle16.82/14.1117.89/18.1313.47/13.7618.05/16.8515.26/16.16TopCD6.807.306.626.947.06EXP: 40mj/100um (Cut Filter use) Inspection CD: 5.44 um凱旸H708 高阻BM SEMPoints12345ProfileAngle18.75/19.9817.21/17.3124.09/18.8121.58/25.4322.81/24.15TopCD10.479.289.229.589.94EXP: 30mj/100um (NO Cut Filte

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