1、派瑞林氣相沉積涂敷工藝1派瑞林氣相沉積涂敷層獨特的防護特點某一電子產品處于一個有多種化學物質混合氣體和水分子并存的高濕度的密 閉體系環(huán)境中，線路和元器件管腳常常被腐蝕，致使該產品的可靠性極差。對該 產品的印制板組件先后采用了美國道康寧公司生產的DC1-2577敷形涂料,國內大多電子產品采用的S01-3聚氨酯清漆進行防護性涂敷，仍無法解決線路、 元器件的腐蝕問題。后來公司引進了派瑞林氣相沉積涂敷工藝生產線，才解決了 該電子產品的可靠性。通過長期對派瑞林氣相沉積涂敷工藝的應用，我們總結出派瑞林氣相沉積 涂敷工藝具有以下獨特的防護優(yōu)點：無孔不入”性派瑞林涂膜是采用獨特的真空氣相沉積工藝制備，是由活性

2、小分子在基材表 面“生長”出的敷形的聚合物薄膜涂層。由于是在真空條件下形成的，所以該工 藝的的最大特點是“無孔不入”，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱 邊、裂縫和內表面。可以提供真正無針孔的保護層派瑞林沉積過程是將二甲苯環(huán)二聚體加熱氣化后再經高溫裂解成游離的氣相 分子，并在真空、室溫條件下瞬間吸附在基板上聚合成膜，形成氣密性很好的保 護膜。由于涂料中不含溶劑，所以克服了已往使用的溶劑性涂料在烘干過程中因 溶劑揮發(fā)而必然會留下許多細微針孔的缺點，可以提供真正的無針孔的保護膜。各局部點的獨立防護性能與整體防護性能相結合的特有的防護性能 由于派瑞林涂膜是在常溫下以帶有雙游離基活性單體沉積的，先

3、是單體沉落 附著在印制板組件基體上，然后才是各單體的活性鍵的鍵合，從而連成一片，形成 一個整體膜層。通過長期使用，我們發(fā)現(xiàn)，涂敷層的各點就是一個獨立的保護 點，當局部涂層損壞時，不會嚴重地影響其周邊區(qū)域涂層的防護性，同時涂敷層 的各點又通過化學鍵連接一起，形成整體，更增強了其防護性能。2 派瑞林氣相沉積涂敷膜與有機硅DC1-2577、聚氨酯清漆S01-3膜層防護 性能對比試驗2.1試驗用樣件試驗用樣件為經過功能測試合格的印制板組件7塊(編號為A1A7) A1 A3試驗件實施C型對二甲苯環(huán)二聚體真空氣相成膜，單面涂膜厚度 為16 25 P mA4、A5試驗件進行真空浸涂S01-3聚氨酯清漆，浸涂

4、兩遍。A6、 A7試驗件進行常壓浸涂DC1-2577有機硅清漆，浸涂兩遍。2.2試驗用設備、化工材料自來水元器件功能檢測設備C)濕熱試驗箱高低溫試驗箱干燥箱千分尺海水、乙二醇、二甲苯、航空汽油RH-95/130、甲醇水、8號航空潤滑 油、航空煤油RP-3o2.3試驗項目和試驗要求試驗前進行功能測試，試驗件應處于完好狀態(tài)。溫度沖擊試驗將試驗件A1、A2、A3、A4、A5、A6 A7放入高低溫試驗箱內，進行5個循 環(huán)的高低溫沖擊試驗，每個循環(huán)為：-55 C, +70C，各1小時。涂膜不應有起泡、 裂紋、明顯的失光變色現(xiàn)象。將試驗件烘干后，檢測器件的功能應正常。交變濕熱試驗將進行完高低溫循環(huán)沖擊試驗

5、的試驗件 A1、A2、A3、A4、A5、A6、A7 按GJB150.9-86軍用設備環(huán)境試驗方法濕熱試驗要求進行10個周期的交變 濕熱試驗。涂膜不應有起泡、起皺、脫落、明顯的失光變色現(xiàn)象，元器件管腳、線路無腐蝕現(xiàn)象。在潮濕的情況下，檢測器件的功能應正常。海水浸泡試驗將試驗件A1、A2、A3 A4、A5、A6 A7浸泡在人工海水中保持168小時。涂 膜不應有脫落、起皺、溶脹、起泡現(xiàn)象，元器件管腳、線路無腐蝕現(xiàn)象。將 試驗件烘干后，檢測器件的功能應正常。235腐蝕性液體浸泡試驗將試驗件A1、A2、A3、A4、A5、A6 A7依次浸入乙二醇（保持24小時）、二甲苯（保持24小時）、航空汽油RH-95

6、/130 （保持24小時）、甲醇水 （保持48小時）、8號航空潤滑油（保持24小時）、航空煤油RP-3 （保持48小時）。涂膜不應有脫落、起皺、溶脹、起泡現(xiàn)象，元器件管腳、線路無腐蝕現(xiàn) 象。將試驗件烘干后，檢測器件的功能應正常。浸水對比試驗將元器件功能檢測設備與試驗件連接好，使其處于工作狀態(tài)，將試驗件A1、 A2、A4、A5、A6 A7分別浸入自來水中，開始記時直至出現(xiàn)故障，記錄六塊試驗 件出現(xiàn)故障時的工作時間。試驗結果和結論試驗結果見下表：三種涂膜層的試驗情況對比表半鐘出故障海水浸泡無異常無異常無異常膜層表面無明顯變化膜層表面尢明顯變化膜層表面無明顯變化膜層表面無明顯變化污液浸泡無異常無異常

7、無異常膜層表面無明顯變化膜層表面尢明顯變化局部膜層脫落局部膜層脫落需要特別說明的是，為了能明顯地反映出各涂敷層防水性能的差異，我們在試驗中不僅實施了濕熱交變試驗，還設計了一項模擬器件在水中工作的 較為苛刻的加速試驗，即浸水通電測試試驗。此項試驗過程中，試驗件A1、A2均 為經過6 10分鐘后僅出現(xiàn)1 2個氣泡，而后期試驗未見其它變化，功能檢測正 常。其它試驗板均在1 2分鐘內出現(xiàn)故障，且反映出冒氣泡、出現(xiàn)細小水柱、器件下出現(xiàn)水霧等現(xiàn)象。繼續(xù)對試驗件A2進行浸水通電測試試驗，在經過14天336小時的浸水 通電 試驗后，用于浸泡試驗件的水已變得混濁，但器件的功能檢測依然正常，因無繼續(xù) 測試的必要，

8、即停止了試驗。從以上試驗結果可以看出：派瑞林氣相沉積涂敷膜層表現(xiàn)出優(yōu)良的防護性 能，遠遠優(yōu)于S01-3、DC1-2577涂膜層。3派瑞林氣相沉積涂敷工藝的相關要求3.1涂層技術要求材料要求C型對二甲苯環(huán)二聚體是經檢驗合格的，并應在有效期內。環(huán)境要求涂敷工作室必須保持潔凈干燥，可設在溫度不大于 25 C、相對濕度不 大于75%的凈化室內。工藝流程清洗一掩膜一烘干驅潮一掩膜可靠性檢查一E0制板裝架進涂敷機-涂敷機系統(tǒng)抽真空-蒸涂偶聯(lián)劑-氣相沉積涂敷派瑞林-系統(tǒng)放氣-取出陪件和印制板組件-測厚-去掩膜-檢驗-包裝。工藝流程各環(huán)節(jié)中嚴禁任何人員裸手拿取；操作人員必須穿防靜電工作 服、戴防靜電腕帶和防靜

9、電手指套。清洗。批量的印制板組件清洗可采用專用清洗設備和專用清洗劑清洗， 少量的印制板組件清洗可米用刷洗，清洗液可用異丙醇或無水乙醇和NY-120號汽 油的1:1混合液進行清洗，清洗后表面清潔度應小于37 P g/in23.134保護不需涂敷的部位。較大面積的部位如0制板插頭、接觸片等可用膠帶保 護，細小的縫隙、小孔可用橡膠泥填充涂封，螺紋孔可用專用螺釘保護等。烘烤驅潮。進行涂敷前應徹底驅除印制板組件上吸附的水汽等潮汽，可 在60C 士 5 C下，烘烤2 3h。涂敷厚度的確定。如果對涂敷厚度有要求時，按有關要求執(zhí)行；對涂敷 厚度無特別要求時，一般單面涂敷層的厚度為16” m 25 口 m涂敷涂

10、脫膜劑用純凈水配制2% 5%體積比）Micro-90脫模劑水溶液，用不掉絨的 棉布團 蘸脫模劑對涂敷機的沉積室內壁等不需涂敷的地方全部涂抹一遍。裝架用掛鉤將要涂敷的印制板組件吊掛在涂敷機內的支架網板上。E0制板組件不 能相互接觸，并盡可能均勻分布。投涂敷材料根據裝入0制板組件的數量、涂敷層厚度、沉積室的容積投入原料。投入量 的多少一般根據試驗經驗確定。投偶聯(lián)劑打開涂敷機上的偶聯(lián)劑的加入口，用注射器加入3m 6mL KH-570硅烷偶聯(lián)劑。開機涂敷將裝好印制板組件的涂敷機關閉好，嚴格按涂敷機所要求的操作步驟和工藝 要求進行操作。先蒸涂偶聯(lián)劑，再涂敷派瑞林。測厚用千分尺檢測涂敷層厚度。去掩膜用手術

11、刀或雙面刀片，小心地將印制板組件與掩膜材料界線處的涂層劃 斷，然后將掩膜材料小心除去。檢驗3.1310.13.1310.1外觀檢驗1）在放大鏡下100%進行檢查。嚴禁涂膜有劃破、擦傷、撞傷、脫皮等 破壞膜層完整性的任何微小的傷痕；2）膜層應光滑、均勻、透明，不得有氣泡、白斑、起皺、桔皮、針孔、 龜裂、機械雜質等；3）不應涂敷的地方不得被涂層所覆蓋。涂層厚度檢測取涂敷好的試樣或陪片，用測微千分尺或測厚儀檢測厚度，精確全1冉包裝要求涂敷好的印制板組件采用單件內包裝，包裝材料為防靜電袋和塑料氣泡 袋（或海棉墊）；中間包裝應為聚脂泡沫盒；夕卜包裝采用適合長途運輸的包 裝箱，如木盒,鐵盒等，包裝箱應有防

12、碰撞、防顛倒、防酸、防火標志；隨箱 應有合格證和裝箱單。涂層的去除和修復必要時，可對涂層進行局部去除和修復。涂層的去除已涂敷好的印制板組件需要更換元器件時，表貼元器件可選擇返修工作 站（型號）去除元器件周圍的涂層；對于通孔插裝元器件，可用尖銳的刮刀并輔助以溫控型解焊工具拔起元器件，然后均需用鋒利的刀具將殘余的 涂層邊緣修理平滑。涂層的修復修復前的清洗，先將涂層邊緣修理平滑。較大面積的修復時，可用無水 乙醇和NY-120號汽油清洗三遍，小面積修復可用棉布蘸無水乙醇清洗數 遍，然后晾干；較大面積的修復和重要元器件保護應重新涂敷派瑞林；較小 面積或個別部位的修復可涂敷與派瑞林涂膜結合力較好的S01-3聚氨酯清漆。摘要：本文介紹了派瑞林氣相沉積涂敷工藝獨特的防護特點、真空氣相沉積過 程，涂層檢驗、涂層的去除和修復方法等。較詳細的介紹了派瑞林氣相沉積涂膜與有機硅DC1-2577聚氨酯清漆S01-3膜層的防護性能對比試驗，重點介紹了 派瑞林氣相沉積涂膜對水分子的阻隔性試驗過程和結果