1、晶圓切割站學習手冊晶圓切割站學習手冊2A、DFD 651機臺了解機臺了解CO2濾凈機濾凈機顯示器顯示器指示燈指示燈升降臺升降臺料盒料盒切割軸切割軸直行操作架直行操作架旋轉操作架旋轉操作架3切割工作盤切割工作盤清洗工作盤清洗工作盤旋轉操作架旋轉操作架直行操作架直行操作架切割軸、切割刀切割軸、切割刀操作鍵盤操作鍵盤4DFD651晶圓切割機的兩根切割軸以及切割刀晶圓切割機的兩根切割軸以及切割刀切割Z1軸切割Z2軸5電源控制開關電源控制開關總水閥總水閥總氣閥總氣閥（機器左側面）（機器左側面）（機器右側面）（機器右側面）（機器后部）（機器后部）6CUTTING BLADE 冷卻刀具用水冷卻刀具用水WAT

2、ER SHOWER 噴在刀刃上，清洗刀刃噴在刀刃上，清洗刀刃WASHING SPRAY 清洗晶圓用水清洗晶圓用水WATER SPRAY 清洗晶元用水清洗晶元用水純水流量表純水流量表（位于機臺正左方）（位于機臺正左方）7B、鍵盤講解：、鍵盤講解： SET UP：測高快捷鍵：測高快捷鍵 DEVICE DATA：調出參數快捷鍵：調出參數快捷鍵 AUX：不用：不用 NEW CST：按下后使料盒從第一個第一格開始取料：按下后使料盒從第一個第一格開始取料 S/T VAC：清洗盤真空壓力開：清洗盤真空壓力開/關關 SYS INIT：系統初始化：系統初始化 CUT WATER：切割水開：切割水開/關關 SPN

3、DL：轉軸開：轉軸開/關關 C/T VAC：切割盤真空壓力開：切割盤真空壓力開/關關 ZEM：轉軸緊急抬起按鈕：轉軸緊急抬起按鈕 INDEX：索引：索引 SCR INDEX：SCR索引索引 SHIFT：鍵盤切換：鍵盤切換8C、日常操作：、日常操作： 開機；系統初始化（快捷鍵開機；系統初始化（快捷鍵SYS INIT）確認刀片型號及使用壽命未到極限（確認刀片型號及使用壽命未到極限（F5.6） 測高（測高（F5.3.1or快捷鍵快捷鍵SET UPF3）刀片基準線校準（刀片基準線校準（F5.5） 確認生產型號（確認生產型號（F4）貼片（使用晶圓貼片機）貼片（使用晶圓貼片機） 單品種全自動切割（單品種全

4、自動切割（F1快捷鍵快捷鍵NEW CSTSTART）首件檢查（使用工具顯微鏡）首件檢查（使用工具顯微鏡） 目檢（使用普通顯微鏡）目檢（使用普通顯微鏡）機器維護：換刀（在機器維護：換刀（在F5.1菜單下更換）菜單下更換） 機器異常情況處理機器異常情況處理9晶圓貼片步驟晶圓貼片步驟1、準備工作打開離子風扇準備擦凈的鐵圈若干有效距離60cm102、用氣槍吹凈機器表面3、用沾酒精的無塵布擦拭機器表面及滾筒貼片114、取一盒晶圓，先從外部觀察晶圓有無破損，若有，通知工程師處理；然后打開，再確認有無破片貼片125、雙手小心取出一片晶圓6、將其小心放置在工作盤上，先將晶圓底部靠近工作盤的底線，慢慢放下晶圓，

5、左手不放開，用右手打開真空開關貼片137、放上鐵圈，兩個卡口卡住工作盤上的兩個突出點8、拉出膠布，先松開，讓前部貼住貼片機的前部；再拉緊膠布，貼住貼片機后部貼片149、用滾筒壓過膠布10、看膠布與晶圓間有無氣泡，若有超過0.5mm的氣泡，將其UV照射后重新再貼貼片1511、蓋上滾筒，用滾刀刮斷膠布12、按住鐵圈，小心撕開膠布貼片1613、將貼好的晶圓拿下，用雙手將其放進料盒注意：料盒不可以重疊放置貼片17貼片的注意事項 1.貼片時除小手指外,其余四個手指均需要戴指套. 2.貼片時要讓晶圓的切線邊與貼臺切線邊重合.以保證不讓晶元貼偏. 3.晶元承載臺不可以用銳利的物品碰觸,防止劃傷晶圓承載臺.

6、4.貼片時不可以使滾筒滾動太快,且不可用力過大導致壓傷或壓迫晶元. 5.不使用貼片機時最好把蓋子蓋上.防止異物掉落到晶圓的承載盤上.18UV照射按住鎖定按鈕向后推開蓋子將須照射的工件表面朝上放入照射室按START進行照射19首件檢查：首件檢查：將要檢查之晶圓放置工具顯微鏡平臺上。使用物鏡倍率50倍檢視，并調整焦距至清楚為止。將平臺移到屏幕顯示晶圓最左邊的短邊切割道。按照首檢規格依次檢查，并記錄數值于割片外觀檢查表用黑色抗靜電鑷子，夾起1顆晶片，將晶片電路朝向自己，調整晶片水平，量測晶片兩側垂直面，不可大于5m，結果記錄于割片外觀檢查表垂直面量測完畢后，再檢查晶片底部（背面），崩碎范圍不可大于1

7、00m，結果記錄于割片外觀檢查表。20切割第一片及每切割5片必須抽檢1片，檢驗項目有垂直度、L型至刀痕距離、及背崩檢查，每片必須檢查4個Chip以上E、側面圖（背崩）D100m底邊 5mC/D、側面圖（垂直面）特例：T3、4B4D的背崩范圍不可大于50m首件檢查21目檢方法：目檢方法：每片切割完畢之晶圓，必須全部檢查。將切割完成之晶圓，放置在顯微鏡平臺上。調整至最大倍率。調整焦距至眼睛可看清楚。移動晶圓至短邊切割道，檢查短邊崩碎范圍是否影響至晶片，若崩碎至晶片，則以黑色油性簽字筆在晶片中央點個黑點。再調整顯微鏡倍率為30倍。調整焦距到眼睛可看清楚。再移動晶圓至最左邊，檢查長邊切割道崩碎范圍是否

8、影響至晶片及晶片上是否刮傷電路，或晶片上有任何異狀，若有以上情況，必須以黑色油性簽字筆點在晶片中央。檢查后，須將以上黑點數量、刮傷數量、其它不良記錄于晶圓切割站目檢狀況記錄表。若黑點數量超過30顆，必須馬上通知領班或設備工程師處理 221、點黑點時，手不允許碰到晶圓a.目檢晶圓四周，檢查切割痕，看有無未切穿的現象，若有，則盡快通知工程師修機2、切割道崩壞超過保護邊的就必須當作不良點上黑點3、目檢步驟：b.目檢短邊切割道，看有無崩壞到保護邊的現象，若有，則點上黑點目視檢查23壓傷不良圖片崩巴不良圖片刮傷不良圖片鋁電極c.目檢長邊切割道，看有無崩壞到保護邊或晶片表面刮傷的現象，若有，則點上黑點d.

9、對于大面積的刮傷，可利用顯微鏡的斜光看出e.晶圓切割當班工程師須對已目檢晶圓進行隨機抽檢，晶圓切割當班工程師須對已目檢晶圓進行隨機抽檢，抽檢比率應大于抽檢比率應大于5%，并做相應的記錄，對出現問題超，并做相應的記錄，對出現問題超過過2次次(包括包括2次次)的員工提報給當班制造線長的員工提報給當班制造線長目視檢查24換刀步驟換刀步驟1、當屏幕右下角的刀數到預定的、當屏幕右下角的刀數到預定的刀片使用壽命時即須換刀刀片使用壽命時即須換刀目前使用切割刀的估計壽 命如下：27HEEE2：12000刀27HCEF1：12000刀 27HCEE：12000刀 27HCCE：6500刀 27HCCB：6500

10、刀 27HCCE：6500刀2、當刀片磨損量到達刀刃極限時、當刀片磨損量到達刀刃極限時也須換刀（在正常切割畫面下按也須換刀（在正常切割畫面下按F3，進入刀片狀態信息）進入刀片狀態信息）253、在主目錄下按、在主目錄下按F5（刀片參數維護），再（刀片參數維護），再按按F1（刀片更換）進入更換刀片畫面（刀片更換）進入更換刀片畫面4、打開保護蓋，先擦凈壓克力板、打開保護蓋，先擦凈壓克力板以及各管路以及各管路警告：因在此目錄下按警告：因在此目錄下按SPINDL，轉軸，轉軸不會轉，所以盡量在此目錄下更換，以不會轉，所以盡量在此目錄下更換，以免意外發生！免意外發生！換刀265、擰開螺絲，拿掉、擰開螺絲，拿

11、掉WHEEL COVER，將刀片破損檢測敏感器旋至最上將刀片破損檢測敏感器旋至最上6、將扭力扳手調至、將扭力扳手調至350CN.M換刀277、用扭力扳手順時針旋開卡緊螺絲、用扭力扳手順時針旋開卡緊螺絲8、小心取下刀片，并放入盒內、小心取下刀片，并放入盒內換刀289、退出刀片更換畫面，再按、退出刀片更換畫面，再按F2進入刀片檢出裝置調整畫面，進入刀片檢出裝置調整畫面，將刀片破損檢出敏感器取下，將刀片破損檢出敏感器取下，用沾水的棉棒將其擦拭，使屏幕顯示用沾水的棉棒將其擦拭，使屏幕顯示為為100%10、用沾水的無塵紙擦拭轉軸、用沾水的無塵紙擦拭轉軸換刀2911、小心取出新刀片、小心取出新刀片12、將

12、新刀片小心裝上轉軸，、將新刀片小心裝上轉軸，并將卡緊螺絲用扭力扳手逆并將卡緊螺絲用扭力扳手逆時針方向旋緊，裝上時針方向旋緊，裝上WHEEL COVER；調節刀片破損裝置；調節刀片破損裝置使其敏感度在使其敏感度在10%左右左右換刀3013、蓋上保護蓋，進入、蓋上保護蓋，進入F1更換刀片畫面，確更換刀片畫面，確認刀片類型、刀片狀認刀片類型、刀片狀態等參數后，按態等參數后，按ENTER更新刀片參數；更新刀片參數；再到再到F6刀片狀況資料刀片狀況資料里將對應的刀片刀數里將對應的刀片刀數清零清零14、退到主畫面，按、退到主畫面，按F4選擇磨刀程序選擇磨刀程序MNT（Z1/Z2/Z1Z2）按按F1進入全自

13、動切割，進行磨刀進入全自動切割，進行磨刀換刀31D、菜單講解：、菜單講解：F1：單品種全自動切割：單品種全自動切割 按下此鍵后，系統進入單品種全自動切割準備狀態，再按下快捷鍵NEW CST、START，機器將按F4菜單中設置的程序進行單品種全自動切割F2：多品種全自動切割：多品種全自動切割 跟F1相類似，只是F1切割過程中程序不變，而在F2中，可以設定料盒中有不同的產品，不須中途全自動結束更改程序（例如：EAGLE的CCD與TG可以放在同一個料盒中切割）32F3：手動操作：手動操作F3.1進料：進行刀片基準線校準或其他機器維護時需要先進料至工作盤F3.2影像教讀F3.3校準F3.4自動切割F3

14、.5半自動切割：通常在此程序下切不整片的晶圓F3.6將晶片移至清洗盤F3.7清洗F3.8出料F3.9外形識別F3.10執行程序控制表（切割除外）：將F3.2影像教讀自動進行一遍，但不進行切割 33J F4：型號目錄：型號目錄（有關切割參數的設定）J F5：刀片參數維護：刀片參數維護 F1 刀片更換：進入此程序后，切割軸和切割水自動關閉，以便進行更換刀片的工作。當然也可以按下快捷鍵SPNDL和CUT WATER來關閉切割軸和切割水后進行更換，不過沒有前一種方法安全，因為前一種情況下如果按下SPNDL后轉軸不會轉，后者則不然 F2 刀片破損裝置檢測：在此程序下擦干凈刀片破損裝置檢測敏感器，然后按規

15、定調整敏感器 F3 測高方式：包含非接觸、工作盤校準、敏感器校準測高 F5 刀片基準線校準：每天切割前的準備工作，建議每次換刀后都做一遍，可以提升切割品質 F6 刀片狀況資料：每天開機后或切割前必須進入確認刀片未到極限壽命后方可進行切割 F7 測高參數 F8 敏感器清洗34系統初始化選取F3-F5半自動切割非接觸測高手動校準CH1面對焦調節角（水平）找到第一個需要切割的切割道并對齊按START開始切割并立即暫停切割另外一面（CH2）進料檢查切割位置，確定OK后繼續切割選擇向前或向后手動切割35E、具體操作要領、具體操作要領 一、常見異常報警的處理一、常見異常報警的處理 1、切痕檢查：偏離中心

16、*消除警報 *確認警報原因為切割位置偏移OR基準線偏移 *若是基準線偏移，則利用Y方向鍵調節基準線中心對準切割痕中心 *按F5鍵基準線調整 *利用F4刀痕參數中的F5刀痕檢查，檢查以上調整的位置，檢查后會自動調整誤差，并顯示于屏幕 *檢查確認無誤后方可繼續切割362、目標沒有尋到*消除警報*按F4繼續切割，但切割一刀后馬上停止*利用F4刀痕參數中的F5刀痕檢查，確認基準線中心與切割痕中心對齊*確認無誤后方可繼續切割異常處理373、切痕檢查：切割位置偏移*消除警報*利用Y鍵調節到正確的切割位置*按F10鍵切割位置調整*按START再切割一刀*利用F4刀痕參數中的F5刀痕檢查*確認無誤后方可繼續切

17、割異常處理384、切痕檢查：太寬*消除警報*按F3進入暫停修正狀態*利用F4刀痕參數中的F5刀痕檢查，確認WIDTH數據，若太大，則須換刀異常處理395、切痕檢查：大寬（基準線中心到崩碎位置）*消除警報*檢視畫面中的崩碎面積是否過大，不可超過2500PIXELS*若超過，則按F9預切激活，降低切割速度后再切割異常處理406、Z1、Z2軸測高錯誤*消除警報*關閉切割軸和切割水*打開外蓋，先檢查切割刀是否真的損耗異常或破損*再用海綿棒擦拭非接觸SENSOR兩面，確保其在綠色范圍內*關閉外蓋，重新測高異常處理417 、 C/T真空壓力不足真空壓力不足 消除警報。 按SPNDL鍵及CUT WATER鍵

18、，停止切割軸和純水的運轉。 打開外蓋。 檢查chuck table(工作盤)上是否有異物，或U.V貼布上有破洞。 工作盤上有異物時，先按F1鍵-全自動停止的功能鍵后，選擇功能中的F1鍵-全自動停止，等待旋轉軸上的晶圓退出至料箱(cassette)內，再按F2鍵-切割停止，將正在切割的晶圓退出。 清潔貼布背面及工作盤上的異物。 清潔干凈后，按F3鍵-手動操作，以半自動切割將為切完的部分，切割完成。(半自動切割必須先切割CH1短邊，避免水平校準的偏移。) 異常處理42F、其他注意事項、其他注意事項刀具講解：NBC-ZH 2 0 4 0 27H C C C 集中度集中度鉆粒尺寸鉆粒尺寸BODER的材質（較硬）的材質（較硬）刀刃長度刀刃長度刀痕寬度刀痕寬度刀片外徑刀片外徑刀刃長度：刀刃長度：C：0.640.76MM、E：0.891.02MM刀痕寬度：刀痕寬度：B: 2025um、 C：2530um、E：3540um、F:4050um刀具直徑：刀具直徑：27H：外：外55.56內內19.05、35H外外76.20內內31.75鉆粒尺寸（微米）：鉆粒尺寸（微米）：B：1/23、C：24、D：26、E：46、F：48 急停、停電或者其他異常原