1、F微電子壓力傳感器微電子壓力傳感器聚合物薄膜聚合物薄膜硅硅壓敏電阻器壓敏電阻器吸濕膨脹吸濕膨脹電阻變化？電阻變化？微電子濕度傳感器微電子濕度傳感器硅硅Si基體基體硅尖錐硅尖錐玻璃玻璃熒光粉熒光粉電子電子電電場場發(fā)光發(fā)光機(jī)械機(jī)械部分部分傳感傳感執(zhí)行執(zhí)行控制部分控制部分電子學(xué)電子學(xué)MEMS微電子學(xué)微電子學(xué)Fabrication of Silicon Tips for Scanning Probe MicroscopyFabrication of Silicon Tips for Scanning Probe Microscopy High aspect ratio 60um trenchSTSDe

2、epRIEsystematFID ?微執(zhí)行器：微馬達(dá)、微齒輪、微泵、微閥門、微執(zhí)行器：微馬達(dá)、微齒輪、微泵、微閥門、微開關(guān)、微噴射器、微揚(yáng)聲器、微諧振器等微開關(guān)、微噴射器、微揚(yáng)聲器、微諧振器等?微型構(gòu)件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微型構(gòu)件：微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等連桿等?微機(jī)械光學(xué)器件：微鏡陣列、微光掃描器、微機(jī)械光學(xué)器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等?1、微傳感

3、器：、微傳感器：機(jī)械類：力學(xué)、力矩、加速度、速度、機(jī)械類：力學(xué)、力矩、加速度、速度、角速度角速度(陀螺陀螺)、位置、流量傳感器、位置、流量傳感器磁學(xué)類：磁通計、磁場計磁學(xué)類：磁通計、磁場計熱學(xué)類：溫度計熱學(xué)類：溫度計化學(xué)類：氣體成分、濕度、化學(xué)類：氣體成分、濕度、PH值和離值和離子濃度傳感器子濃度傳感器生物學(xué)類：生物學(xué)類：DNA芯片芯片?微機(jī)械光學(xué)器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微機(jī)械光學(xué)器件：微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等腔激光器、光編碼器等MirrorSupportStr

4、uctureSubstrateHingesTorsionHinges1stDOF2ndDOFForce-redirectingLinkage?理論基礎(chǔ)：隨著理論基礎(chǔ)：隨著MEMS尺寸的縮小，有些宏觀尺寸的縮小，有些宏觀的物理特性發(fā)生了改變，很多原來的理論基礎(chǔ)的物理特性發(fā)生了改變，很多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng)、微觀摩擦機(jī)理等等，面效應(yīng)、微觀摩擦機(jī)理等等，微動力學(xué)微動力學(xué)微流體力學(xué)微流體力學(xué)微熱力學(xué)微熱力學(xué)微摩擦學(xué)微摩擦學(xué)微光學(xué)微光學(xué)微結(jié)構(gòu)學(xué)微結(jié)構(gòu)學(xué)?技術(shù)基礎(chǔ)：設(shè)計、工藝加工技術(shù)基礎(chǔ)：設(shè)計、工藝加工( (高深寬比多層高深寬比多層微結(jié)構(gòu)微結(jié)構(gòu)) )、微裝配工藝、微系統(tǒng)的測量等。、微裝配工藝、微系統(tǒng)的測量等。?應(yīng)用研究：如何應(yīng)用這些應(yīng)用研究：如何應(yīng)用這些MEMSMEMS系統(tǒng)也是一系統(tǒng)也是一門非常重要的學(xué)問。人們不僅要開發(fā)各種門非常重要的學(xué)問。人們不僅要開發(fā)各種制造制造M