1、2011.5.18Section 1氣體的類型氣體的類型Section 2氣體供應方式氣體供應方式Section 3氣體設備氣體設備Section 4尾氣處理尾氣處理Section 5控制系統控制系統Section 6大眾氣體輸送系統大眾氣體輸送系統Section 7壓縮空氣壓縮空氣(CDA)1,1,按照氣體的使用量分類按照氣體的使用量分類: : (1), (1),大宗氣體大宗氣體: : (2),(2),特殊氣體特殊氣體: :2,2,按照氣體的性質分類按照氣體的性質分類: : (1), (1),惰性性氣體惰性性氣體 (2), (2),助燃性氣體助燃性氣體 (3), (3),易燃性氣體易燃性氣體

2、 (4), (4),腐蝕性氣體腐蝕性氣體 (5), (5),氧化性氣體氧化性氣體 3,3,按照氣體的純度分類按照氣體的純度分類: : (1), (1),一般氣體一般氣體: : (2), (2),高純氣體高純氣體: :4,4,按照氣體常溫條件下的狀態分類按照氣體常溫條件下的狀態分類: : (1), (1),氣態氣體氣態氣體 (2), (2),液態氣體液態氣體 (3),(3),高壓氣體高壓氣體 (4),(4),低壓氣體低壓氣體 1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 現場制造氣體現場制造氣體2: Bundle supply: H2,He 集裝格供應氣

3、體集裝格供應氣體3: Lorry tank supply: Ar,O2 液體槽車供應氣體液體槽車供應氣體4: Gas cylinder supply: Special Gas 鋼瓶供應氣體鋼瓶供應氣體 流量計流量計Tank LorryN2 Plant液態氣體儲罐液態氣體儲罐Purity GasGeneral GasOutside OfBuildingInside OfBuilding過濾器過濾器0.02m, 0.01m無塵室無塵室氣體純化器氣體純化器過濾器過濾器(0.05m)過濾器過濾器(0.1m)調壓器調壓器氣化器氣化器r特殊氣體系統特殊氣體系統特殊氣體系統特殊氣體系統-流程圖流程圖特殊氣體

4、集中輸送系統特殊氣體集中輸送系統(BSGS)安全安全設計設計 (外外殼殼)不不銹鋼銹鋼 316L VIM/VAR選選用材料符合特殊用材料符合特殊氣氣體需要體需要100% 內內表面表面電電子拋光子拋光無無顆顆粒粒泄漏率泄漏率: 1 x 10 10 Atm-cc/sec (He)PLC 控制控制 & 觸觸摸摸瓶瓶操作操作 和和 維護維護方便方便全自全自動動循循環環工工藝藝自自動動工工藝鋼瓶藝鋼瓶切切換換安全安全選項選項 & 聯動聯動裝置裝置顯顯示器示器 : EL Mono or TFT Color Gas Cabinet Flow DiagramA : PROCESSB : PURGE N2C :

5、 GENERAL N2D : LEAK CHECK HeE : EXHAUST在不用停止供在不用停止供氣氣的的條條件下增加使用點件下增加使用點降通降通過減過減少少氣瓶柜氣瓶柜的的數數量量來來降低降低費費用用系系統統和安全和安全選項類選項類似于似于氣瓶柜氣瓶柜設計簡潔設計簡潔1 X 8 輸輸送送t o o l : 3t o o l : 2t o o l : 1V M B BSGS (特殊特殊氣氣體集中體集中輸輸送系送系統統) 防止更換鋼瓶時,鋼瓶接頭咬死持久保持高潔凈度: 減小鋼瓶內雜質結合的幾率.降低頻繁更換鋼瓶所涉及的人員成本及項目管理成本.連續不間斷供氣降低污染, 減少維護費用減少氣瓶柜數

6、量以降低成本.簡化二次配管工作供應量: 0300 slpm二次降壓: 0150 psig 5psig系統和安全選項類似于氣瓶柜 Safety Design & SystemDesigned with Anti-corrosion MaterialEasy Operation and MaintenanceLow Running CostHigh EfficiencyPLC Controller & Touch PanelFull Auto Cycle ProcessSafety Option & InterlocksApplicable Monitoring System Dry Scrubb

7、er Thermal Wet Scrubber Plasma Type POU ScrubberPlasma chamberWater chamberInlet port(4 ports - standard)Touch screenMiddle flange Flow controller (N2, Air water)Controller of Gas and Chemical Supply System Free Volt Main Power PLC Process Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM : R

8、S-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315Signal TowerManometerEMG12” TFT Color Display GMS Concept FlowPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWI

9、RE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M

10、O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINK ServerFull Point I/O Panel PCGas CabinetVMBHubHubHubHubEthernet TransceiverGas CabinetVMBGas CabinetVMBServerFull Point I/OServerFull Point I/O GMS 定義:在空氣中可以提取的氣體,如氮氣,氧氣,氬氣,氦氣等. 儲藏方式:低溫儲罐,高壓鋼瓶 低溫液體在常壓下一般沸點低于-180 例如液氧(-182.9)液氬(-185.7)液氮 (-195.8)液氦(-268.9) （1）壓縮氣體 臨界溫度低于-10的氣體，經加高壓壓縮，仍處于氣態者稱壓縮氣體，如氧、氮、氫、空氣、氬、氮等。這類氣體鋼瓶若設計壓力大于或等于12MPa（125kg/cm2）稱高壓氣瓶。 （2）液化氣體 臨界溫度10的氣體，經加高壓壓縮，轉為液態并與其蒸氣處于平衡狀態者稱為液化氣體。 （3）溶解氣體 單純加高壓壓縮，可產生分解、爆炸等危險性的氣體，必須在加高壓的同時，將其溶解于適當溶劑，并由多孔性固