1、公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄ESD 基礎(chǔ)培訓(xùn)基礎(chǔ)培訓(xùn)公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 目錄目錄靜電的危害及歷史靜電的危害及歷史靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電控制靜電控制常見的不符合常見的不符合ESD控制規(guī)范的實(shí)例控制規(guī)范的實(shí)例公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD損壞種類比例損壞種類比例公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電損傷試驗(yàn)靜電損傷試驗(yàn)對(duì)微電路中的一段線路做ESD實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)：200V400V時(shí)時(shí)線路的阻抗沒有發(fā)現(xiàn)變化600V時(shí)時(shí)微電路的性能指標(biāo)稍有下降，但仍能通過測(cè)試。800V900V出現(xiàn)了局部熔斷和孔洞，線路阻抗發(fā)生了明顯變化1000V線路斷路，器件被完全損壞。公司機(jī)密公司

2、機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄人體對(duì)靜電的敏感程度人體對(duì)靜電的敏感程度在大于在大于3000伏時(shí)，伏時(shí)，你能通過皮膚感知你能通過皮膚感知在在5000伏時(shí)，伏時(shí)，你能聽見你能聽見在在10000伏時(shí)，伏時(shí)，你能看見你能看見人體對(duì)人體對(duì)ESD的感覺的感覺公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 部分部分元件元件ESDESD的敏感度的敏感度 公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄88年美國ESD影響損失50億美元電子產(chǎn)品運(yùn)行出現(xiàn)的故障49的為靜電所致日本IC生產(chǎn)中的不合格品45是靜電造成的90ESD對(duì)元器件、電路的破壞是潛在的 靜電在行業(yè)中的損失靜電在行業(yè)中的損失公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄靜電的危害及歷史靜電的危害及歷史

3、靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電控制靜電控制常見的不符合常見的不符合ESD控制規(guī)范的實(shí)例控制規(guī)范的實(shí)例 目錄目錄公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 有關(guān)靜電名稱解釋有關(guān)靜電名稱解釋靜電靜電：靜電就是物體上多余的電荷,所產(chǎn)生的效應(yīng)包括帶電體之間力的作用和電場(chǎng)。靜電放電靜電放電（ESDElectrostatic Discharge）：帶有不同靜電電勢(shì)的物體或表面之間的靜電電荷轉(zhuǎn)移。有兩種形式：接觸放電，電場(chǎng)擊穿放電。靜電敏感度靜電敏感度(ESDSElectrostatic Discharge Sensitivity)靜電敏感器件靜電敏感器件(ESSDElectrostatic Sensitive Dev

4、ices)EPA：ESD Protect Area(ESD防護(hù)區(qū)域):抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生；安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷ECA：ESD Control Area(ESD控制區(qū)域) EOS：Electrostatic Over Strength（電過應(yīng)力）公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生幾種靜電產(chǎn)生方式幾種靜電產(chǎn)生方式思考：溫度變化是否能產(chǎn)生靜電思考：溫度變化是否能產(chǎn)生靜電公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生摩擦起電摩擦起電公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生摩擦起電的影響因素摩擦起電的影響因素公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄

5、禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生摩擦起電環(huán)境對(duì)靜電的影響摩擦起電環(huán)境對(duì)靜電的影響 公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生電感效應(yīng)電感效應(yīng)- -公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生電容效應(yīng)電容效應(yīng)公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生靜電的特性靜電的特性高電位：高電位：可達(dá)數(shù)萬至數(shù)十萬伏，操作時(shí)常達(dá)數(shù)百至數(shù)千伏（人通常對(duì)3.5KV以下靜電不易感覺到）。低電量：低電量：靜電流多為微安級(jí)（尖端瞬間放電例外）。作用時(shí)間短：作用時(shí)間短：微秒級(jí)。受環(huán)境影響大：受環(huán)境影響大：特別是濕度，濕度上升則靜電積累減少，靜電壓下降。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的

6、損傷方式靜電的損傷方式半導(dǎo)體氧化層周圍的電壓超過了氧半導(dǎo)體氧化層周圍的電壓超過了氧化層介質(zhì)擊穿電壓化層介質(zhì)擊穿電壓 氧化層越薄，對(duì)靜電越敏感。氧化層越薄，對(duì)靜電越敏感。在在ESD事件中產(chǎn)生的熱量使器件局事件中產(chǎn)生的熱量使器件局部過熱和使接點(diǎn)融化，過熱和短路會(huì)部過熱和使接點(diǎn)融化，過熱和短路會(huì)損壞器件損壞器件 熱是由放電電流產(chǎn)生的熱是由放電電流產(chǎn)生的 熱能與放電電流的平方成正比熱能與放電電流的平方成正比電電 介介 質(zhì)質(zhì)擊擊 穿穿熱熱 擊擊 穿穿公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的損傷方式靜電的損傷方式硬損傷：硬損傷：器件不能工作器件不能工作軟損傷：軟損傷：ESD減弱了器件或單板減弱了器件或單板

7、的性能，但仍能通過測(cè)試。單板的性能，但仍能通過測(cè)試。單板或器件的特性變差，最終失效。或器件的特性變差，最終失效。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 靜電的損傷方式靜電的損傷方式EOSEOSESD能引起電過應(yīng)力（能引起電過應(yīng)力（EOS），熔化器件的金屬部分），熔化器件的金屬部分EOS有下列特點(diǎn)：有下列特點(diǎn)：持續(xù)時(shí)間較長的大電流持續(xù)時(shí)間較長的大電流對(duì)器件的大面積損傷對(duì)器件的大面積損傷損傷可以明顯觀察到損傷可以明顯觀察到公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 材料的電特性材料的電特性公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 材料的電特性材料的電特性絕緣體絕緣體限制電子自由移動(dòng)限制電子自由移動(dòng)很大的體電阻很大的體電阻

8、1x1011很少有電子在物體中移動(dòng)很少有電子在物體中移動(dòng)能夠保持大量電荷能夠保持大量電荷在同一種物體的上的不同地方可以保持正電荷和負(fù)電荷。在同一種物體的上的不同地方可以保持正電荷和負(fù)電荷。絕緣體的耗散只能通過環(huán)境（離子風(fēng)機(jī)、涂防靜電液等），絕緣體的耗散只能通過環(huán)境（離子風(fēng)機(jī)、涂防靜電液等），不能通過自己的表面不能通過自己的表面注意：注意：紙板和木頭在濕度較高時(shí)因?yàn)槲哂徐o電耗散性紙板和木頭在濕度較高時(shí)因?yàn)槲哂徐o電耗散性能，濕度較低（一般小于能，濕度較低（一般小于50%左右）時(shí)表現(xiàn)為絕緣性能左右）時(shí)表現(xiàn)為絕緣性能。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 材料的電特性材料的電特性導(dǎo)體導(dǎo)體電子在導(dǎo)體

9、表面和體內(nèi)流動(dòng)電子在導(dǎo)體表面和體內(nèi)流動(dòng)體電阻體電阻1x104如果連接到地，電荷能被中和如果連接到地，電荷能被中和電荷能被積累在沒有接地的導(dǎo)體上電荷能被積累在沒有接地的導(dǎo)體上在導(dǎo)體上的電荷瀉放快在導(dǎo)體上的電荷瀉放快公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 材料的電特性材料的電特性人體人體最容易產(chǎn)生靜電最容易產(chǎn)生靜電對(duì)地能儲(chǔ)存電荷對(duì)地能儲(chǔ)存電荷人在走動(dòng)時(shí)產(chǎn)生靜電人在走動(dòng)時(shí)產(chǎn)生靜電產(chǎn)生產(chǎn)生15千伏的靜電很常見千伏的靜電很常見產(chǎn)生產(chǎn)生35千伏的靜電是可能的，但不常見千伏的靜電是可能的，但不常見 公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 材料的電特性材料的電特性靜電耗散材料靜電耗散材料電子在材料的表面可以自由移動(dòng)，但移

10、動(dòng)的速電子在材料的表面可以自由移動(dòng)，但移動(dòng)的速率由于電阻而受到控制率由于電阻而受到控制如果被接地，電荷將被緩慢的釋放掉如果被接地，電荷將被緩慢的釋放掉體電阻體電阻1x1041x1010思考：導(dǎo)體電阻小，更易釋放物體上的靜思考：導(dǎo)體電阻小，更易釋放物體上的靜電，為何不選用導(dǎo)體作為靜電耗散材料？電，為何不選用導(dǎo)體作為靜電耗散材料？公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄靜電耗散材料靜電耗散材料抗靜電包裝袋抗靜電包裝袋 公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄靜電耗散材料靜電耗散材料靜電屏蔽袋靜電屏蔽袋聚乙烯層聚乙烯層 Antistatic 可熱壓封口可熱壓封口 耐拉耐拉 良好絕緣強(qiáng)度良好絕緣強(qiáng)度聚酯層聚酯層 耐拉

11、耐拉 外形穩(wěn)定（不變形）外形穩(wěn)定（不變形） 良好絕緣強(qiáng)度良好絕緣強(qiáng)度 耐擊穿耐擊穿導(dǎo)電金屬膜層導(dǎo)電金屬膜層 低電阻低電阻 40% 連續(xù)導(dǎo)電面連續(xù)導(dǎo)電面耐磨涂層耐磨涂層 或或dissipative 涂層涂層公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 防靜電采用標(biāo)識(shí)防靜電采用標(biāo)識(shí)Arial Narrow粗體,46磅底色:黃色Arial Narrow粗體,42磅35mm45mm180mm45mm粗黑體,42磅,黑色粗黑體,60磅,黑色底色:黃色35mm180mmESD15mm15mmArial粗體,12磅底色:黃色公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 問題點(diǎn)：?jiǎn)栴}點(diǎn)：1、如何判斷材料是否為防靜電材料？可以通過是否

12、儀器檢測(cè)出來？、如何判斷材料是否為防靜電材料？可以通過是否儀器檢測(cè)出來？2、如何消除絕緣體上的靜電壓？、如何消除絕緣體上的靜電壓？3、ESSD器件焊接到單板上后是否等效器件焊接到單板上后是否等效ESSD器件？器件？4、液體、粉末是否能產(chǎn)生靜電？、液體、粉末是否能產(chǎn)生靜電？5、常見的靜電敏感器件有哪些？、常見的靜電敏感器件有哪些？公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 目錄目錄靜電的危害及歷史靜電的危害及歷史靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電控制靜電控制常見的不符合常見的不符合ESD控制規(guī)范的實(shí)例控制規(guī)范的實(shí)例公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制- -技術(shù)依據(jù)技術(shù)依據(jù)公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)

13、禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制- -控制原則控制原則建立建立EPA區(qū)域區(qū)域在在EPA控制區(qū)域操作所有靜電敏感器件控制區(qū)域操作所有靜電敏感器件運(yùn)輸所有靜電敏感器件要用法拉第籠運(yùn)輸所有靜電敏感器件要用法拉第籠測(cè)試和監(jiān)控整個(gè)靜電控制流程測(cè)試和監(jiān)控整個(gè)靜電控制流程公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制EPAEPA基本要求基本要求區(qū)域明確定義和標(biāo)識(shí)區(qū)域明確定義和標(biāo)識(shí)定義區(qū)域的防護(hù)水平定義區(qū)域的防護(hù)水平對(duì)區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地對(duì)區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源運(yùn)用運(yùn)用12英寸原則英寸原則ESD防護(hù)體系文件的建立防護(hù)體系文

14、件的建立公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制- -識(shí)別識(shí)別供應(yīng)商供應(yīng)商管理人員管理人員設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)師采購采購庫房人員庫房人員測(cè)試和裝配人員測(cè)試和裝配人員運(yùn)輸人員運(yùn)輸人員用服用服市場(chǎng)市場(chǎng)顧客顧客產(chǎn)品設(shè)計(jì)產(chǎn)品設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)室供應(yīng)商供應(yīng)商IQC倉儲(chǔ)倉儲(chǔ)周轉(zhuǎn)車周轉(zhuǎn)車工具包工具包手動(dòng)和自動(dòng)插件手動(dòng)和自動(dòng)插件SMT波峰焊波峰焊裝配和測(cè)試裝配和測(cè)試維修工位維修工位理貨和包裝理貨和包裝用服用服公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制- -控制點(diǎn)控制點(diǎn)環(huán)境環(huán)境 個(gè)人個(gè)人 材料材料地板地板 個(gè)人物品個(gè)人物品 原材料原材料溫濕度溫濕度 工衣工衣 周轉(zhuǎn)材料周轉(zhuǎn)材料工作臺(tái)工作臺(tái) 工鞋工

15、鞋 包裝材料包裝材料工裝夾具工裝夾具 接地接地 另外建立完善的控制操作流程另外建立完善的控制操作流程公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制環(huán)境控制環(huán)境控制u 生產(chǎn)制造和維修區(qū)域?qū)儆陟o電高風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域（定義生產(chǎn)制造和維修區(qū)域?qū)儆陟o電高風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域（定義為一級(jí)為一級(jí)EPA）：）： 溫度：溫度：2028 相對(duì)濕度相對(duì)濕度(RH)：4575%注：一級(jí)注：一級(jí)EPA應(yīng)該使區(qū)域內(nèi)靜電壓控制在應(yīng)該使區(qū)域內(nèi)靜電壓控制在100V以下以下u 其它防靜電工作區(qū)環(huán)境的溫濕度一般要求：其它防靜電工作區(qū)環(huán)境的溫濕度一般要求： 溫度：溫度：2030 相對(duì)濕度相對(duì)濕度(RH)：3070%公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁

16、外泄 ESD ESD控制控制- -接地系統(tǒng)接地系統(tǒng) 接地是靜電瀉放的關(guān)鍵措施，接地是靜電瀉放的關(guān)鍵措施，EPA內(nèi)必須有獨(dú)立可靠的防靜電接內(nèi)必須有獨(dú)立可靠的防靜電接地系統(tǒng)，工作中產(chǎn)生的的靜電才能安全有效地瀉放，避免靜電的累積。地系統(tǒng)，工作中產(chǎn)生的的靜電才能安全有效地瀉放，避免靜電的累積。防靜電接地必須有一個(gè)安全可靠的防靜電接地母線（防靜電地線），所防靜電接地必須有一個(gè)安全可靠的防靜電接地母線（防靜電地線），所有人體、工作臺(tái)、臺(tái)墊、工具等以并聯(lián)的方式接入防靜電接地母線。有人體、工作臺(tái)、臺(tái)墊、工具等以并聯(lián)的方式接入防靜電接地母線。 EPA內(nèi)防靜電工作臺(tái)上的所有儀器、內(nèi)防靜電工作臺(tái)上的所有儀器、AC工

17、具、金屬體及等必須連接到公共工具、金屬體及等必須連接到公共接地點(diǎn)上，人體腕帶、防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊、導(dǎo)體和靜電耗散的材料防靜接地點(diǎn)上，人體腕帶、防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊、導(dǎo)體和靜電耗散的材料防靜電器具等需要串接電器具等需要串接1M電阻（或等效串接電阻（或等效串接1M的電阻）后連接到接地系統(tǒng)上的電阻）后連接到接地系統(tǒng)上 設(shè)施的接地線建議采用黃綠色或黃色線，連接點(diǎn)應(yīng)該采用螺釘、焊接、雙線設(shè)施的接地線建議采用黃綠色或黃色線，連接點(diǎn)應(yīng)該采用螺釘、焊接、雙線交繞的緊固連接方式，保證連接點(diǎn)連接可靠、接觸電阻小，禁止使用鱷魚夾、掛交繞的緊固連接方式，保證連接點(diǎn)連接可靠、接觸電阻小，禁止使用鱷魚夾、掛接等不可

18、靠的連接方式。接等不可靠的連接方式。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制接地方式接地方式 采用三相五線制供電系統(tǒng)中的地線，引入電源零線的同時(shí)，采用三相五線制供電系統(tǒng)中的地線，引入電源零線的同時(shí)，單獨(dú)引出大地地線作防靜電接地線，工程上稱為單獨(dú)引出大地地線作防靜電接地線，工程上稱為“一點(diǎn)引出電阻一點(diǎn)引出電阻隔離隔離”。電源主變電箱到大地的接地電阻應(yīng)小于。電源主變電箱到大地的接地電阻應(yīng)小于4。如圖所示：。如圖所示：相相相零地防 靜 電 崗 位( 接 地 線 )主 變 電 箱R ( 4 )公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制防靜電工作臺(tái)防靜電工作臺(tái)u 防靜電臺(tái)墊

19、的尺寸應(yīng)不小于工作臺(tái)面的大小。防靜電臺(tái)墊的尺寸應(yīng)不小于工作臺(tái)面的大小。u 當(dāng)防靜電臺(tái)墊上附著有絕緣性的油膜、樹脂和其他污物時(shí)，應(yīng)當(dāng)防靜電臺(tái)墊上附著有絕緣性的油膜、樹脂和其他污物時(shí)，應(yīng)及時(shí)使用中性清洗劑（酒精）或防靜電劑進(jìn)行清潔。及時(shí)使用中性清洗劑（酒精）或防靜電劑進(jìn)行清潔。u 多個(gè)防靜電工作臺(tái)的接地線不能相互串接，應(yīng)以并聯(lián)方式與公多個(gè)防靜電工作臺(tái)的接地線不能相互串接，應(yīng)以并聯(lián)方式與公共接地線連接，每塊臺(tái)墊（地墊）必須且只需接一根防靜電地線共接地線連接，每塊臺(tái)墊（地墊）必須且只需接一根防靜電地線u 壓接靜電地線聯(lián)接端子時(shí)應(yīng)從防靜電臺(tái)墊壓接靜電地線聯(lián)接端子時(shí)應(yīng)從防靜電臺(tái)墊/地墊的正面壓下，地墊的正

20、面壓下，使其穿過臺(tái)墊并緊固，以保證電接觸良好。使其穿過臺(tái)墊并緊固，以保證電接觸良好。u 防靜電臺(tái)墊均須正面（即防靜電面）朝上、背面（即導(dǎo)電面）防靜電臺(tái)墊均須正面（即防靜電面）朝上、背面（即導(dǎo)電面）朝下鋪設(shè)。朝下鋪設(shè)。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制防靜電工作臺(tái)防靜電工作臺(tái)表面電阻:1*1061*109對(duì)地電阻:7.5*1051*109表面電阻:1*1021*105耗散層耗散層接地接地導(dǎo)電層導(dǎo)電層公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制防靜電工作臺(tái)防靜電工作臺(tái)理想的防靜電工作臺(tái)可接受的防靜電工作臺(tái)公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制人員

21、控制人員控制 人體的運(yùn)動(dòng)和操作過程是產(chǎn)生靜電的主要根源，任何進(jìn)入防靜電區(qū)域人體的運(yùn)動(dòng)和操作過程是產(chǎn)生靜電的主要根源，任何進(jìn)入防靜電區(qū)域或接觸（包括直接和間接接觸）或接觸（包括直接和間接接觸）ESSD（靜電敏感器件）的人員，必須嚴(yán)（靜電敏感器件）的人員，必須嚴(yán)格遵循防靜電規(guī)范，貫徹執(zhí)行靜電防護(hù)措施。格遵循防靜電規(guī)范，貫徹執(zhí)行靜電防護(hù)措施。u 接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)和教育是對(duì)每位員工的基本要求，是減少靜電接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)和教育是對(duì)每位員工的基本要求，是減少靜電危害的根本方法和途徑之一危害的根本方法和途徑之一u 所有人員進(jìn)入所有人員進(jìn)入EPA前必須穿好防靜電工作服和防靜電工作鞋，已配發(fā)前必須穿好防靜電

22、工作服和防靜電工作鞋，已配發(fā)工作帽的還必須戴好工作帽工作帽的還必須戴好工作帽（將頭發(fā)盤繞到工帽內(nèi)，要求頭發(fā)不等外露）將頭發(fā)盤繞到工帽內(nèi)，要求頭發(fā)不等外露） 。無防靜電工作鞋的，必須穿防靜電拖鞋；工作服外部嚴(yán)禁攜帶除工卡和筆無防靜電工作鞋的，必須穿防靜電拖鞋；工作服外部嚴(yán)禁攜帶除工卡和筆之外的金屬物件和塑料物件；更換工作服應(yīng)在指定地點(diǎn)進(jìn)行，不允許在生之外的金屬物件和塑料物件；更換工作服應(yīng)在指定地點(diǎn)進(jìn)行，不允許在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)穿、脫工作服。產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)穿、脫工作服。u防靜電工作服、工作鞋等要勤洗勤換，建議洗換頻次防靜電工作服、工作鞋等要勤洗勤換，建議洗換頻次1次次/周，員工著周，員工著裝工衣、工鞋、工帽無破損

23、污穢現(xiàn)象。裝工衣、工鞋、工帽無破損污穢現(xiàn)象。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄u 進(jìn)入防靜電區(qū)域的所有作業(yè)人員、接觸產(chǎn)品的其他人員，每天上崗前應(yīng)進(jìn)入防靜電區(qū)域的所有作業(yè)人員、接觸產(chǎn)品的其他人員，每天上崗前應(yīng)使用腕帶測(cè)試儀對(duì)所配發(fā)的防靜電腕帶進(jìn)行測(cè)試，并做好測(cè)試記錄；進(jìn)入生使用腕帶測(cè)試儀對(duì)所配發(fā)的防靜電腕帶進(jìn)行測(cè)試，并做好測(cè)試記錄；進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)域前必須經(jīng)人體綜合電阻測(cè)試三輥閘機(jī)產(chǎn)區(qū)域前必須經(jīng)人體綜合電阻測(cè)試三輥閘機(jī) ESD ESD控制控制人員控制人員控制公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制人員控制人員控制u接觸接觸ESSD及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶插入香焦插孔中，及組

24、件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶插入香焦插孔中，要保證腕帶與皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護(hù)膚油、防凍油等要保證腕帶與皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護(hù)膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。絕緣物質(zhì)。u工服外部嚴(yán)禁攜帶除工卡和筆之外的金屬物件，防靜電鞋內(nèi)不得墊鞋墊。工服外部嚴(yán)禁攜帶除工卡和筆之外的金屬物件，防靜電鞋內(nèi)不得墊鞋墊。u防靜電手套或棉質(zhì)手套較臟時(shí)應(yīng)及時(shí)清洗干凈，通常情況下手套使用防靜電手套或棉質(zhì)手套較臟時(shí)應(yīng)及時(shí)清洗干凈，通常情況下手套使用期限為一周，在污損較少的場(chǎng)合最長使用期限不超過半個(gè)月，逾期一律期限為一周，在污損較少的場(chǎng)合最長使用期限不超過半個(gè)月，逾期一律以舊換新。以舊換新。公司機(jī)

25、密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制人員控制人員控制每日上班每日上班ESD自查十步自查十步1、測(cè)試腕帶和人體電阻并做記錄。、測(cè)試腕帶和人體電阻并做記錄。2、視查工作區(qū)所有、視查工作區(qū)所有ESD敏感器件、單板都放置在防靜電周轉(zhuǎn)工具或包裝中。敏感器件、單板都放置在防靜電周轉(zhuǎn)工具或包裝中。3、確定工作區(qū)內(nèi)防靜電周轉(zhuǎn)工具或包裝中沒有靜電源。、確定工作區(qū)內(nèi)防靜電周轉(zhuǎn)工具或包裝中沒有靜電源。4、確認(rèn)工作區(qū)域內(nèi)所有防靜電工具都有、確認(rèn)工作區(qū)域內(nèi)所有防靜電工具都有ESD標(biāo)識(shí)。標(biāo)識(shí)。5、確認(rèn)工作區(qū)內(nèi)的靜電源例如：非防靜電塑料袋、非防靜電泡膜、橡膠等遠(yuǎn)、確認(rèn)工作區(qū)內(nèi)的

26、靜電源例如：非防靜電塑料袋、非防靜電泡膜、橡膠等遠(yuǎn)離離ESD敏感器件和敏感單板（至少敏感器件和敏感單板（至少30CM）。）。6、確認(rèn)你的工作臺(tái)的臺(tái)墊為防靜電臺(tái)墊，工具為防靜電工具。、確認(rèn)你的工作臺(tái)的臺(tái)墊為防靜電臺(tái)墊，工具為防靜電工具。7、確認(rèn)在你的工作臺(tái)上的清潔用品、溶劑、噴霧器等工具已被、確認(rèn)在你的工作臺(tái)上的清潔用品、溶劑、噴霧器等工具已被EPA區(qū)域責(zé)任區(qū)域責(zé)任人確認(rèn)可以使用。人確認(rèn)可以使用。8、確認(rèn)你的工作區(qū)域內(nèi)的工作臺(tái)、設(shè)備和儀器安全、可靠接地，尤其對(duì)那些、確認(rèn)你的工作區(qū)域內(nèi)的工作臺(tái)、設(shè)備和儀器安全、可靠接地，尤其對(duì)那些經(jīng)常移動(dòng)的設(shè)備要特別注意。經(jīng)常移動(dòng)的設(shè)備要特別注意。9、不允許人體電

27、阻沒通過測(cè)試的人員進(jìn)入、不允許人體電阻沒通過測(cè)試的人員進(jìn)入EPA控制區(qū)域。在操作控制區(qū)域。在操作ESD敏感器敏感器件和單板時(shí)必須帶防靜電腕帶件和單板時(shí)必須帶防靜電腕帶 。10、如果你的工作臺(tái)裝了離子風(fēng)機(jī)，在工作時(shí)應(yīng)打開，并保證其位置正確。、如果你的工作臺(tái)裝了離子風(fēng)機(jī)，在工作時(shí)應(yīng)打開，并保證其位置正確。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄ESD控制控制人員控制方式人員控制方式拿板手式放板手式離子風(fēng)扇公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制設(shè)備設(shè)備/ /儀器儀器/ /工具工具/ /工裝工裝 防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工具、工裝都應(yīng)實(shí)施靜電防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工具、工裝

28、都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，例如接觸或靠近靜電敏感器件（防護(hù)措施，例如接觸或靠近靜電敏感器件（ESSD）的部分應(yīng)盡可）的部分應(yīng)盡可能使用防靜電材料，能使用防靜電材料，對(duì)特殊情況下不可避免須使用對(duì)特殊情況下不可避免須使用非防靜電材料非防靜電材料（表面電阻（表面電阻RS1.01011）時(shí)應(yīng)采用靜電中和（離子風(fēng)機(jī)）或定時(shí)應(yīng)采用靜電中和（離子風(fēng)機(jī)）或定期涂抹抗靜電劑、涂層等其他防護(hù)措施，有效地消除、抑制或泄期涂抹抗靜電劑、涂層等其他防護(hù)措施，有效地消除、抑制或泄放靜電放靜電 使用高壓電源具有金屬外殼的設(shè)備、儀器、工裝、工具必須選用使用高壓電源具有金屬外殼的設(shè)備、儀器、工裝、工具必須選用三芯電源插座，并確保其

29、已可靠連接到保護(hù)地線上，以使其配接時(shí)三芯電源插座，并確保其已可靠連接到保護(hù)地線上，以使其配接時(shí)設(shè)備、儀器、工裝、工具的金屬外殼能夠自動(dòng)接保護(hù)地。設(shè)備、儀器、工裝、工具的金屬外殼能夠自動(dòng)接保護(hù)地。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制設(shè)備設(shè)備u 設(shè)備上的臺(tái)面根據(jù)實(shí)際需要可以鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊并進(jìn)行軟接設(shè)備上的臺(tái)面根據(jù)實(shí)際需要可以鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊并進(jìn)行軟接地，但是臺(tái)墊的鋪設(shè)不得影響設(shè)備的正常運(yùn)行或帶來其他危害地，但是臺(tái)墊的鋪設(shè)不得影響設(shè)備的正常運(yùn)行或帶來其他危害u 落地設(shè)備如落地設(shè)備如SMT、波峰焊機(jī)、流水線等，臺(tái)式設(shè)備如元、波峰焊機(jī)、流水線等，臺(tái)式設(shè)備如元器件成型機(jī)等都應(yīng)直接與電氣保

30、護(hù)地線相連。器件成型機(jī)等都應(yīng)直接與電氣保護(hù)地線相連。u 設(shè)備上接觸設(shè)備上接觸ESSD的部件和靠近的部件和靠近ESSD的運(yùn)動(dòng)摩擦部件必須的運(yùn)動(dòng)摩擦部件必須采用防靜電材料或?qū)w材料制作，并保證這些部件具有可靠的接采用防靜電材料或?qū)w材料制作，并保證這些部件具有可靠的接地通路，這些部件禁止使用非防靜電材料。設(shè)備上的導(dǎo)體部件必地通路，這些部件禁止使用非防靜電材料。設(shè)備上的導(dǎo)體部件必須采用硬接地。須采用硬接地。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制儀器儀器 防靜電區(qū)域內(nèi)使用的測(cè)試儀器應(yīng)具有防靜電性能，儀器的電源防靜電區(qū)域內(nèi)使用的測(cè)試儀器應(yīng)具有防靜電性能，儀器的電源線必須具有電氣保護(hù)地線

31、并通過插座與電氣保護(hù)地連接，儀器的外線必須具有電氣保護(hù)地線并通過插座與電氣保護(hù)地連接，儀器的外殼需要采用導(dǎo)線與電氣保護(hù)地直接連接，實(shí)施加強(qiáng)接地措施。殼需要采用導(dǎo)線與電氣保護(hù)地直接連接，實(shí)施加強(qiáng)接地措施。 測(cè)試儀器系統(tǒng)必須具有公共接地點(diǎn)，并且并聯(lián)接地（禁止串連測(cè)試儀器系統(tǒng)必須具有公共接地點(diǎn)，并且并聯(lián)接地（禁止串連接地）保證儀器等電位接地。接地）保證儀器等電位接地。 公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制工具工具u 清潔單板和產(chǎn)品的毛刷必須使用防靜電毛刷，材料的電阻滿足清潔單板和產(chǎn)品的毛刷必須使用防靜電毛刷，材料的電阻滿足1.0104R1.0 1011，摩擦電壓小于，摩擦電壓小于

32、100V或靜電電壓耗散到或靜電電壓耗散到100V以下的時(shí)間小于以下的時(shí)間小于2秒。禁止使用普通塑料毛刷。清洗時(shí)應(yīng)帶好防靜秒。禁止使用普通塑料毛刷。清洗時(shí)應(yīng)帶好防靜電腕帶。電腕帶。u 防靜電烙鐵、防靜電真空吸錫器等電動(dòng)、氣動(dòng)手工工具在使用前防靜電烙鐵、防靜電真空吸錫器等電動(dòng)、氣動(dòng)手工工具在使用前應(yīng)首先接地。防靜電烙鐵的金屬外殼應(yīng)接保護(hù)地，烙鐵頭必須具有硬應(yīng)首先接地。防靜電烙鐵的金屬外殼應(yīng)接保護(hù)地，烙鐵頭必須具有硬接地通路，烙鐵頭的接地電阻要求接地通路，烙鐵頭的接地電阻要求1.0，由于烙鐵頭的高溫氧化問，由于烙鐵頭的高溫氧化問題，日常檢查測(cè)試時(shí)烙鐵頭接地電阻題，日常檢查測(cè)試時(shí)烙鐵頭接地電阻20可以

33、接受。可以接受。u工具上需要接觸工具上需要接觸ESSD的部分應(yīng)避免使用導(dǎo)體和絕緣材料，接觸靜電的部分應(yīng)避免使用導(dǎo)體和絕緣材料，接觸靜電敏感元件的工具如敏感元件的工具如IC起拔器、鑷子、吸錫器等必須是不易產(chǎn)生靜電、易起拔器、鑷子、吸錫器等必須是不易產(chǎn)生靜電、易于瀉放靜電的防靜電材料，如果由于特殊原因選取了非防靜電材料，使于瀉放靜電的防靜電材料，如果由于特殊原因選取了非防靜電材料，使用時(shí)應(yīng)進(jìn)行靜電中和處理。用時(shí)應(yīng)進(jìn)行靜電中和處理。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制包裝包裝 注意：注意：u包裝單板時(shí)屏蔽袋在寬度滿足單板的要求下，長度要比單板長至少包裝單板時(shí)屏蔽袋在寬度滿足單板的

34、要求下，長度要比單板長至少10cm。u嚴(yán)禁直接用手接觸嚴(yán)禁直接用手接觸IC，特別是其引腳。用手接觸，特別是其引腳。用手接觸IC須戴防靜電手套或指套。須戴防靜電手套或指套。單板包裝的主要方式有：?jiǎn)伟灏b的主要方式有：A、防靜電屏蔽袋、防靜電屏蔽袋+粉紅色氣珠袋粉紅色氣珠袋 原則是：屏蔽袋在寬度滿足單板的要求下，原則是：屏蔽袋在寬度滿足單板的要求下，長度要比單板長至少長度要比單板長至少10cm。 B、吸塑盒、吸塑盒+防靜電填充材料（防靜電氣泡帶、防靜電泡沫（可選）防靜電填充材料（防靜電氣泡帶、防靜電泡沫（可選）+紙箱紙箱靜電敏感器件和單板的周轉(zhuǎn)包裝材料應(yīng)是防靜電材料，主要的周靜電敏感器件和單板的周

35、轉(zhuǎn)包裝材料應(yīng)是防靜電材料，主要的周轉(zhuǎn)包裝有防靜電屏蔽袋、防靜電袋、吸塑盒、防靜電器件盒、防轉(zhuǎn)包裝有防靜電屏蔽袋、防靜電袋、吸塑盒、防靜電器件盒、防靜電泡沫、防靜電箱靜電泡沫、防靜電箱 、防靜電周轉(zhuǎn)車。、防靜電周轉(zhuǎn)車。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制包裝操作包裝操作 進(jìn)行包裝操作之前應(yīng)檢查是否已采取必要的防靜電措施，進(jìn)行包裝操作之前應(yīng)檢查是否已采取必要的防靜電措施，如穿防靜電工作服、防靜電鞋，戴防靜電腕帶或防靜電手套、如穿防靜電工作服、防靜電鞋，戴防靜電腕帶或防靜電手套、指套等。指套等。屏蔽袋（吸塑盒）操作指引屏蔽袋（吸塑盒）操作指引u檢查防靜電屏蔽袋內(nèi)外層及隔震外套（氣

36、泡袋）是否完好無損；檢查防靜電屏蔽袋內(nèi)外層及隔震外套（氣泡袋）是否完好無損；u 將靜電敏感器件或組件放入指定規(guī)格的屏蔽袋（吸塑盒）中；將靜電敏感器件或組件放入指定規(guī)格的屏蔽袋（吸塑盒）中；u如要轉(zhuǎn)運(yùn)，須使用防靜電膠帶將屏蔽袋口封上，吸塑盒需將其嚙合處扣如要轉(zhuǎn)運(yùn)，須使用防靜電膠帶將屏蔽袋口封上，吸塑盒需將其嚙合處扣緊。緊。 注意：注意：A. 防靜電屏蔽袋若無嚴(yán)重破損，應(yīng)回收供循環(huán)使用防靜電屏蔽袋若無嚴(yán)重破損，應(yīng)回收供循環(huán)使用B. 防靜電袋屏蔽層若出現(xiàn)較嚴(yán)重破損，如穿孔、破裂、復(fù)合層分離等，則防靜電袋屏蔽層若出現(xiàn)較嚴(yán)重破損，如穿孔、破裂、復(fù)合層分離等，則應(yīng)停止循環(huán)使用，作報(bào)廢處理。應(yīng)停止循環(huán)使用，

37、作報(bào)廢處理。C. 每個(gè)防靜電屏蔽袋原則上只能裝一塊單板組件，特殊情況下需同時(shí)裝多每個(gè)防靜電屏蔽袋原則上只能裝一塊單板組件，特殊情況下需同時(shí)裝多塊小板時(shí)必須用內(nèi)袋層或其它防靜電材料相互隔開，不得直接接觸混放。塊小板時(shí)必須用內(nèi)袋層或其它防靜電材料相互隔開，不得直接接觸混放。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制存儲(chǔ)存儲(chǔ)/ /周轉(zhuǎn)周轉(zhuǎn)/ /運(yùn)輸運(yùn)輸u 靜電敏感器件及其組件在存儲(chǔ)、周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸過程中都必須采用防靜電包裝，即靜電敏感器件及其組件在存儲(chǔ)、周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸過程中都必須采用防靜電包裝，即采用法拉第籠的包裝形式，避免器件受到靜電損傷。在存儲(chǔ)、周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸過程中都采用法拉第籠的包裝形式，避

38、免器件受到靜電損傷。在存儲(chǔ)、周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸過程中都不得對(duì)不得對(duì)ESSD進(jìn)行拆包等直接操作，只能在進(jìn)行拆包等直接操作，只能在EPA內(nèi)的防靜電工作環(huán)境中進(jìn)行對(duì)內(nèi)的防靜電工作環(huán)境中進(jìn)行對(duì)ESSD的直接操作。的直接操作。u 靜電敏感器件在周轉(zhuǎn)過程中，勿靠近強(qiáng)靜電、強(qiáng)電場(chǎng)、磁場(chǎng)或輻射場(chǎng)，如電腦靜電敏感器件在周轉(zhuǎn)過程中，勿靠近強(qiáng)靜電、強(qiáng)電場(chǎng)、磁場(chǎng)或輻射場(chǎng)，如電腦顯示器上方等。顯示器上方等。u 禁止使用拉伸膜、普通粘膠帶等易產(chǎn)生高壓靜電的絕緣材料包裹靜電敏感器件禁止使用拉伸膜、普通粘膠帶等易產(chǎn)生高壓靜電的絕緣材料包裹靜電敏感器件及其組件。必要時(shí)請(qǐng)選擇或設(shè)計(jì)其它不易產(chǎn)生靜電的輔助工具或材料用于這些物料及其組件。必

39、要時(shí)請(qǐng)選擇或設(shè)計(jì)其它不易產(chǎn)生靜電的輔助工具或材料用于這些物料的防倒等。的防倒等。 u 任何時(shí)候都不得將靜電敏感器件及其組件堆疊裸放在一起存放和周轉(zhuǎn)。任何時(shí)候都不得將靜電敏感器件及其組件堆疊裸放在一起存放和周轉(zhuǎn)。u 轉(zhuǎn)運(yùn)靜電敏感器件及其組件應(yīng)輕拿輕放，嚴(yán)禁摔打、碰撞、劇烈摩擦或跌落轉(zhuǎn)運(yùn)靜電敏感器件及其組件應(yīng)輕拿輕放，嚴(yán)禁摔打、碰撞、劇烈摩擦或跌落公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 ESD ESD控制控制存儲(chǔ)存儲(chǔ)/ /周轉(zhuǎn)周轉(zhuǎn)/ /運(yùn)輸運(yùn)輸u靜電敏感器件及其組件不得直接放置于貨架或不具防靜電功能的周轉(zhuǎn)箱內(nèi)靜電敏感器件及其組件不得直接放置于貨架或不具防靜電功能的周轉(zhuǎn)箱內(nèi)或周轉(zhuǎn)車上，應(yīng)通過防靜電袋或防靜

40、電周轉(zhuǎn)箱儲(chǔ)放。或周轉(zhuǎn)車上，應(yīng)通過防靜電袋或防靜電周轉(zhuǎn)箱儲(chǔ)放。u靜電敏感器件盡量保持原包裝狀態(tài)，嚴(yán)禁隨意拆封。靜電敏感器件盡量保持原包裝狀態(tài)，嚴(yán)禁隨意拆封。u用于靜電敏感器件散裝清點(diǎn)和發(fā)料的工作臺(tái)必須鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，并可靠用于靜電敏感器件散裝清點(diǎn)和發(fā)料的工作臺(tái)必須鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，并可靠接地。操作人員應(yīng)佩帶防靜電手套、指套或?qū)⒂欣K防靜電腕帶接入防靜電接接地。操作人員應(yīng)佩帶防靜電手套、指套或?qū)⒂欣K防靜電腕帶接入防靜電接地系統(tǒng)。地系統(tǒng)。u保持周轉(zhuǎn)工具干凈。如果有明顯灰塵或污漬，請(qǐng)用中性清洗劑清洗；周轉(zhuǎn)保持周轉(zhuǎn)工具干凈。如果有明顯灰塵或污漬，請(qǐng)用中性清洗劑清洗；周轉(zhuǎn)車底部金屬架應(yīng)焊接一根金屬鏈條，鏈條須

41、能自然下垂，確保能可靠觸地。車底部金屬架應(yīng)焊接一根金屬鏈條，鏈條須能自然下垂，確保能可靠觸地。u在兩個(gè)包裝容器之間傳遞在兩個(gè)包裝容器之間傳遞IC類靜電敏感器件時(shí)，宜直接將防靜電容器對(duì)接類靜電敏感器件時(shí)，宜直接將防靜電容器對(duì)接進(jìn)行，如將管裝進(jìn)行，如將管裝IC直接伸入防靜電屏蔽袋中再將直接伸入防靜電屏蔽袋中再將IC倒出倒出或者或者兩個(gè)兩個(gè)IC管對(duì)接傳管對(duì)接傳遞等，遞等，避免用手接觸靜電敏感器件，戴有防靜電手套或指套時(shí)也應(yīng)盡量減少避免用手接觸靜電敏感器件，戴有防靜電手套或指套時(shí)也應(yīng)盡量減少直接觸摸靜電敏感器件的次數(shù)。直接觸摸靜電敏感器件的次數(shù)。公司機(jī)密公司機(jī)密嚴(yán)嚴(yán)禁外泄禁外泄 目錄目錄靜電的危害及歷史靜電的危害及歷史靜電基礎(chǔ)知識(shí)