1、四川信息職業技術學院電子制造技術基礎課程標準課程代碼： 0231123 課程類別： 專業方向課 課程屬性： 限選課 學分/學時： 3學分/48學時 制 訂 人： 王志強 審 訂 人： 王 萍 適用專業： 微電子技術 四川信息職業技術學院電子工程系2011年8月10日一、制訂課程標準的依據本課程標準依據中華人民共和國高等教育法和中華人民共和國職業教育法專科教育應當使學生掌握本專業必備的基礎理論、專門知識，具有從事本專業實際工作的基本技能和初步能力、教高20002號關于加強高職高專教育人才培養工作的意見精神以及四川信息職業技術學院微電子技術專業人才培養方案對課程的要求而制定。二、課程的性質電子制造

2、技術基礎課程是微電子技術專業人才培養方案中專業方向課下的職業綜合能力模塊課程之一，是該專業的一門限選課。三、本課程與其它課程的關系本課程是微電子技術專業的一門專業介紹性課程，主要介紹電子產品和電子系統的制造過程。通過該課程的學習，加強學生對微電子技術專業的總體認識，為后續集成電路制造工藝、芯片封裝技術、電子組裝技術等專業課程打下良好的基礎。先修課程主要有工程制圖與電氣制圖、電子工藝等。四、課程的教育目標知識目標1了解集成電路制造相關工藝步驟2了解常用的芯片封裝技術；3了解無源元件的制造技術4了解電子組裝技術5了解封裝材料及封裝基板技術6了解電子制造常用設備素質目標1具備良好的學習態度和責任心。

3、2培養學生的溝通能力及團隊協作精神。3. 培養學生勇于創新、敬業樂業的工作作風。4. 具有認識自身發展的重要性以及確立自身繼續發展目標的能力。五、課程的教學內容與建議學時（48學時）序號章節（項目）名稱學時教學形式備注1電子制造技術概述2講授2集成電路基礎6講授3半導體制造8講授4芯片封裝工藝流程4講授5元器件封裝形式及材料6講授6光電器件制造與封裝4講授7太陽能光伏技術2講授8印制電路板技術4講授9電子組裝技術10講授10復習2講授六、課程教學設計指導框架章節(項目)名稱教學目標學習與訓練內容學時建議教學方法手段與資源利用建議教學環境說明考核評價電子制造技術概述1 了解電子制造基本概念2 了

4、解電子制造技術的發展3 了解電子制造過程分級1 電子制造技術概述2 電子制造過程2講授為主多媒體教學本課程旨在加深學生對微電子技術專業的認識，為后續專業課的學習打下基礎。平時成績和期末考試各占50%，期末考試可筆試或完成一篇論文。集成電路基礎1 了解集成電路器件結構2 了解半導體材料1 半導體基礎物理2 半導體材料基礎3 集成電路原理6講授為主多媒體教學半導體制造1了解半導體制造單項工藝2了解半導體制造環境1半導體制造單項工藝2半導體制造超凈環境8講授為主多媒體教學芯片封裝工藝流程1 了解封裝概念2 了解WB、TAB、FC等封裝技術1.WB/TAB/FC4講授為主多媒體教學元器件封裝形式及材料

5、1 了解元器件封裝形式2 了解封裝材料1 常見封裝形式2 封裝材料6講授為主多媒體教學光電器件制造、封裝1.了解LCD、PDP、LED等平板顯示技術1.LCD/PDP/LED4講授為主多媒體教學太陽能光伏技術1.了解太陽能光伏技術1 光伏材料2 電池制造工藝及封裝3 光伏陣列2講授為主多媒體教學印制電路板技術1.了解印制電路板制造工藝及材料1 PCB基板材料2 PCB制作工藝4講授為主多媒體教學電子組裝技術1.了解SMT的工藝流程1 SMT概述2 印刷技術與貼片技術3 焊接技術與測試技術10講授為主多媒體教學七、教學基本條件1.對教師的基本要求教師應為電類相關專業本科以上學歷，從事過相關課程的

6、教學或實訓教學工作，具有較強的語言表達能力及職業教學方法的能力。2.教學硬件環境基本要求序號項目課程內容設備名稱參考技術要求數量1環境整潔的教室（多媒體教室）電子制造技術概論教學教材及自編講義或PPT課件及多媒體配套設備3.教學資源基本要求（1）具有內容豐富，思路清晰的自編講義；（2）充分利用圖書資源，為學生提供完備的參考書籍。教師應為學生指明參考書，強化針對性學習。4.學生基礎（1）要求報考本專業的學生高考成績總分在300分左右。（2）有較強的分析問題解決問題的能力，對電子制造有一定的興趣和愛好更好。八、其他說明1.在教學過程中，應注意以學生的技術應用能力和綜合素質的培養為主線，以應用為目的

7、，理論教學以“必須、夠用、實用”為度，以講清概念為重點，盡可能避免繁瑣的數學公式推導和大篇幅的理論分析，注重培養學生的創新精神和實踐能力。2.通過實例、多媒體教學等手段，加強學生對電子制造的感性認識，提高學生的理解能力，增強學生對本課程的學習興趣。集成電路制造工藝課程標準課程代碼： 0231124 課程類別： 專業方向課 課程屬性： 限選課 學分/學時： 4學分/64學時 制 訂 人： 王志強 審 訂 人： 王 萍 適用專業： 微電子技術 四川信息職業技術學院電子工程系2011年8月10日一、制訂課程標準的依據本課程標準依據中華人民共和國高等教育法和中華人民共和國職業教育法專科教育應當使學生掌

8、握本專業必備的基礎理論、專門知識，具有從事本專業實際工作的基本技能和初步能力、教高20002號關于加強高職高專教育人才培養工作的意見精神以及四川信息職業技術學院微電子技術專業人才培養方案對課程的要求而制定。二、課程的性質集成電路制造工藝課程是微電子技術專業的一門必修的專業核心課。培養具有各種電子材料、元器件、集成電路的制造工藝技能的高級工程應用型技術人才。三、本課程與其它課程的關系本課程與電子制造技術概論、半導體器件、芯片封裝技術、電子組裝技術、等有著緊密的聯系，是一門理論和實際工藝緊密結合的課程，是學生學習、研究集成電路制造工藝、流程及生產的一門學科。通過該課程的學習，培養、提高學生在集成電

9、路制造中的實際生產能力，為學習后續專業課程準備必要的知識，并為從事集成電路生產奠定必要的基礎。四、課程的教育目標知識目標1、了解微電子產業的發展、現狀及趨勢；2、理解硅晶圓片制造工藝、工廠制造環境、硅片質量檢測；3、掌握集成電路制造工藝基本概念、工藝步驟和相應的制造工藝技術。能力目標1、具有半導體制造設備管理、運行、維護能力。2、具有硅片生產工藝監控、質量測試能力。3、具有集成電路芯片制造的工藝能力。素質目標1具備良好的學習態度、高度的工作責任心和吃苦耐勞精神。2培養學生的溝通能力及團隊協作精神。3. 培養學生求真務實、嚴謹細致的工作作風。4. 培養學生學習新知識新技能、勇于開拓和創新的科學態

10、度。五、課程的教學內容與建議學時（72學時）序號章節（項目）名稱學時教學形式備注1微電子產業概論2PPT理論講解2硅晶圓片制造技術4PPT理論講解3制造工藝中的化學品2PPT理論講解4工廠環境及玷污控制2PPT理論講解5硅片的質量測試與缺陷檢查2PPT理論講解6集成電路芯片制造工藝概述2PPT理論講解7氧化技術6PPT理論講解8擴散技術6PPT理論講解9光刻技術6PPT理論講解10刻蝕6PPT理論講解11離子注入6PPT理論講解12化學氣相淀積CVD2PPT理論講解13金屬化2PPT理論講解14表面鈍化2PPT理論講解15電學隔離技術2PPT理論講解16集成電路制造工藝流程2PPT理論講解17

11、空的獲得與設備2PPT理論講解18習題課、現場教學8六、課程教學設計指導框架章節(項目)名稱教學目標學習與訓練內容學時建議教學方法手段與資源利用建議教學環境說明考核評價微電子產業概論知識目標：1、 掌握硅片、芯片基本概念；2、了解微電子產業歷史、現狀； 集成電路制造業的職業。能力目標：1、 掌握硅片、芯片基本概念；2、掌握本課程的學習方法和基本要求。1、本課的研究方向及內容、性質、任務和基本要求；2、本課程的教學目標、教學方法和考核方式；3、微電子產業歷史和現狀；4、單晶硅材料；5、硅晶集成電路制造；6、硅片制造長；7、集成電路產品；8、未來挑戰與展望；9、集成電路制造業中的職業。2教學方法：

12、講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）根據師生互動及輔導答疑了解學生學習情況硅晶圓片制造技術知識目標：1、掌握硅材料的特性，冶金級硅、半導體級硅的劃分、單晶生長設備； 2、理解單晶生長理論；3、了解單晶硅材料。能力目標：掌握冶金級硅、半導體級硅。念并區分。1、硅材料；2、單晶硅材料；3、晶圓加工成形；4、300mm晶圓現狀及趨勢。4教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評

13、價。制造工藝中的化學品知識目標：1、掌握常用工藝用化學品；2、了解物質形態、材料的屬性。能力目標：掌握常用工藝用化學品。1、物質形態；2、材料屬性；3、工藝用化學品；2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。工廠環境及玷污控制知識目標：1、掌握玷污的類型、RCA清洗方法；2、玷污與控制；3、了解工廠生產環境。能力目標：掌握玷污的類型、硅片濕法清洗。1、玷污的類型；2、玷污與控制；3、硅片濕法清洗。2教學方法：講解法

14、自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。硅片的質量測試與缺陷檢知識目標：1、理解理解質量測量；2、掌握常用分析設備；3、了解了解集成電路測量學。能力目標：掌握常用分析設備。1、集成電路測量學；2、質量測量；3、分析設備。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性

15、考核評價。集成電路芯片制造工藝概述知識目標：1、了解國內半導體工藝技術現狀；2、掌握制造工藝在集成電路中的作用、集成電路芯片工藝基本技術。能力目標：掌握制造工藝在集成電路中的作用、集成電路芯片工藝基本技術。1、 集成電路概述；2、制造工藝在集成電路中的作用；3、國內半導體工藝技術現狀；4、集成電路芯片工藝基本技術。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。氧化技術知識目標：1、了解熱氧化生長動力學；2、理解決定氧化

16、速率的各種因素、熱氧化過程中的雜質再分布；3、掌握Si02、性質、用途、熱氧化方法。能力目標：1掌握Si02、性質、用途、熱氧化方法。1、Si02的結構、性質、用途；2、Si02掩蔽作用；3、熱氧化；4、熱氧化生長動力學；5、決定氧化速率的各種因素；6、熱氧化過程中的雜質再分布。6教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。擴散技術知識目標：1、 理解擴散原理、雜質濃度分布機理；2、 掌握擴散類型、常用雜質的擴散方法、

17、結深與方塊電阻的測量。能力目標：掌握擴散類型、常用雜質的擴散方法、結深與方塊電阻的測量。1、擴散機構；2、雜質濃度分布；3、常用雜質的擴散方法；4、結深與方塊電阻的測量。6教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。光刻技術知識目標：1、理解光刻膠性能、光刻技術；2、掌握光刻膠種類。能力目標：掌握光刻膠種類。1、 概述；2、光刻膠及特性；3、光刻技術。6教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體

18、教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。刻蝕 知識目標：1、了解反應離子刻蝕與離子束刻蝕；2、理解VLSI對圖形轉移的要求和刻蝕方法；3、掌握等離子刻蝕。能力目標：掌握等離子刻蝕。1、VLSI對圖形轉移的要求和刻蝕方法；2、等離子刻蝕；3、反應離子刻蝕與離子束刻蝕。6教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核

19、評價。離子注入 知識目標：1、理解注入離子的濃度分布與退火；2、掌握離子注入設備、離子注入的特點與應用。能力目標：掌握離子注入設備、離子注入的特點與應用。1、離子注入設備；2、注入離子的濃度分布與退火；3、離子注入的特點與應用。6教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。化學氣相淀積CVD知識目標：1、理解CVD化學過程、生長動力學、CVD淀積系統；2、掌握化學氣相淀積概念、薄膜分類。能力目標：掌握化學氣相淀積概念、

20、薄膜分類。1、 CVD化學過程及薄膜分類；2、生長動力學；3、CVD淀積系統。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。金屬化知識目標：1、理解金屬化工藝作用；2、掌握金屬化薄膜的制備方法及金屬化互連技術。能力目標：掌握金屬化薄膜的制備方法及金屬化互連技術。1、 概述；2、金屬化薄膜制備；3、金屬化互連技術。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習

21、能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。表面鈍化知識目標：1、理解SI-SI02系統結構及作用、鈍化膜結構；2、掌握鈍化方法。能力目標：掌握鈍化方法。1、 概述；2、SI-SI02系統；3、鈍化方法；4、鈍化膜結構。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。電學隔離技術知識目標：1、了解電阻結構、電容結構、接觸控、通控、連線；2、理解雙極性

22、三極管結構、MOS場效應管結構；3、掌握二極管結構。能力目標：掌握二極管結構。1、 二極管結構；2、雙極性三極管結構；3、MOS場效應管結構結構；4、電阻結構；5、電容結構；6、接觸控、通控、連線。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。集成電路制造工藝流程知識目標：1、理解集成電路制造工藝流程；2、掌握二極管在實驗室中的制作過程。能力目標：掌握二極管在實驗室中的制作過程。1、 典型雙極性集成電路工藝；2、CMO

23、S集成電路工藝。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。真空的獲得與設備知識目標：1、理解真空、真空泵；2、掌握殘氣分析器、工藝腔的玷污類型。能力目標：掌握殘氣分析器、工藝腔的玷污類型。1、真空；2、真空泵；3、工藝腔內的氣流；4、殘氣分析器；5、等離子體；6、工藝腔的玷污。2教學方法：講解法自主學習法資源利用：自編講義、課件、網絡資源多媒體教室（黑板、課件、動畫、視頻）將自主學習能力、基礎知識的運用能力、問題分

24、析能力等納入過程考核，具體可根據課堂提問、輔導答疑和作業完成情況進行階段性考核評價。七、考核方式、方法1.考核方式 本課程考核采用形成性考核和期末考試相結合的方式。形成性考核指平時作業、課堂考勤、課堂討論和期中考試等，占學期總成績的30；期末考試占學期總成績的70。2考核方法本課程的理論考核采用開卷考試的考核方法。八、教學基本條件1.對教師的基本要求教師應為電類相關專業本科以上學歷，從事過相關課程的教學或實訓教學工作，具有較強的語言表達能力及職業教學方法的能力。2.教學硬件環境基本要求環境整潔的多媒體教室及其多媒體配套設備。3.教學資源基本要求（1）具有內容豐富，思路清晰的自編講義；（2）完善

25、的網絡教學資源，如學院的網絡課程中包含相應的計劃、詳細講義、PPT課件、課程動畫媒體庫、在線練習及課程BBS方便教師與學生的教學溝通。（3）豐富的圖書資源，為學生提供完備的參考書籍。教師應為學生指明參考書，強化針對性學習。4.學生基礎（1）要求本專業的學生具有較好的電子技術基礎知識、基本技能。（2）有一定的邏輯思維能力，有較強的分析問題和解決問題能力，對電子技術相關知識有一定的興趣和愛好。九、其他說明（根據課程性質決定內容有否以及多少）1教學基本要求所規定的內容分為三個層次：掌握：不僅要求理解概念和原理，而且要求具備應用能力。理解：要求透徹領會概念和原理。了解：只要求對基本概念有所了解。2作業

26、要求：習題是本課程的重要教學環節，學生可通過一定量的習題鞏固和加深對課程內容的理解，同時也培養學生分析問題解決問題的技能。因此，建議在授課過程中盡可能多講習題、多做練習。四川信息職業技術學院微電子技術專業英語課程標準課程代碼： 0231034 課程類別： 專業方向課 課程屬性： 限選課 學分/學時： 2學分/32學時 制 訂 人： 王志強 審 訂 人： 王 萍 適用專業： 微電子技術 四川信息職業技術學院電子工程系2011年8月10日一、制訂課程標準的依據本課程標準依據中華人民共和國高等教育法和中華人民共和國職業教育法專科教育應當使學生掌握本專業必備的基礎理論、專門知識，具有從事本專業實際工作

27、的基本技能和初步能力、教高20002號關于加強高職高專教育人才培養工作的意見精神以及四川信息職業技術學院微電子技術專業人才培養方案對課程的要求而制定。二、課程的性質微電子技術專業英語課程是微電子技術專業人才培養方案中專業方向課下的職業綜合能力模塊課程之一，是該專業的一門限選課。三、本課程與其它課程的關系本課程的先修課程主要有大學英語、集成電路制造工藝、芯片封裝技術、電子制造技術概論等。四、課程的教育目標知識目標1深入了解微電子專業有關的英語書籍和資料中的詞匯、習慣用語、常用語法。 2掌握一定的專業英語翻譯知識和翻譯技巧能力目標1能夠流利地閱讀、正確地理解與本專業有關的英語資料和文章2能夠比較準

28、確地翻譯與本專業有關的英語資料和文章，同時為書寫專業英語文章打下基礎素質目標1具備良好的學習態度和責任心。2培養學生的溝通能力及團隊協作精神。3. 培養學生勇于創新、敬業樂業的工作作風。4. 具有認識自身發展的重要性以及確立自身繼續發展目標的能力。五、課程的教學內容與建議學時（48學時）序號章節（項目）名稱學時教學形式備注1集成電路發展史6講授2芯片介紹：運放、譯碼器、ADC4講授3集成電路制造工藝8講授4芯片封裝與測試4講授5集成電路制造相關設備8講授6復習2講授 六、課程教學設計指導框架章節(項目)名稱教學目標學習與訓練內容學時建議教學方法手段與資源利用建議教學環境說明考核評價集成電路發展史1.了解集成電路發展歷史2.了解微電子專業基本詞匯1.仙童公司的第一只晶體管2.邏輯電路的歷史6講授為主多媒體教