1、Page 2 主要內容第一部分第一部分TCAD介紹介紹第二部分第二部分仿真的必要性仿真的必要性第三部分第三部分TCAD學習學習Page 31 TCAD介紹第一部分第一部分第二部分第二部分仿真的必要性仿真的必要性第三部分第三部分TCAD學習學習TCAD介紹介紹1.1 Silvaco 產品應用領域 Silvaco 產品涉及半導體的眾多應用領域 Silvaco TCAD可進行半導體工藝和器件仿真Page 41.2 Silvaco TCAD框架 工藝仿真 一維工藝仿真 ATHENA 1D 二維工藝仿真 ATHENA 三維工藝仿真 Victory Process/Victory Cell 器件仿真 二維

2、器件仿真 ATLAS 三維器件仿真 ATLAS/Victory Device/Victory Stress 虛擬晶圓制造Page 51.3 工藝仿真ATHENA 開發和優化半導體制造工藝 可用于模擬離子注入，擴散，刻蝕，淀積，氧化以及光刻 通過模擬取代了耗費成本的硅片實驗，可縮短開發周期和提高成品率Page 61.4 器件仿真ATLAS 模擬半導體器件的電學、光學和熱學行為 分析以硅元素為基礎的高級材料，在二維和三維模式下的直流、交流和時域響應Page 71.5 器件仿真ATLAS 仿真硅/化合物半導體的電學、光學和熱學特性 仿真器件的量子特性和噪聲特性 仿真器件的直流/交流/瞬態響應Page

3、 8S-PiscesBlazeGigaMixedModeQuantumDivece3DThermal3DGiga3DMixedMode3DQuantum3D 模擬器件在特定電路中的電學特性Page 9GTO 關斷波形Page 102 仿真的必要性第一部分第一部分第二部分第二部分TCAD介紹介紹第三部分第三部分TCAD學習學習仿真的必要性仿真的必要性2.1 為什么要仿真？ 以前沒有仿真也做得很好！ 我已經習慣了以前的思路，改變起來困難較大！ 現在任務已經很重，學習仿真比較乏力！ 我對仿真能起到何種效果表示懷疑！Page 112.2 仿真是設計技術的體現 器件開發的正向和逆向思維 開發過程應是正向

4、和逆向的綜合Page 122.3 仿真與實驗的關系 光有實驗理論計算缺乏時主要依靠實驗摸索，人力、物力投入高，周期長，缺乏設計依據，理解不全面 光有仿真很多經驗的知識難考慮進來，缺乏驗證 仿真與實驗協同相互印證，合理進行實驗方案設計，減少實驗次數，提高效益Page 132.4 仿真能達到什么目的 仿真是理論性質的實驗，提供設計依據，提高開發效率，節省成本 提升個人能力，提高知識輸出（論文、專利）能力 提升芯片制造、器件設計水平，促進行業進步Page 14Page 153 TCAD學習第一部分第一部分第二部分第二部分仿真的必要性仿真的必要性第二部分第二部分第一部分第一部分第二部分第二部分TCAD

5、介紹介紹第三部分第三部分TCAD學習3.1 TCAD學習資料 用戶手冊 學習教程 Silvaco官方網站 Silvaco中國官方網站 .cnPage 163.2 TCAD學習方法 多看例子，多實際操作 Ctrl + C 和 Ctrl + V 的靈活使用 注意補充理論知識Page 173.3 本課程的目標 突出實用性，使掌握一定的仿真知識 熟悉仿真流程 了解仿真的輸入和輸出 能獨立進行仿真分析 合理有效地提出仿真需求 促進對理論知識的學習Page 183.4 推薦書籍固體物理學，固體物理學， 黃昆黃昆 原著，原著， 韓汝琦韓汝琦 改編，高等教育出版社改編，高等教育出版社半導體物理學（第六版），半

6、導體物理學（第六版）， 劉恩科劉恩科 羅晉生，電子工業出版社羅晉生，電子工業出版社微電子制造科學原理與工程技術（第二版），微電子制造科學原理與工程技術（第二版）， Stephen A. Campbell ，電子工業出版社，電子工業出版社半導體制造技術，半導體制造技術， Michaael Quirk等著，電子工業出版社等著，電子工業出版社硅超大規模集成電路工藝技術：理論、實踐與模型硅超大規模集成電路工藝技術：理論、實踐與模型 ，James D. Plummer 等著，電子工業出版社等著，電子工業出版社晶體管原理與設計（第晶體管原理與設計（第2版），版）， 陳星弼陳星弼 張慶中張慶中 編著，電子工業編著，電子工業出版社出版社電子材料與器件原理（第電子材料與器件原理（第3版）版） ，薩法，薩法.卡薩普卡薩普 著著 汪宏汪宏 等譯，西等譯，西安交通大學出版社安交通大學