1、沉鎳金線金色不良的問題進行匯總沉鎳金線金色不良的問題進行匯總一.目的：對沉鎳金線的金色不良進行匯總分析。二.金色不良的跟蹤與分析，及改善方法：1.沉鎳金的金色不良：外觀圖片切片圖片分析： IC位的邊緣因為銅層凹陷薄了導致外觀金色不良。產生的原因： 磨板過度導致的。改善管控： 1.控制磨板參數在控制范圍內（蝕刻的磨板、緑油前的磨板、返工 板）；2.沉鎳金的金色不良：外觀圖片切片圖片分析： 孔環的外邊緣沒有沉上鎳金層。產生的原因：此板為CT板，綠油走兩次印油，兩次曝光流程，顯影側蝕兩次太大（1.8mil）導致沉金藏藥水，金色不良。 改善管控：已將CT板改為兩次印油，一次曝光流程，避免兩次顯影側蝕。

2、3.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 銅板時板與板之間疊板導致的孔印。產生的原因： 銅板時板與板之間疊板在一起（而且板是濕板狀態下的疊板）。改善管控： 1.干板要隔膠片或插架存放，濕板插架存放。4.沉鎳金的金色不良：外觀圖片切片圖片分析： 47335單面塞口位置PAD金面不良。切片圖片顯示銅面粗糙導致的。產生的原因： 電鍍銅層粗糙導致的。改善管控：電鍍燒板控制光劑流量，大電流板注意加擋板條，設備檢查過濾循環正常運行。蝕刻后銅面粗糙板砂紙打磨并幼磨處理。5.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 銅面有膠質導致的金色不良。產生的原因： 工具的交叉污染或顯影機的最后的吸水轆的緑油質污染的

3、。改善管控：綠油顯影機吸水輪清洗頻率，由以前4H一次，改為2H一次，并增加一套備用吸水輪，方便更換清潔。6.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 銅面在沉鎳金前處理時磨板疊板導致板邊銅面沒有磨到導致的。產生的原因： 沉鎳金前磨板疊板導致。改善管控： 磨板時板與板間距離應在12之間，以免出現疊板現象 7.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 輕微的顯影不凈導致的金色不良。產生的原因： 此板是因為有基材白點，先印了黑油再絲印緑油的，是在做黑油時的顯影不凈。改善管控：此板為前工序異常板。8.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 光標點滲油導致銅面污染而導致的金色不良。產生的原因： 此板是

4、檔點絲印的，此位置出現了滲油導致的-沒有按照要求吸紙。改善管控：此位置需要在成品中鑼掉，為方便綠油拍板，增加擋油點，滲油上PAD。9.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 緑油輕微的顯影不凈或顯影后的被吸水轆的殘留的緑油質污染導致。產生的原因： 顯影參數偏差或顯影機的吸水轆沒有正常保養導致的。改善管控：綠油顯影機吸水輪清洗頻率，由以前4H一次，改為2H一次，并增加一套備用吸水輪，方便更換清潔。10.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 銅面被砂紙打磨過導致的砂紙印。產生的原因： 因為銅面異常使用了砂紙打磨導致的。改善管控： 蝕刻后的板，銅面不許使用砂紙進行打磨銅面。11.沉鎳金的金色不良：外觀

5、圖片外觀圖片分析： 銅面的粗糙導致。產生的原因： 電鍍異常導致的電鍍銅層粗糙。改善管控：電鍍燒板控制光劑流量，大電流板注意加擋板條，設備檢查過濾循環正常運行。蝕刻后銅面粗糙板砂紙打磨并幼磨處理12.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 銅面疊板導致的嚴重氧化印導致的金面線路印。產生的原因： 銅面板疊板導致的嚴重的線路印導致。改善管控： 1.干板要隔膠片或插架存放，濕板插架存放。13.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 沉鎳金時的活化后沉鎳前的掉缸板導致的鎳面粗糙。產生的原因： 沉鎳金的行車故障導致掉巴導致。改善管控： 定期對設備進行保養。14.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 緑油曝光不良導致的。產

6、生的原因： 緑油曝光時的曝光抽真空不良導致的曝光不良。改善管控：綠油曝光嚴格擦氣4個來回，吸真空必須達到MEI要求后才能曝光。曝光尺控制在13格以內。 15.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 銅面氧化導致。產生的原因： 沉鎳金前的銅面嚴重氧化導致沉鎳基金前處理處理不干凈導致。改善管控： 磨板前必須先把微蝕藥水調整合格和磨痕調整合格。 16.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 銅面疊板導致的嚴重氧化印導致的金面線路印。產生的原因： 銅面板疊板導致的嚴重的線路氧化印導致分析：改善管控： 1.干板要隔膠片或插架存放，濕板插架存放。17.沉鎳金的金色不良：外觀圖片切片外觀圖片分析： 孔角顯影不凈導致的。

7、產生的原因： 緑油工序的參數產生的偏差導致（如濕度、預烤溫度與時間、放置時間過長等）。改善管控：絲印后預烤前，靜止時間不可超過1H。18.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 緑油煲板后的銅面粗糙印導致的。產生的原因： 此板在緑油煲板了三次導致銅面微粗糙導致的。改善管控： 磨板前必須先把微蝕藥水調整合格和磨痕調整合格。 19.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 銅面的嚴重的氧化印導致。產生的原因： 電鍍異常導致的嚴重氧化印，次此板緑油底就有印子。 20.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 顯影不凈導致。產生的原因： 緑油工序的參數產生的偏差導致（如濕度、預烤溫度與時間、放置時間過長等）。改善管控：待曝光板必須在24H內完成曝光顯影，靜電噴涂12H內必須完成曝光顯影。21.沉鎳金的金色不良：外觀圖片外觀圖片分析： 顯影不凈或洗水轆污染導致。產生的原因： 緑油工序的參數產生的偏差導致（如濕度、預烤溫度與時間、放置時間過長，顯影吸水轆保養不到位等）。改善管控：綠油顯影機吸水輪清洗頻率，由以前4H一次，改為2H一次，并增加一套備用吸水輪，方便更換清潔。22.沉鎳金的金色不良：外觀圖片分析： 沉鎳金時板掛板過高導致的微蝕藥水沒有泡到板導致的色差。產生的原因： 掛板過高。改善管控： 掛板高度不可以超出上板位的刻度線。23.沉鎳金的金色不良：外觀圖