1、國(guó)科會(huì)高屏地區(qū)奈米核心設(shè)施共同實(shí)驗(yàn)室e-gun 使用規(guī)範(fàn)96 年10 月19 日製表u 事前檢查：1、機(jī)臺(tái)是否正常（綠燈）是否亮起。 Note:CDA 不正常所造成Alram，在登入後可排除。2、機(jī)臺(tái)狀態(tài)標(biāo)示是否為運(yùn)轉(zhuǎn)中。3、使用者記錄簿有無登記機(jī)臺(tái)異常。4、檢查N2壓力、冷卻水開關(guān)是否正常。5 、檢查e-beam窗口玻璃是否污染，可看見e-beam位置為主。 乾淨(jìng)的玻璃片 受污染的玻璃片3、石英震盪片壽命，低於90%通知機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)人。 (若對(duì)厚度準(zhǔn)確性無特別要求可繼續(xù)使用。) u 開始蒸鍍：1、 登入帳號(hào)： a、Windows登入：輸入帳號(hào)名稱及密碼（名稱以英文姓名為主）。 登入後即開始計(jì)費(fèi)。

2、 c、開啟e-gun控制軟體，確定機(jī)臺(tái)連結(jié)是否正常（全打勾）。 d、e-gun程式登入：一般使用者帳號(hào)及密碼皆為user。 2、 開啟將e-beam power supply（開啟e-beam前需暖機(jī)2 min）。3、破真空及放試片 a、準(zhǔn)備好試片或載具、坩鍋、鍍料。 (鍍料最多倒?jié)M坩鍋八分滿，表面盡量平整。) b、選坩鍋位置，打開shutter。 c、按VENT破真空，壓力直約為7.2 E+2 Torr腔體門自動(dòng)推開。 d、腔門開啟後檢查腔體是否乾淨(jìng)，可用sputter旁吸塵器清理。將試片、載具放 置載盤，坩鍋放置對(duì)應(yīng)位置。 shutter坩鍋載盤 e、欲鍍Al者，請(qǐng)檢查gun1六號(hào)坩鍋Al

3、鍍料是否足夠（Al鍍料無坩鍋）。f、載盤共可放四片6”載具，未放滿四片，其餘載盤空洞以鋁箔紙貼附，確保不會(huì)直接蒸鍍到載盤上的加熱燈管。g、按Vaccum mode AUTO自動(dòng)抽真空。（步驟df請(qǐng)儘速，減少腔體暴露大氣時(shí)間，） h、將shutter關(guān)回。4、選擇Recipe(名稱以鍍料及厚度命名)，按LOAD。5、選擇Recipe，按LOAD。6、等TB開啟後（約5min），按START開始Autorun。7、到達(dá)背景壓力後e-beam自動(dòng)開啟開始蒸鍍，製程中可由膜厚計(jì)觀察鍍率、膜厚。e-beam掃瞄模式、範(fàn)圍請(qǐng)依各鍍料recipe設(shè)定。(製程中請(qǐng)勿開啟IG1)Note: 電子束掃瞄範(fàn)圍請(qǐng)勿超

4、出坩鍋，掃瞄模式及範(fàn)圍可參見各鍍料recipe。 8、 一般recipe不設(shè)自動(dòng)VENT，有特殊需求請(qǐng)通知機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)人。 9、蒸鍍完成後Autorun流程停在Cooling Down，表示製程已結(jié)束（緊示燈還是 黃燈亮起）。 10、取出試片：a、按VENT破真空，取出試片、坩鍋，立即關(guān)回腔門，抽回真空。b、若下一時(shí)段無人預(yù)約請(qǐng)關(guān)閉e-beam power supply（開啟e-beam後需等2 min 才可關(guān)閉）11、填寫使用者紀(jì)錄本。12、 登出windows帳號(hào)，若無登出將繼續(xù)算使用時(shí)數(shù)，一律不負(fù)責(zé)。13、載盤、坩鍋請(qǐng)收好。u Alarm時(shí)注意事項(xiàng)：(1) 製程中機(jī)臺(tái)當(dāng)機(jī)或紅燈亮起，畫面下方

5、顯示alarm，若為上班時(shí)間可先通知機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)人。(2) ，下班時(shí)間，按ABORT取消，並持續(xù)抽真空10min後，按VENT破真空取出試片，填寫記錄本，註明機(jī)臺(tái)狀況。u 違規(guī)相關(guān)事項(xiàng)(1)不確實(shí)填寫紀(jì)錄簿者，經(jīng)機(jī)臺(tái)巡視人員發(fā)現(xiàn)，第一次以口頭警告，第二次停權(quán) 一週處分。(2) 不確實(shí)填寫紀(jì)錄簿者，經(jīng)機(jī)臺(tái)巡視人員發(fā)現(xiàn)且機(jī)臺(tái)有損壞故障情形，第一次 停權(quán)二週處分，第二次重新考核，因人為因素操作不當(dāng)導(dǎo)致的機(jī)臺(tái)損壞則需負(fù) 責(zé)賠償維修費(fèi)用。(3)冒用他人帳號(hào)者，第一次 停權(quán)二週處分，第二次重新考核。(4)機(jī)臺(tái)本身基板部分可以加溫使用，嚴(yán)禁加溫過程放入含有揮發(fā)性物質(zhì)，例如光 阻，有特殊需求可以與機(jī)臺(tái)工程師討論，真空膠帶請(qǐng)使用可以耐熱至250度的 材質(zhì)，違規(guī)者，以重新考核做為處分。(5)使用者已經(jīng)於停權(quán)期間，還進(jìn)入使用被停權(quán)機(jī)臺(tái)，則加長(zhǎng)停權(quán)時(shí)間，假使導(dǎo)致機(jī)臺(tái)損壞則永久停權(quán)。Recipe name: AL-5000 AL-3000坩鍋位置：Gun1，6號(hào)坩鍋。e-beam 掃瞄模式: 定點(diǎn)Material: Al鍍率:1 A/sece-beam掃瞄範(fàn)圍設(shè)定Late