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文檔簡(jiǎn)介
1、主題各引擎共焦調(diào)整文件編號(hào)版本a01發(fā)文日期頁(yè)碼cover文件類型作業(yè)指導(dǎo)書(shū)修訂狀態(tài)描述各引擎共焦的調(diào)試方法頁(yè)碼修訂次數(shù)本次發(fā)布首次發(fā)布1-8首次發(fā)布原因程序項(xiàng)目程序內(nèi)容頁(yè)碼1各引擎焦距測(cè)屋1-52調(diào)各引擎共焦6-7版木修訂原因修訂目的修訂ii期版本變更 記錄相關(guān)部門(mén)總裁辦總經(jīng)辦財(cái)務(wù)部資材部人事行政部品保部系統(tǒng)生產(chǎn)部光源牛:產(chǎn)部工程部研發(fā)中心銷售部項(xiàng)it部采購(gòu)部電控生產(chǎn)部全公司編寫(xiě):潘廣勝審核:核準(zhǔn):form no: ato1-20401-02 (al)covera4vmil>i 1.0? (ai»c<nt terhaoloc>««# inc.)
2、1.1進(jìn)入主控機(jī),桌面打開(kāi)軟 件 “advanldi”,usename: control password: test 單擊stages按鈕初始化,初 始化完成后stage方塊變成綠 色。iscent technologlesjnc.c«>m4tpomvtentwtae” f.8 |»f «txd 0xi ractuucf3 e&kn«3nvmaswigc4 7m»37ftm |15 bow<,主控機(jī)bc8rb ttltltltltltltib<cur 吟 0awnl ooohfadvanldl 界面擎測(cè) 引距 各焦量
3、1.2在“advanldi”工具欄單 擊“審”或菜單欄單擊 “tools” 然后選擇 “stage control ,彈出"stage control v平臺(tái)控制界面。調(diào) 整x、y、z軸坐標(biāo),使引擎和 機(jī)臺(tái)的位置適中。stage control 界面引擎和機(jī)臺(tái)主控機(jī)編號(hào) 工序內(nèi)容描述名稱及牌號(hào)用量datasvr 界而服務(wù)器1.3進(jìn)入1號(hào)服務(wù)器,桌面打 開(kāi)軟件 “datasvr”,發(fā) “ + ” 字圖,步驟如下: 中輸入46, 9985,按"write” 按鈕;中輸入46,按“read” 按鈕;單擊“ 16kbmp.”, 找到d盤(pán)wordspeice文件夾的“pattern-
4、3”文件雙擊。各引擎 焦距測(cè) .曰.主控機(jī)laser driver control 界面1.4切換到主控機(jī),在 "adanvanldi”工具欄單擊 “k”或菜單欄單擊“tools” 然后選擇 alaser control”, 彈出"laser driver control" 激光控制界面,參數(shù)設(shè)置: 選擇1號(hào)激光id, 1、2、3、 4、5號(hào)引擎對(duì)應(yīng)的激光11)是 0、 1、 2、 3、 4o 設(shè)置1號(hào)激光的電流值,值 一般設(shè)為26左右。 打開(kāi)1號(hào)激光,switch on/off是打開(kāi)或關(guān)閉激光的 按鈕(方塊綠色時(shí)代表打開(kāi))擎測(cè) 引距 各焦量1.5把ccd和顯示器
5、接好線通 電,把ccd放在1號(hào)引擎下方: 移動(dòng)ccd使得顯示器顯示 “ + ”字,然后輕微移動(dòng)ccd使得“ + ”字中心在顯示器的 中心附近。 用stage control界面微調(diào) x、y軸坐標(biāo),使得“ + ”字中 心和顯示器的中心重合。 用stage control界面調(diào)整 z軸坐標(biāo),使得“ + ”字最淸晰, 記錄1號(hào)引擎此時(shí)的z軸坐 標(biāo)。1.6同理,測(cè)得其他引擎“ + ” 最清晰時(shí)的z軸坐標(biāo)。ccd顯示器ccd放在引禁下方調(diào)節(jié)z軸使得“ + ”字最淸晰主控機(jī)ccd,顯示器“+”字移到屮心備注1:調(diào)節(jié)塊中豎直螺釘?shù)恼{(diào)節(jié)方法:下方螺釘順時(shí)針旋轉(zhuǎn)是使引繁向上 移動(dòng),上方螺釘螺仞順時(shí)針旋轉(zhuǎn)是使引擎
6、向下移動(dòng)。若想使引擎向上移,首 先逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)上方螺釘使之稍微松開(kāi),再順時(shí)針旋轉(zhuǎn)下方螺釘使引擎向上 移,調(diào)好后也要把上方螺釘順時(shí)針鎖緊。若使引擎向下移,同理。2.1比較各引華7軸坐標(biāo)值, 選取z軸值為中間的引擎(有 時(shí)可能選繪小值或繪大值,視 情況而定)為基準(zhǔn)調(diào)各引華共 焦。這里選2號(hào)引擎為基準(zhǔn)舉 例說(shuō)明。各引擎共焦定義:在相同的z 軸位直,各引擎成像質(zhì)量達(dá)到 最好。2.2首先把作為基準(zhǔn)的2號(hào)引 擎的小基板上16規(guī)格螺釘(共 有六個(gè)螺釘孔)用內(nèi)六角扳手 鎖死。然厲用內(nèi)六角扳手鎖死 調(diào)各引 小基板的上下方調(diào)節(jié)塊中豎 擎共焦肓的h6規(guī)格螺釘。2. 3再按工序1的方法測(cè)得2 號(hào)引擎成像質(zhì)量故好時(shí)的z軸
7、 坐標(biāo)。2. 4移動(dòng)ccd看圖像的四個(gè)角 的成像是否也是故好,否則稍 微松開(kāi)小基板上的m6螺釘, 再調(diào)節(jié)上下調(diào)節(jié)塊的螺釗使 得圖像四個(gè)角和中心的成像 質(zhì)量都達(dá)到最好。鎖緊上下調(diào) 節(jié)塊螺釘,鎖緊小基板的螺釘 (鎖緊螺釘過(guò)程也要觀看圖 像,以防出現(xiàn)變化),記錄z 軸坐標(biāo)。平臺(tái)備注2: z軸坐標(biāo)原點(diǎn)在最高點(diǎn),z軸坐標(biāo)值越大代表引擎越靠近機(jī)臺(tái)平面。2.5調(diào)1號(hào)引擎與2號(hào)引擎共 焦: 若1號(hào)引華的z軸坐標(biāo)值比 2號(hào)的大,則1號(hào)引華需往下 移動(dòng),小則向上移動(dòng)。 平臺(tái)的z軸設(shè)定為2號(hào)引擎 測(cè)得的7軸坐標(biāo)值,打開(kāi)1號(hào) 引擎光源,把ccd放在1號(hào)引 孥f方找到”字,移到中調(diào)各引心。象共焦 稍微松開(kāi)1號(hào)引象的小基板 上的螺釘,旋轉(zhuǎn)上
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