1、在20世紀九十年代，伴隨著IT、家電等行 業的迅猛發展，潔凈機器人面世了。 近幾年，半導體、液晶顯示器、等離子顯示器、計算機硬盤的規格與產量不斷提高導致生產過程中工件的 體積和重量越來越大，生產節奏、生產工藝性的 要求也越來 越高。短短十余年間，液晶顯示器的 產品已經發展到第8代，玻璃基板尺寸增大了將 近十倍,這就對潔凈機器人性能提出了更高的要 求。而且，相比于傳統用途的機器 人，如弧焊、點焊、噴涂等，潔凈機器人需要更快速的響應來滿 足不斷提升的性能 要求。作為世界上最先進的機器人廠家，安川公司對于這一機器人的新興應用領域，很 早就給予了關注。從一開始，在產品開發、系統整合及市場開拓等方面，就

2、投入了 巨大的力量。由于安川在機 器人技術和產品開發的雄厚實力，在潔凈機器人 的產品 及應用技術研究上迅速取得了進展。目前,安川的潔凈機器人技術及市場競爭能力在國際上處于遙遙領先的地位，市場份額超過60%。前不久在東京舉行的國際機 器人展覽會上，推出了可 適應當前最新型液晶生產的第八代產品需求的大 型潔凈機 器人，受到業內人士的矚目。MOTOMAN潔凈機器人，控制器采用MOTOMAN的XRC控制器，而機械結構 則結合生產工藝的特 點,主要分為兩大系列，既CSL系列和CR系列。CR系列是 垂直多關節機器人，進行全姿態動作運動；CSL是水平直線及回轉運動型機器人，高 速度高精 度,動作快捷準確。當

3、前大量使用的潔凈機器 人,以水平動作的 機器人居 多，因為在工廠里,主工藝 裝置之間的玻璃基 板傳送,基本都是 平面進行。圖1圖 4是MOTOMAN的幾種主要形式潔凈機器人的機型?，F以典型的液 晶生產線為例，介紹MOTOMAN潔凈機器人的使用情況。 如 圖所示，從玻璃原材料進入生 產線到產品的出線,玻璃基板要通過一系列的工藝 處理過程。在生產線各工藝處理設備之間,玻璃基板的運送與上下料，都需要潔凈 機器人來完成。玻璃基板由專 用的裝運箱送至生 產線入口處，在那里 設置了取出單元潔凈機器人及系統介紹首鋼莫托曼專刊圖 1CSL1200圖 2 CSL1200D 圖 3CSL10-30021機器人技術

4、與應用22，再水平機器人技術與應用(UNPACKER。在取出單元，機器人將垂直碼放的玻璃板從裝運箱取出放置于傳送帶上。由于玻璃需要從垂直放置 改變為水平放置，在取出單元使用的是 CR系列的垂直多關節機器人，以便于工件姿 態的靈活變化。傳送帶將玻璃送至卸 料單元。在卸料單元（U N L O A D E R ,機器人將玻璃從擺放位置移動至轉運架 （CASSETTE內。卸料單元內的機器人是 水平多關節的結構,也就是CSL系列。因 為在玻璃進入生產線后，都是平面擺放形態進行移動。在各個工位間轉運架再被 移放至可 以在生產車間內運行的小車，比如AGV或者RGV上。再由小車運送至 每一個工藝處理設備處。

5、在工藝設備處,通常都有上料單元（LOADER 。小車上 的轉運架被放至上料單元內，經過定位和固定后，由潔凈機器人將玻璃抓取出來，移 放到工藝設備上。該工位的工藝處理結束后，又通過卸料單元再將玻璃放至轉運 架內,被移送到下一個工位。 也有上料單元和下料單元為同一個單元的情況。潔凈機器人的主要功能，是進行潔凈物品的搬運。作為潔凈機器人系統，除了要求機器人有很高的運動精度外，對所搬運 的物品的自身置放位置定 位，也同樣有精度要 求。在取出單元,CR機器人將玻璃從 裝運箱抓取出來后，要將玻璃送至固定放置的檢測傳感器處進行位置檢測，并根據檢測的結果，進行位置補償，是玻璃在進入生產線后，有一個基準 的定位

6、位置。此外，在每次從轉運架將玻璃取下時，還要使用安裝在機器人腕端的抓 取手叉上的傳感器，對玻璃位置進行動態檢測，然后在抓取時進行補償。為了保證高潔凈度的工作條件，除了機器人 及周邊設備本身采用了大量的潔凈 措施外，還在上料單元、卸料單元中，引入了經過專門設計空 氣流，進行塵埃沉降。經過近十年的研究與開發，MOTOMAN的潔凈機器人事業現已進入高速發展 階段，目前國內最 大的液晶生產廠家北京京東方使用了 130余臺、上海廣電NEC 使用了約50臺MOTOMAN潔凈機器人，在其他廠家也有不同數量的使用。 安川在 國內的合資公司首鋼莫托曼公司也逐步建立起潔凈機器人系統的設計隊伍，并為MOTOMAN潔凈