ICS77.150.60CCSH62中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T45130—2025氧化鋅鋁靶材Zinc-aluminumoxidetarget2025-01-24發(fā)布2025-08-01實(shí)施國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)發(fā)布/GBT45130—2025前言本文件按照GBT1./1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC243)歸口。本文件起草單位:先導(dǎo)電子科技股份有限公司、深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、蕪湖映日科技股份有限公司、成都中建材光電材料有限公司、深圳市中金嶺南有色金屬股份有限公司韶關(guān)冶煉廠、廣東歐萊高新材料股份有限公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、上海大學(xué)、廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司。本文件主要起草人:余芳、童培云、朱贊芳、楊平、蔣少英、曾墩風(fēng)、周毅、蔡正明、李慶豐、陳文麟、葛春橋、李喜峰、朱劉、高敏沂、左鴻毅、劉慧明、王志強(qiáng)、李佳宣、李鵬、駱勝磊、陳欽忠、李強(qiáng)、張建華、張科、曾平生、師世龍、王凱凱、朱永峰。Ⅰ/GBT45130—2025氧化鋅鋁靶材范圍1本文件規(guī)定了氧化鋅鋁靶材(以下簡稱“AZO靶材”)的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件及訂貨單內(nèi)容。本文件適用于由ZnO和AlO23粉末按照一定比例混合,以常壓燒結(jié)工藝生產(chǎn)的氧化鋅鋁靶材,用于薄膜太陽能電池鍍膜和建筑節(jié)能玻璃鍍膜。規(guī)范性引用文件2下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。/GBT1551硅單晶電阻率的測(cè)定直排四探針法和直流兩探針法/致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金精細(xì)陶瓷彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法密度測(cè)定方法GBT3850/GBT6569/數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定金屬顯微組織檢驗(yàn)方法GBT8170/GBT13298鉆孔應(yīng)變法測(cè)量殘余應(yīng)力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法SL499/YST837濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法術(shù)語和定義3下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1表觀密度apparentdensity每單位體積物質(zhì)的質(zhì)量。3.2相對(duì)密度relativedensity表觀密度與理論密度的比值。mZnO∶mAlO=98∶2時(shí),AZO靶材理論密度以5.57gcm3注:AZO靶材質(zhì)量比()()計(jì)算。/23分類4AZO靶材按形狀分為平面靶和管狀靶;按ZnO和AlO的質(zhì)量比規(guī)定為123個(gè)牌號(hào):AZO98。1/GBT45130—2025技術(shù)要求化學(xué)成分55.1主要成分5.1.1AZO靶材的質(zhì)量比()()mZnO∶mAlO=98∶2AlO3的含量允許差為±0.1%。,223雜質(zhì)成分5.1.2AZO靶材的雜質(zhì)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1AZO靶材雜質(zhì)成分雜質(zhì)成分FeCuPbCdMnCrNiNaSiCa102010020總和a雜質(zhì)含量,不大于(×10)-420102010510200%a雜質(zhì)總和為表中所列雜質(zhì)元素的總和。其他5.1.3需方如對(duì)AZO靶材的化學(xué)成分有特殊要求時(shí),由供需雙方商定。物理性能5.25.2.1AZO靶材的相對(duì)密度應(yīng)不小于98%。5.2.2AZO靶材的電阻率應(yīng)不大于5×10-3Ω·cm。5.2.3AZO靶材的抗彎曲強(qiáng)度應(yīng)不小于150MPa。5.2.4AZO靶材的殘余應(yīng)力應(yīng)不大于10MPa。需方如對(duì)AZO靶材物理性能如有其他要求,由供需雙方商定。5.2.5晶粒尺寸5.3AZO靶材的晶粒尺寸分布應(yīng)均勻,平均晶粒尺寸應(yīng)不大于20μm,最大晶粒尺寸應(yīng)不大于50μm。尺寸規(guī)格及其偏差5.45.5AZO靶材的尺寸規(guī)格及其偏差由供需雙方商定。外觀質(zhì)量5.5.1AZO靶材表面粗糙度(Ra)不大于1.0μm。5.5.2AZO靶材呈墨綠色或灰黑色,顏色應(yīng)均勻。5.5.3AZO靶材表面應(yīng)清潔光滑,無指痕,無崩角,無外來夾雜物、污染物。5.5.4AZO靶材氣孔直徑應(yīng)不大于0.3mm,每平方厘米氣孔個(gè)數(shù)應(yīng)不多于5個(gè)。內(nèi)部質(zhì)量5.6AZO靶材應(yīng)無內(nèi)部裂紋、氣孔、夾雜等影響使用的質(zhì)量缺陷。2/GBT45130—2025試驗(yàn)方法6化學(xué)成分6.1AZO靶材化學(xué)成分的分析方法由供需雙方協(xié)商采用相應(yīng)方法進(jìn)行。物理性能6.2相對(duì)密度6.2.1AZO靶材的表觀密度的測(cè)定按GB/T3850的規(guī)定進(jìn)行,再根據(jù)表觀密度和理論密度計(jì)算得到相對(duì)密度。電阻率6.2.2AZO靶材的電阻率的測(cè)定應(yīng)按GBT1551/中直流四探針法的規(guī)定進(jìn)行。抗彎曲強(qiáng)度6.2.3AZO靶材的抗彎曲強(qiáng)度的測(cè)試按GBT6569/的規(guī)定進(jìn)行。殘余應(yīng)力6.2.4AZO靶材的殘余應(yīng)力的測(cè)定按SL499的規(guī)定進(jìn)行。晶粒尺寸6.36.46.56.6GBT13298的規(guī)定進(jìn)行。AZO靶材的的平均晶粒尺寸的測(cè)定按/尺寸規(guī)格及其偏差A(yù)ZO靶材的尺寸規(guī)格及其偏差的測(cè)定應(yīng)用相應(yīng)精度的量器進(jìn)行。外觀質(zhì)量AZO靶材的外觀質(zhì)量應(yīng)用目視法或粗糙度儀及相應(yīng)精度的量器檢驗(yàn)。內(nèi)部質(zhì)量AZO靶材的內(nèi)部質(zhì)量的檢驗(yàn)按YST837/的規(guī)定進(jìn)行。檢驗(yàn)規(guī)則7檢查和驗(yàn)收7.17.1.1AZO靶材應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn),產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件和訂貨單的規(guī)定。需方可對(duì)收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符7.1.2時(shí),應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起30d內(nèi)向供方提出,由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁,仲裁取樣在需方由供需雙方共同進(jìn)行。組批7.2AZO靶材應(yīng)成批提交檢驗(yàn),每批應(yīng)由同一生產(chǎn)批次、同一生產(chǎn)工藝、同一規(guī)格、同一批原料生產(chǎn)的3/GBT45130—2025產(chǎn)品組成。檢驗(yàn)項(xiàng)目7.3產(chǎn)品檢驗(yàn)項(xiàng)目分為出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目和型式檢驗(yàn)項(xiàng)目,應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2檢驗(yàn)項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目化學(xué)成分出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目型式檢驗(yàn)項(xiàng)目√√√△△△√√√√√√√√√√√√相對(duì)密度電阻率物理性能抗彎曲強(qiáng)度殘余應(yīng)力晶粒尺寸尺寸規(guī)格及其偏差外觀質(zhì)量內(nèi)部質(zhì)量注:表中“√”表示“必驗(yàn)項(xiàng)目”;“△”表示“非必驗(yàn)項(xiàng)目”。在以下條件下應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn):a)新生產(chǎn)線的產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí);b)正式生產(chǎn)后如結(jié)構(gòu)、工藝有較大改變可能影響產(chǎn)品性能時(shí);c)正常連續(xù)生產(chǎn)6個(gè)月時(shí);d)產(chǎn)品長期停產(chǎn)后恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)。取樣和制樣7.4產(chǎn)品的取樣和制樣應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3取樣和制樣技術(shù)要求的章條編號(hào)檢驗(yàn)方法的檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣和制樣規(guī)定供需雙方商定章條編號(hào)化學(xué)成分相對(duì)密度5.16.1從產(chǎn)品中按片(件)隨機(jī)抽取10%樣品,但不少于1(件),沿AZO靶材的中心線,用線切割機(jī)等距分取20mm×20mm的樣品3~4塊,用超聲波清洗器清洗干凈后進(jìn)行表觀密度的測(cè)定5.2.16.2.16.2.26.2.3從產(chǎn)品中按片(件)隨機(jī)抽取10%的樣品但不少1(件),用線切割機(jī)沿電阻率AZO靶材的邊切割長120mm的矩形長條10個(gè),用超聲波清洗器清洗干5.2.2凈后進(jìn)行電阻率的測(cè)定從產(chǎn)品中按片(件)隨機(jī)抽取10%的樣品,但不少于1片(件),用線切割機(jī)抗彎曲強(qiáng)度沿AZO靶材的邊切割下符合要求的樣品,用超聲波清洗器清洗干凈后進(jìn)5.2.3行抗彎曲強(qiáng)度的測(cè)定4/GBT45130—2025表3取樣和制樣(續(xù))技術(shù)要求的檢驗(yàn)方法的章條編號(hào)檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣和制樣規(guī)定章條編號(hào)從產(chǎn)品中按片(件)隨機(jī)抽取10%的樣品,但不少于1片(件),用線切割機(jī)殘余應(yīng)力晶粒尺寸沿AZO靶材的邊切割下符合要求的樣品,用超聲波清洗器清洗干凈后進(jìn)5.2.46.2.4行殘余應(yīng)力的測(cè)定將密度測(cè)試后檢驗(yàn)樣品洗凈并用紙吸干后測(cè)試逐件5.35.46.36.4尺寸規(guī)格及其偏差外觀質(zhì)量內(nèi)部質(zhì)量逐件5.55.66.56.6將密度測(cè)試后檢驗(yàn)樣品洗凈并用紙吸干后測(cè)試檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.57.5.1AZO靶材檢驗(yàn)結(jié)果的數(shù)值按照GBT8170/的規(guī)定進(jìn)行修約,并采用修約值比較法判定。7.5.2AZO靶材的化學(xué)成分、物理性能、晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量的檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時(shí),再取雙倍樣復(fù)檢(包括原檢驗(yàn)不合格的那件樣品),仍有任意試樣檢驗(yàn)結(jié)果與本文件的規(guī)定不符時(shí),判該批不合格。7.5.3AZO靶材的尺寸規(guī)格及其偏差、外觀質(zhì)量與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時(shí),判該件不合格。標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件8標(biāo)志8.1應(yīng)在檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品上至少標(biāo)記下列內(nèi)容:a)產(chǎn)品名稱;b)牌號(hào);c)規(guī)格尺寸;d)凈重;e)批次;f)生產(chǎn)日期;g)企業(yè)名稱。包裝8.28.38.4每片(件)AZO靶材應(yīng)在清潔環(huán)境下采用真空包裝,并采用相應(yīng)的防震措施。運(yùn)輸與貯存AZO靶材應(yīng)存放于干燥陰涼的庫房。運(yùn)輸及貯存過程中應(yīng)注意防震、防潮、防壓、防止二次污染。其他需方如對(duì)AZO靶材的標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸與貯存有特殊要求時(shí),由供需雙方商定。5/GBT45130—2025隨行文件8.5每批AZO靶材應(yīng)附有隨行文件,其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號(hào)、出廠日期或包裝日期外,還宜包括:a)產(chǎn)品質(zhì)量保證書:產(chǎn)品特點(diǎn)(包括制造工藝及原材料的特點(diǎn)),●●●對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量所負(fù)的責(zé)任,產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證及帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果