Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理基于光的干涉現象，特別是相干光的疊加原理。以下是對其測量原理的詳細解釋：一、基本原理當兩束相干光波在空間某點相遇時，它們會相互疊加并產生干涉現象。干涉圖樣的特點是明暗相間的干涉條紋，這些條紋的間距和強度取決于光的波長和光束之間的相位差。二、干涉儀結構泰曼-格林干涉儀通常由以下主要部分組成：光源：一般采用單色光源，如激光，以確保發出的光是單色光，從而進行精確的波長測量和干涉圖樣觀察。分束器：是干涉儀的核心部件之一，用于將入射光束分為兩束相干光束。分束器通常采用半透半反鏡或雙折射晶體制成。參考臂和測量臂：被分束器分開的兩束相干光束分別進入參考臂和測量臂。參考臂通常包含一段已知的路徑長度，用于提供穩定的參考光波；測量臂則與被測物體相互作用，其光程長度會發生變化，這是由于被測物體對光的折射、衍射或散射作用造成的。檢測器：用于檢測干涉圖樣，并將干涉信號轉化為電信號輸出，以便進行后續的數據處理和分析。三、測量原理相位差與干涉圖樣：當兩束光在干涉點相遇時，如果它們的相位差是波長的整數倍，則會產生加強干涉，表現為亮條紋；如果相位差是半波長的奇數倍，則會產生削弱干涉，表現為暗條紋。通過觀察干涉圖樣，可以分析被測物體的特性，如折射率、厚度等。測量過程：在測量過程中，激光首先經過分束器分成兩束光線，一束光線經過參考鏡反射后再次回到分束器，另一束光線則經過被測物體后也回到分束器。當兩束光線再次相遇時，它們會發生干涉現象，并在檢測器上形成干涉圖樣。通過處理和分析干涉圖樣中的明暗條紋及其變化，可以計算出被測物體的表面形貌、薄膜厚度等參數。四、應用泰曼-格林干涉儀在科學研究、工業制造和質量控制等領域具有廣泛的應用價值。例如，在科學研究中，它可用于研究物體表面形貌的微小變化，如微米級別的表面粗糙度、納米級別的表面平整度等；在工業制造領域，它可用于薄膜厚度的測量，如光學薄膜、電鍍薄膜等；在質量控制方面，它可用于產品的檢測和評估，如電子元件的制造、光學元件的加工等。綜上所述，Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理基于光的干涉現象和相干光的疊加原理。通過分析和處理干涉圖樣中的明暗條紋及其變化，可以實現對被測物體表面形貌、薄膜厚度等參數的精確測量。TopMapMicroView白光干涉3D輪廓儀一款可以“實時”動態/靜態微納級3D輪廓測量的白光干涉儀1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。實際案例1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，R