中國(guó)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：柏向春、余榮、王歡、楊振、楊陽(yáng)、眭瑞濤、劉迪、楊廷凱1本規(guī)范規(guī)定了GAM500氣體分析儀的計(jì)量特性、校準(zhǔn)2規(guī)范性引用文件3術(shù)語定義3.1GAM500氣體分析儀GAM500gasanalyzer過檢測(cè)各離子的豐度（即質(zhì)譜峰強(qiáng)度）實(shí)現(xiàn)物3.2最小可檢漏率minimumdetectableleakrate4概述4.1原理GAM500氣體分析儀的工作原理是：通過進(jìn)樣系統(tǒng)將待校準(zhǔn)氣體引入質(zhì)譜分析室中，質(zhì)譜儀將待4.2構(gòu)造GAM500氣體分析儀由質(zhì)譜分析系統(tǒng)、循環(huán)取樣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)氣系統(tǒng)等組成。質(zhì)譜分析25計(jì)量特性6校準(zhǔn)條件6.1環(huán)境條件a)環(huán)境溫度：23℃±5℃;b)相對(duì)濕度：≤80%；c)周圍無影響正常校準(zhǔn)的電磁干擾，無劇烈振動(dòng)。6.2校準(zhǔn)用氣體36.3校準(zhǔn)用設(shè)備序號(hào)儀器設(shè)備名稱技術(shù)要求12小孔流導(dǎo)元件7校準(zhǔn)項(xiàng)目8校準(zhǔn)方法GAM500氣體分析儀采用氣體微流量計(jì)校準(zhǔn)，氣體微流量計(jì)的氣體流量采用固定流導(dǎo)法測(cè)量，其計(jì)Q=pC(1)GAM氣體分析儀9將氣體微流量計(jì)提供的已知流量的示漏氣體引入到GAM500氣體分析儀中，通過比較GAM氣體分析儀9176482），48.2.1校準(zhǔn)前準(zhǔn)備a)將氣體微流量計(jì)通過閥門9和GAM500氣體分析儀連接。8.2.2校準(zhǔn)步驟a)關(guān)閉閥門9，測(cè)量并記錄GAM500氣體分析儀的本底示值L0i和噪聲Lni，L0i和Lni均取一段時(shí)間b)打開閥門9，調(diào)節(jié)氣體微流量計(jì)，向GAM500氣體分析儀輸入特定的示漏氣體流量Qpi（一般在（1×10-8～1×10-9）Pa?m3/s之間待GAM500氣體分析儀的示值穩(wěn)定后，記錄其示值Lpi。8.2.3數(shù)據(jù)處理GAM500氣體分析儀最小可檢漏率的算術(shù)平均值由公式（3）計(jì)算，作為（3） 9校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)經(jīng)校準(zhǔn)的GAM500氣體分析儀，應(yīng)給出最小可檢漏率值及其5A.1測(cè)量不確定度評(píng)定方法A.1.1測(cè)量模型Ln—GAM500氣體分析儀的噪聲，Pa?由于Lp>>L0，則Lp-L0≈Lp，因此考慮到GAM500氣體分析儀的示值與溫度有關(guān)，并且測(cè)量重復(fù)性對(duì)pTA.1.2測(cè)量不確定度來源標(biāo)準(zhǔn)流量（漏率）測(cè)量引入的不確定度為ur(Qp)a)GAM500氣體分析儀漏率噪聲引入的不確定度為ur(Ln)；b)GAM500氣體分析儀漏率示值讀數(shù)引入的不確定度為ur(Lp)c)溫度波動(dòng)引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度ur(T)；d)測(cè)量重復(fù)性引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度ur(m)。6A.1.3測(cè)量不確定度分量A.1.3.1輸入量Qp引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度ur(Qp)是氣體微流量計(jì)的測(cè)量引入的不確定度分量。A.1.3.2輸入量Ln引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度ur(Ln)是GAM500氣體分析儀噪聲讀數(shù)引入的不確定度分量，該分量采用不確定度的A.1.3.3輸入量Lp引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度ur(Lp)是GAM500氣體分析儀示值讀數(shù)引入的不確定度分量，該分量采用不確定度的A.1.3.4溫度引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度 假設(shè)為均勻分布，將校準(zhǔn)過程中溫度波動(dòng)產(chǎn)生的流量變化區(qū)間的半寬度除以3，就得到了溫度引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。A.1.3.5測(cè)量重復(fù)性引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度GAM500氣體分析儀校準(zhǔn)結(jié)果為最小可檢漏率的算術(shù)平均值，故應(yīng)考慮測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度。GAM500氣體分析儀最小可檢漏率的算術(shù)平均值采用A類方法評(píng)定，其實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差按公式（A.3）計(jì)算： s(Qmin)—最小可檢漏率校準(zhǔn)結(jié)果的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差；n—校準(zhǔn)次數(shù)（一般n≥6）。×100%ur(m)—測(cè)量重復(fù)性引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。A.1.4相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度7 uc,rEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)p)uEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(Qp)+cEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(Ln)uEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(Ln)+cEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(Lp)uEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(Lp)+cEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(T)uEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(T)+cEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(m)uEQ\*jc3\*hps13\o\al(\s\up3(2),r)(m)（A.5）ur(Ln)—GAM500氣體分析儀噪聲引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度；ur(T)—溫度波動(dòng)引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度；ur(m)—測(cè)量重復(fù)性引入的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。A.1.5相對(duì)擴(kuò)展不確定度A.2測(cè)