碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體編制說明晶圓氧化溫度約在800℃~1300℃之間，且對環(huán)境中金屬雜質含量要協(xié)會。本標準參照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標經(jīng)濟適用原則:在制定團體標準時，充分考慮碳化硅陶瓷晶舟制可證實原則:標準中涉及的各項性能指標，規(guī)定相應的試驗條件符合法律法規(guī)和政策要求:在制定團體標準時，嚴格遵守國家現(xiàn)本文件適用于碳化硅質量分數(shù)含量不小于99.99%的碳化硅陶瓷原材料的純度和主要雜質元素含量影響碳化硅陶瓷晶舟制品的表1產(chǎn)品純度%/C/表2主要雜質元素mg/kgmg/kgmg/kgmg/kgmg/kg表3各牌號粒度分布牌號>25>2產(chǎn)品的堆積密度和顆粒密度影響碳化硅陶瓷晶舟制品的體積密表4各牌號堆積密度和顆粒密度牌號在對不同碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體產(chǎn)品測試數(shù)據(jù)粉體的純度、主要雜質元素含量按ISO/TS15338規(guī)定的項目單位樣品1樣品2樣品3樣品4樣品5標準要求產(chǎn)品純度F240SiC%99.991099.991899.991899.991699.9907≥99.99Si/主元素主元素主元素主元素主元素主元素C/主元素主元素主元素主元素主元素主元素F1200SiC%99.992099.991699.991099.991799.9911≥99.99Si/主元素主元素主元素主元素主元素主元素C/主元素主元素主元素主元素主元素主元素主要雜質元素含量F240Femg/kgAlmg/kgNamg/kg78679Mgmg/kg889Camg/kg9677F1200Femg/kgAlmg/kgNamg/kg98776Mgmg/kg9856Camg/kg86798粒度F240D10um24.1426.8927.5427.0527.83>25D50um47.1148.4249.1048.6448.8848.0±1D90um85.1086.2090.3287.2088.78F1200D10um2.422.202.382.242.10>2D50um4.483.863.524.863.544.0±0.5D90um9.449.229.769.899.62堆積密度F240g/cm31.5221.5531.4971.5101.541≥1.50F1200g/cm30.7560.7500.7600.7550.753≥0.75顆粒密度F240g/cm33.153.143.123.133.14≥3.12F1200g/cm33.123.133.183.143.14≥3.12標準化的碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體生產(chǎn)將推動碳我國碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體和碳化硅陶瓷晶舟制品（1）與有關的現(xiàn)行法律、法規(guī)和規(guī)章制度的符合性，特別是與（1）加大標準宣傳力度，提高認知度，在碳化硅陶瓷晶舟制品用高純碳化硅粉體生產(chǎn)領域以及下游設備的設計和應用企業(yè)加強宣（2）標準歸口單位進行貫標指導，組織標準宣貫培訓班，由標