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文檔簡介

一、精密工作臺概述

①加工或測量時承載被測零部件的平臺。

②能夠實現一個或多個方向的運動。

③在各個方向上的運動是獨立的1、工作臺的定義2、工作臺的分類按工作臺所實現運動軌跡在空間的位置來分，有一維工作臺，二維工作臺，三維工作臺，甚至到六自由度

3、精密工作臺的組成和分類二、精密工作臺技術的發展概況微納米加工技術的發展，離不開精密工作臺技術的發展和進步。

主要表現在精度、速度和行程等方面。

在材料、測量技術、驅動技術、控制技術等方面有了長足的進步，使工作臺朝高精度、高速度、大行程的方向發展。1．材料2．測量技術測量手段主要有光柵測量和激光干涉儀測量。目前光柵測量的分辨率可達到納米量級，測量精度為土0.01um，測量范圍為100mm。可實現非接觸測量。3.驅動技術驅動技術直接決定了工作臺的速度、精度、行程和整個設備的效率。驅動技術有間接驅動和直接驅動兩種方式。間接驅動方式是驅動元件通過傳動機構驅動工作臺。這種方式存在的缺點是：傳動鏈較長，系統結構復雜，附加慣量大，剛度低，而且零部件的彈性變形會影響精度，此外，由于摩擦磨損將導致精度漸變等。驅動元件常采用直流伺服電機、交流伺服電機，有時也采用步進電機。直接驅動方式：即利用電機直接驅動工作臺，取消電機到工作臺之間的傳動環節，使傳動鏈縮短為零，實現“零傳動”。與間接驅動方式相比，直接驅動方式更易于實現高速度和高加速度的運動，同時再配合高精度的導軌就可以實現亞微米和納米級的定位精度。直接驅動元件有：直流無刷力矩電機、電磁式直線電機和壓電直線電機。

4.直線導向技術導軌在工作臺中起著承載和導向的作用，決定著工作臺的導向精度、運動軌跡，直接影響著設備的作圖精度。常用的導軌有滑動導軌、滾動導軌和靜壓導軌三種。此外，還有兩種新型導軌：柔性鉸鏈和懸浮導軌。5．控制技術計算機數字控制方式。控制系統主要由主控制系統、運動指令給定系統和位置伺服控制系統等組成。精密工作臺的控制方式多采用閉環控制。

三、精密工作臺的結構型式

1、平面單層式結構機械式氣浮式①

氣浮式②

2、雙層結構3、大行程納米級精密工作臺的實現4、回轉工作臺的實現四、精密工作臺的設計1、精密回轉工作臺技術要求①有效負載：不小于4Kg；②臺面尺寸：不小于?300mm；③速率范圍：0.1°/s～18000°/s；④速率控制精度：0.1°/s±0.

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