高溫大面積碳化硅外延生長裝置及處理方法引言碳化硅（SiC）作為一種具有優(yōu)異物理和化學(xué)性質(zhì)的半導(dǎo)體材料，在電力電子、航空航天、新能源汽車等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。高質(zhì)量、大面積的SiC外延生長是實(shí)現(xiàn)高性能SiC器件制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。然而，SiC外延生長過程對(duì)溫度、氣氛、襯底質(zhì)量等因素極為敏感，因此需要設(shè)計(jì)一種高效、穩(wěn)定的高溫大面積碳化硅外延生長裝置及處理方法，以滿足工業(yè)生產(chǎn)的需求。裝置結(jié)構(gòu)高溫大面積碳化硅外延生長裝置主要由以下幾個(gè)部分組成：密閉工作室、石墨反應(yīng)腔室、加熱組件、進(jìn)氣裝置、出氣裝置以及托盤系統(tǒng)。密閉工作室密閉工作室由不銹鋼材料制成，具有較高的強(qiáng)度和耐腐蝕性。工作室內(nèi)部形成一個(gè)密閉的空間，用于進(jìn)行SiC外延生長實(shí)驗(yàn)。工作室的底部、頂部和側(cè)壁均設(shè)有水冷結(jié)構(gòu)，以保持實(shí)驗(yàn)過程中的溫度穩(wěn)定。石墨反應(yīng)腔室石墨反應(yīng)腔室位于密閉工作室內(nèi)部，用于承載SiC襯底并進(jìn)行外延生長。反應(yīng)腔室采用石墨材料制作，具有良好的耐高溫性能和化學(xué)穩(wěn)定性。反應(yīng)腔室內(nèi)部設(shè)有一個(gè)托盤槽，用于放置托盤系統(tǒng)。加熱組件加熱組件位于石墨反應(yīng)腔室的外圍，用于提供SiC外延生長所需的高溫環(huán)境。加熱組件可以采用銅螺線管射頻加熱線圈或其他高效的加熱方式，以確保反應(yīng)腔室內(nèi)的溫度均勻分布。進(jìn)氣裝置和出氣裝置進(jìn)氣裝置和出氣裝置分別位于石墨反應(yīng)腔室的前后兩端，用于引入反應(yīng)氣體和排出尾氣。進(jìn)氣裝置包括進(jìn)氣器、進(jìn)氣器底盤和進(jìn)氣通道，可以確保反應(yīng)氣體均勻進(jìn)入反應(yīng)腔室。出氣裝置則包括出氣器、出氣器底盤和出氣通道，用于收集并排出尾氣。托盤系統(tǒng)托盤系統(tǒng)用于承載SiC襯底，并可以方便地放入和取出反應(yīng)腔室。托盤系統(tǒng)包括方形托盤和旋轉(zhuǎn)托盤，方形托盤上設(shè)有托盤槽，可以放置多個(gè)旋轉(zhuǎn)托盤。旋轉(zhuǎn)托盤上則設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤槽，用于放置SiC襯底。這種設(shè)計(jì)不僅提高了外延生長的均勻性，還方便了樣品的取放和更換。處理方法高溫大面積碳化硅外延生長裝置的處理方法主要包括以下幾個(gè)步驟：放置襯底首先，將需要加工的SiC襯底進(jìn)行清洗和預(yù)處理，確保表面干凈、平整。然后，將清洗完畢的SiC襯底放入旋轉(zhuǎn)托盤中，再將旋轉(zhuǎn)托盤放入方形托盤中。最后，將方形托盤放入反應(yīng)腔室的托盤槽內(nèi)。抽真空關(guān)閉密閉工作室的進(jìn)樣門和備用門，打開真空泵進(jìn)行抽真空作業(yè)，使反應(yīng)腔室達(dá)到預(yù)定的真空度。這一步驟可以排除反應(yīng)腔室內(nèi)的空氣和雜質(zhì)，為后續(xù)的外延生長創(chuàng)造有利的條件。加熱通過進(jìn)氣裝置向反應(yīng)腔室通入載氣（如氬氣），并打開加熱電源，使加熱組件對(duì)反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱。加熱過程中需要控制加熱速率和溫度分布，以確保反應(yīng)腔室內(nèi)的溫度均勻且達(dá)到所需的生長溫度。外延生長待反應(yīng)腔室達(dá)到所需生長溫度后，通過進(jìn)氣裝置向反應(yīng)腔室通入反應(yīng)氣體（如硅烷和碳?xì)浠衔铮筍iC進(jìn)行外延生長。外延生長過程中需要控制反應(yīng)氣體的流量、壓力和溫度等參數(shù)，以獲得高質(zhì)量的外延層。降溫和取樣待SiC外延生長完畢后，關(guān)閉反應(yīng)氣體和加熱電源，讓反應(yīng)腔室自行降溫。降溫過程中需要保持反應(yīng)腔室內(nèi)的真空狀態(tài)，以避免雜質(zhì)污染。降溫完成后，打開進(jìn)樣門并移開尾氣收集器，取出方形托盤和SiC樣品。優(yōu)點(diǎn)與應(yīng)用高溫大面積碳化硅外延生長裝置及處理方法具有以下優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于加工和維護(hù)；工作室采用水冷不銹鋼結(jié)構(gòu)，具有較高的強(qiáng)度和耐腐蝕性；加熱組件采用高效的加熱方式，可以確保反應(yīng)腔室內(nèi)的溫度均勻分布；進(jìn)氣裝置和出氣裝置設(shè)計(jì)合理，可以確保反應(yīng)氣體均勻進(jìn)入反應(yīng)腔室并排出尾氣；托盤系統(tǒng)方便靈活，可以承載多個(gè)SiC襯底進(jìn)行外延生長。該方法在SiC器件制造領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景，可以用于生產(chǎn)高質(zhì)量的SiC外延片，滿足電力電子、航空航天、新能源汽車等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅躍iC器件的需求。結(jié)論高溫大面積碳化硅外延生長裝置及處理方法是一種高效、穩(wěn)定的技術(shù)，可以滿足工業(yè)生產(chǎn)對(duì)高質(zhì)量SiC外延片的需求。通過優(yōu)化裝置結(jié)構(gòu)和處理方法，可以進(jìn)一步提高SiC外延生長的均勻性和質(zhì)量，推動(dòng)SiC技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。隨著SiC技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，高溫大面積碳化硅外延生長裝置及處理方法將在更廣泛的領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)以光學(xué)相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（TotalThicknessVariation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（TotalIndicatedReading總指示讀數(shù)，STIR（SiteTotalIndicatedReading局部總指示讀數(shù)），LTV（LocalThicknessVariation局部厚度偏差）等這類技術(shù)指標(biāo)。高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)，全新采用的第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù)，相比傳統(tǒng)上下雙探頭對(duì)射掃描方式；可一次性測(cè)量所有平面度及厚度參數(shù)。靈活適用更復(fù)雜的材料，從輕摻到重?fù)絇型硅(P++)，碳化硅，藍(lán)寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。重?fù)叫凸瑁◤?qiáng)吸收晶圓的前后表面探測(cè)）粗糙的晶圓表面，（點(diǎn)掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測(cè)方案，不易受到光譜中相鄰單位的串?dāng)_噪聲影響，因而對(duì)測(cè)量粗糙表面晶圓）低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)（通過對(duì)偏振效應(yīng)的補(bǔ)償，加強(qiáng)對(duì)低反射晶圓表面測(cè)量的信噪比）絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時(shí)測(cè)量多層結(jié)構(gòu)，厚度可從μm級(jí)到數(shù)百μm級(jí)不等。1，可用于測(cè)量各類薄膜厚度，厚度最薄可低至