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文檔簡介
CCST36
T/t
中國汽車工業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)
T/CAMMTBXX—XXXX
車載激光雷達(dá)用激光發(fā)射器
技術(shù)要求及檢測方法
(征求意見稿)
XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施
中國汽車工業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布
T/CAAMTBXX-XXXX
車載激光雷達(dá)用激光發(fā)射器技術(shù)要求及檢測方法
1范圍
本文件規(guī)定了車載激光雷達(dá)用半導(dǎo)體激光發(fā)射器的通用要求,包括術(shù)語、定義和符號(hào)、分類、技術(shù)要
求、測試規(guī)范、測試方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本文件適用于TOF脈沖激光雷達(dá)和FMCW激光雷達(dá)用半導(dǎo)體激光發(fā)射器。車載激光雷達(dá)用半導(dǎo)體激
光發(fā)射器模塊及組件可參考執(zhí)行。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。凡是注日期的引用文件,僅
注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志
GB/T2423.1-2008電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法試驗(yàn)A:低溫
GB/T2423.2-2008電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法試驗(yàn)B:高溫
GB/T2423.3-2016環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法試驗(yàn)Cab:恒定濕熱試驗(yàn)
GB2894安全標(biāo)志及其使用導(dǎo)則
GB/T3358.1統(tǒng)計(jì)學(xué)詞匯及符號(hào)第1部分:一般統(tǒng)計(jì)術(shù)語與用于概率的術(shù)語(ISO3354-1:2006,IDT)
GB/T6388運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志
GB7247.1激光產(chǎn)品安全第1部分:設(shè)備分類、要求。
GB8965.1-2020防護(hù)服裝阻燃服
GB/T10320-2011激光設(shè)備和設(shè)施的電氣安全
GB/T12339防護(hù)用內(nèi)包裝材料
GB/T13863激光輻射功率和功率不穩(wěn)定度測試方法標(biāo)準(zhǔn)
GB/T15175-2012固體激光器主要參數(shù)測量方法
GB/T15313-2008激光術(shù)語
GB/T17736-1999激光防護(hù)鏡主要參數(shù)測試方法(已廢止)
GB/T21548-2021光通信用高速直接調(diào)制半導(dǎo)體激光器的測量方法
GB/T28046.1道路車輛電氣及電子設(shè)備的環(huán)境條件和試驗(yàn)第1部分:一般規(guī)定
GB/T28046.2道路車輛電氣及電子設(shè)備的環(huán)境條件和試驗(yàn)第2部分:電氣負(fù)荷
GB/T28046.4-2011道路車輛電氣及電子設(shè)備的環(huán)境條件和試驗(yàn)第4部分:氣候負(fù)荷
GB/T30038道路車輛電氣電子設(shè)備防護(hù)等級(jí)(IP代碼)
GB30863-2014個(gè)體防護(hù)裝備眼面部防護(hù)激光防護(hù)鏡
GB/T31358-2015半導(dǎo)體激光器總規(guī)范
GB/T31359-2015半導(dǎo)體激光器測試方法
GB34660-2017道路車輛電磁兼容性要求和試驗(yàn)方法
GB/T41643-2022高功率激光制造設(shè)備安全和使用指南
GB/T2423.22電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法
GB/T2423.51環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法試驗(yàn)Ke:流動(dòng)混合氣體腐蝕試驗(yàn)
GR-468-CORE用于電信設(shè)備的光電子器件的一般可靠性保證要求(原文題名:GenericReliability
AssuranceRequirementsforOptoelectronicDevicesUsedInTelecommunicationsEquipment)
JJF1059.1-2012測量不確定度評(píng)定與表示
QC/T413汽車電器基本技術(shù)條件
3
T/CAAMTBXX-XXXX
SJ/T11587電子產(chǎn)品防靜電包裝技術(shù)要求
T/CAAMTB58-2021車載激光雷達(dá)檢測方法
IEC60747-5-4-2006半導(dǎo)體器件-分立器件第5-4部分:光電器件-半導(dǎo)體激光器(原文題名:
Semiconductordevices-DiscretedevicesPart5-4:Optoelectronicdevices-Semiconductorlasers)
ISO11145:2018光學(xué)和光子學(xué)-激光和激光相關(guān)設(shè)備-詞匯和符號(hào)(原文題名:Opticsandphotonics
-Lasersandlaser-relatedequipment-Termsanddefinitions)
ISO11554:2017光學(xué)和光子學(xué)-激光和激光相關(guān)設(shè)備-激光束功率、能量和時(shí)間特性參數(shù)的測試方法
(原文題名:Opticsandphotonics-Lasersandlaser-relatedequipment-Termsanddefinitions)
ISO13695-2004光學(xué)和光子學(xué)-激光和激光相關(guān)設(shè)備-激光器光譜特性的測試方法(原文題名:Opticsand
photonics-Lasersandlaser-relatedequipment-Testmethodsforthespectralcharacteristicsoflasers)
ISO17915-2018光學(xué)和光子學(xué)-用于感測的半導(dǎo)體激光器的測量方法(原文題名:Opticsandphotonics
-Measurementmethodofsemiconductorlasersforsensing)
ISO11146-1:2005(E)《激光和激光相關(guān)設(shè)備——激光光束寬度、發(fā)散角、光束傳播比的測試方法》
(Lasersandlaser-relatedequipment-Testmethodsforlaserbeamwidths,divergenceanglesandbeampropagation
ratios)
VW80000:2022-12Electricandelectroniccomponentsinmotorvehiclesupto3.5t-generalrequirement,test
conditions,andtests.
ITU-TG.698.2SERIESG:TRANSMISSIONSYSTEMSANDMEDIA,DIGITALSYSTEMSAND
NETWORKS
3術(shù)語和定義
GB/T15313-2008、GB/T31358-2015、GB/T15175-2012、T/CAAMTB58-2021、ISO11554:2017界定的
術(shù)語和定義適用于本文件。為了便于使用,以下重復(fù)列出了GB/T15313-2008、GB/T31358-2015、GB/T
15175-2012、T/CAAMTB58-2021、ISO11554:2017中的一些術(shù)語和定義。
3.1
激光雷達(dá)lightdetectionandranging(lidar)
發(fā)射激光束并接收回波以獲取目標(biāo)三維和/或速度信息的系統(tǒng)。
注:引自T/CAAMTB58-2021,定義3.1
3.2
半導(dǎo)體激光器semiconductorlaser
以半導(dǎo)體材料為激光介質(zhì)的激光器。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.1
3.3
垂直腔面發(fā)射激光器verticalcavitysurfaceemittinglaser(VCSEL)
出光方向垂直于p-n結(jié)平面的半導(dǎo)體激光器。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.2
3.4
邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器edgeemittingsemiconductorlaser(EEL)
出光方向平行于p-n結(jié)平面的半導(dǎo)體激光器
4
T/CAAMTBXX-XXXX
注:引自GB/T31358-2015,定義3.3
3.5
激光組件laserassembly
由激光裝置與專門用來處理光束的光、機(jī)、電部件所組成的組件。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.100
3.6
激光裝置laserdevice
由激光器和使激光器工作所必須的外圍器件(即:冷卻、溫控、供電和供氣等單元)所組成的裝置。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.99
3.7
中心波長centralwavelength(符號(hào):λc,單位:nm)
光譜強(qiáng)度最大值的一半處所對(duì)應(yīng)的上升沿和下降沿最大寬度的中點(diǎn)對(duì)應(yīng)的波長。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.10
3.8
連續(xù)功率CW-power(符號(hào):P,單位:mW,W)
連續(xù)激光器的輸出功率。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.76
3.9
平均功率averagepower(符號(hào):Pav,單位:mW,W)
脈沖能量與脈沖重復(fù)頻率的乘積。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.81
3.10
峰值功率peakpower(符號(hào):Pp,單位:mW,W)
功率時(shí)間函數(shù)的最大值。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.82
3.11
脈沖能量pulseenergy(符號(hào):Q,單位:mJ,J)
脈沖能量與脈沖持續(xù)時(shí)間之比。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.80
3.12
光譜線寬spectrallinewidth(符號(hào):Δλ、??,單位:nm、Hz)
光譜功率(或能量)為其峰值一半處所對(duì)應(yīng)波長的最大間隔。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.23
3.13
斜率效率slopeefficiency(符號(hào):SE,單位:W/A)
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激光器的直接測試輸出功率(或能量)隨電流變化曲線的斜率。
3.14
發(fā)散角divergenceangle(符號(hào):θ,單位:°)
θu,θx,u,θy,u[ISO]
光束寬度[內(nèi)含功率(或能量)定義的]在遠(yuǎn)場增大形成的漸近面錐所構(gòu)成的全角度。
注1:對(duì)圓橫截面,光束寬度為光束直徑du。對(duì)于非圓橫截面,束散角分別由相應(yīng)的x方向和y方向
的光束寬度dx,u和dy,u確定。
注2:當(dāng)規(guī)定束散角時(shí),應(yīng)使用下標(biāo)說明相關(guān)的光束寬度,如θx,50說明光束寬度為dx,50。
注3:這里坐標(biāo)系的定義和光束寬度的定義不包含一般像散情況。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.65.1
3.15
快軸發(fā)散角fastaxisdivergenceangle(符號(hào):θ⊥,單位:°)
對(duì)于邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器,輸出激光在垂直于p-n結(jié)平面的最大張角。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.4
3.16
慢軸發(fā)散角slowaxisdivergenceangle(符號(hào):θ∥,單位:°)
對(duì)于邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器,輸出激光在平行于p-n結(jié)平面的最大張角。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.5
3.17
光束半徑beamradius(符號(hào):d,單位:mm)
在垂直光束軸平面內(nèi),內(nèi)含功率(或能量)占光束功率(能量)規(guī)定比例(u%)的最小孔徑的半徑。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.50.1
光斑尺寸為光強(qiáng)降為最大光強(qiáng)1/e2處的光束直徑。包含光束總功率x%的半徑,r(86.5%)為1/e2光束半
徑。
3.18
波長-溫度漂移系數(shù)coefficientofwavelength-temperatureshift(符號(hào):k,單位:nm/K,nm/℃)
半導(dǎo)體激光器穩(wěn)定工作時(shí),p-n結(jié)單位溫度變化所引起的峰值波長變化量。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.11
3.19
光功率-溫度漂移系數(shù)coefficientofopticalpower-temperatureshift(符號(hào):ΔP/Δk,單位:
mW/K,mW/℃)
半導(dǎo)體激光器穩(wěn)定工作時(shí),p-n結(jié)單位溫度變化所引起的輸出光功率變化量。
3.20
電光轉(zhuǎn)換效率electrical-to-opticalconversionefficiency(符號(hào):ηp)
半導(dǎo)體激光器輸出的激光功率與輸入的電功率比值,通常以百分?jǐn)?shù)表示。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.6
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3.21
閾值電流thresholdcurrent(符號(hào):Ith,單位:mA,A)
使激光器內(nèi)光子增益等于或大于腔內(nèi)總損耗,從而產(chǎn)生激光的最小驅(qū)動(dòng)電流。
注:引自GB/T31358-2015,定義3.7
3.22
脈沖(脈沖持續(xù)時(shí)間)寬度pulsewidth(符號(hào):τ,單位:ms,s,ns)
激光脈沖上升和下降到它的50%峰值功率點(diǎn)之間的間隔時(shí)間。激光脈沖波形半腰處的時(shí)間寬度,及脈
沖波形的半高寬。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.74
3.23
脈沖能量不穩(wěn)定度pulseenergyinstability(符號(hào):SQ)
激光器正常工作時(shí)脈沖能量在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)隨時(shí)間波動(dòng)的特性。
注:引自GB/T15175-2012,定義3.3.2
3.24
脈沖持續(xù)時(shí)間不穩(wěn)定度pulsedurationinstability(符號(hào):Sτ)
激光器正常工作時(shí)脈沖寬度在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)的變化特性。
注:引自ISO11554:2017,定義8.7
3.25
脈沖重復(fù)頻率pulserepetitionrate(符號(hào):f,單位:Hz)
重復(fù)脈沖激光器每秒鐘發(fā)出的激光脈沖數(shù)。
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.77
脈沖重復(fù)頻率是指激光器每秒輸出的脈沖數(shù),簡稱:PRF,是脈沖重復(fù)間隔(pulserepetitioninterval,PRI)
的倒數(shù)。脈沖重復(fù)間隔就是一個(gè)脈沖和下一個(gè)脈沖之間的時(shí)間間隔。如果脈沖串是規(guī)則的,并且脈沖之間
是相干的,在頻譜(或光譜)上其就為頻率梳,而頻率梳的梳齒間隔就是重復(fù)頻率。
3.26
波長穩(wěn)定性wavelengthstability(符號(hào):Sλt)
在采樣時(shí)間內(nèi),激光波長的漂移量與在這段時(shí)間內(nèi)的平均波長的比值。
3.27
線寬穩(wěn)定性linewidthstability(符號(hào):SΔ?t)
在采樣時(shí)間內(nèi),激光線寬的漂移量與在這段時(shí)間內(nèi)的平均波長的比值。
3.28
相對(duì)強(qiáng)度噪聲r(shí)elativeintensitynoise(RIN)(符號(hào):R(f),單位:dBc/Hz,Hz-1)
功率起伏歸一化到平均功率平方時(shí)的單邊譜密度,它是頻率f的函數(shù)。(注:單位帶寬的光強(qiáng)度均方
噪聲與平均光功率平方的比值,也稱相對(duì)強(qiáng)度噪聲譜密度。)
注:引自GB/T15313-2008,定義2.1.111
3.29
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T/CAAMTBXX-XXXX
調(diào)制帶寬modulationbandwidth(符號(hào):B,單位:Hz)
激光器最大頻率調(diào)諧帶寬。
3.30
調(diào)頻線性度frequencymodulationlinearity(符號(hào):γ)
頻率隨時(shí)間變化的規(guī)律。
或者:在采樣時(shí)間內(nèi),調(diào)頻偏差與調(diào)制帶寬的關(guān)系。
3.31
邊模抑制比(符號(hào):SMSR,單位:dB)
主模強(qiáng)度和邊模強(qiáng)度的最大值之比。
3.32
偏振消光比(符號(hào):PER,單位:dB)
光束主偏振分量的功率與正交偏振分量的功率之比。
4分類
4.1按激光器的工作方式分類
脈沖型、連續(xù)型。
4.2按測距方式分類
TOF脈沖激光發(fā)射器、FMCW激光發(fā)射器。
5技術(shù)要求
5.1外觀質(zhì)量要求
車載激光雷達(dá)用半導(dǎo)體激光發(fā)射器的外觀質(zhì)量應(yīng)符合以下規(guī)定:
a)激光器外表面應(yīng)干凈,不得有銹蝕跡、密封膠和油脂的堆積、不得有明顯損傷以及其他影響外觀
或使用性能的缺陷;
b)產(chǎn)品的引出端應(yīng)牢固、可靠、無松動(dòng)跡象;
c)產(chǎn)品標(biāo)志和激光安全標(biāo)志應(yīng)明確、齊全、清晰、牢固;
d)產(chǎn)品詳細(xì)規(guī)范中規(guī)定的其他要求;
e)滿足上述條件下應(yīng)同時(shí)滿足各廠商自定的詳細(xì)要求。
5.2性能參數(shù)、結(jié)構(gòu)和使用條件要求
5.2.1光電性能參數(shù)
除非另有規(guī)定,在車載激光雷達(dá)用激光發(fā)射器的詳細(xì)規(guī)范中應(yīng)規(guī)定表1所列的光電性能參數(shù)。車載激
光雷達(dá)用激光發(fā)射器參數(shù)應(yīng)采用規(guī)定的測量方法測量。
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表1光電性能參數(shù)
光電性能參數(shù)FMCW相干測距雷達(dá)激光發(fā)射器TOF脈沖激光測距雷達(dá)發(fā)射器
平均功率
峰值功率
脈沖能量
中心波長
光譜線寬
斜率效率
電光轉(zhuǎn)換效率
光束發(fā)散角(VCSEL)
快軸發(fā)散角(EEL)
慢軸發(fā)散角(EEL)
光斑尺寸
波長-溫度漂移系數(shù)
光功率-溫度漂移系數(shù)
閾值電流
脈沖寬度
重復(fù)頻率
波長穩(wěn)定性
線寬穩(wěn)定性
相對(duì)強(qiáng)度噪聲
調(diào)制帶寬
調(diào)頻線性度
邊模抑制比
偏振消光比
注:“”表示適用;“”表示可選;“”表示不適用。
5.2.2結(jié)構(gòu)參數(shù)
結(jié)構(gòu)參數(shù)要求如下:
a)發(fā)光尺寸及排列方式(適用時(shí));
b)引出端定義;
c)安裝尺寸和外形尺寸;
d)質(zhì)量(適用時(shí))。
5.2.3使用條件
使用條件要求如下:
a)供電電源條件(適用時(shí)),包括電流、電壓、脈沖寬度、重復(fù)頻率等;
b)環(huán)境條件(適用時(shí)),包括溫度、濕度、潔凈度、電磁干擾、光干擾等;
c)冷卻條件(適用時(shí)),包括水流量、水壓、溫度控制等;
d)防靜電(適用時(shí))。
6TOF脈沖激光測距雷達(dá)光源主要性能參數(shù)測試方法
6.1中心波長
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6.1.1測試裝置
中心波長測試裝置框圖見圖1。
圖1中心波長測試裝置框圖
說明:
1——半導(dǎo)體激光器;
2——驅(qū)動(dòng)電源;
3——激光導(dǎo)入裝置(適用時(shí));
4——光譜儀。
6.1.2測試步驟
中心波長的測試按照以下步驟進(jìn)行:
a)按照?qǐng)D1測試裝置,首先按圖示順序擺放和連接測試儀器;
b)將半導(dǎo)體激光器發(fā)出的激光通過激光導(dǎo)入裝置(含衰減器、積分球等)導(dǎo)入光譜分析儀中;
c)根據(jù)被測激光器光譜范圍設(shè)置光譜分析儀的掃描范圍、掃描分辨率和掃描靈敏度;
d)給被測激光器施加正向電流到規(guī)定值,光譜分析儀在所設(shè)置的波段內(nèi)掃描,記錄波長λ與該波長
對(duì)應(yīng)的相對(duì)光譜強(qiáng)度I。
6.1.3計(jì)算方法
按以下方法計(jì)算中心波長:
a)根據(jù)記錄的數(shù)據(jù)得到相對(duì)光譜強(qiáng)度與波長的分布曲線(I-λ曲線),見圖2;
b)按式(1)計(jì)算中心波長;
c)對(duì)于有多波長半導(dǎo)體激光器,可分別獨(dú)立測試。
λ+λ
λ=12(1)
C2
式中:
λC——中心波長,單位為納米(nm);
λ1——在I-λ曲線上,最大相對(duì)光譜強(qiáng)度50%處對(duì)應(yīng)的最短波長,單位為納米(nm);
λ2——在I-λ曲線上,最大相對(duì)光譜強(qiáng)度50%處對(duì)應(yīng)的最長波長,單位為納米(nm)。
圖2中心波長示意圖
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6.2峰值功率
6.2.1測試裝置
測試裝置框圖見圖3。
圖3脈沖能量測試裝置框圖
說明:
1——半導(dǎo)體激光器;
2——驅(qū)動(dòng)電源;
3——光束整形器(適用時(shí));
4——衰減器(適用時(shí));
5——光閘(適用時(shí));
6——激光能量計(jì)或功率計(jì)。
6.2.2測試步驟
峰值功率測試按照以下步驟進(jìn)行:
a)按圖3建立測試裝置,首先按圖示順序擺放和連接測試儀器;
b)選取光束整形器(適用時(shí))和衰減器(適用時(shí)),保證被測光斑投射到激光能量計(jì)光接收面直徑
的2/3區(qū)域內(nèi);調(diào)整被測半導(dǎo)體激光器的位置,保證光束從光束整形器(適用時(shí))和激光能量計(jì)光
接收面的中心入射;
c)使用光閘(適用時(shí)),可阻擋進(jìn)入激光能量計(jì)的光,選擇合適量程,并調(diào)整零點(diǎn);
d)調(diào)節(jié)電源,給被測半導(dǎo)體激光器施加規(guī)定的工作電流;
e)按規(guī)定時(shí)間間隔記錄激光能量計(jì)的讀數(shù)Ei。
6.2.3計(jì)算方法
按式(2)計(jì)算峰值功率:
?
11Ei
Pp=∑(2)
τjnτ
??=1
式中:
Pp——峰值功率,單位為瓦(W);
τj——衰減器的透射比,%;
n——測試次數(shù);
Ei——第i次記錄的激光能量計(jì)讀數(shù),單位為焦(J);
τ——脈沖寬度,單位為秒(s)。
6.3脈沖寬度及重復(fù)頻率
6.3.1測試裝置
測試裝置框圖見圖4。
11
T/CAAMTBXX-XXXX
圖4脈沖寬度及重復(fù)頻率測試裝置框圖
說明:
1——半導(dǎo)體激光器;
2——驅(qū)動(dòng)電源;
3——光閘(適用時(shí));
4——光電探測器;
5——示波器。
6.3.2測試步驟
脈沖寬度及重復(fù)頻率的測試按照以下步驟進(jìn)行:
a)按照?qǐng)D4建立測試裝置,首先按圖示順序擺放和連接測試儀器,使用光閘(適用時(shí)),調(diào)節(jié)進(jìn)入
光電探測器(激光波形探測器)的光;
b)根據(jù)被測半導(dǎo)體激光器輸出光強(qiáng)設(shè)置示波器的擋位;
c)給被測激光器加電到規(guī)定的工作狀態(tài);
d)示波器記錄光脈沖波形(見圖5)。
6.3.3計(jì)算方法
按式(3)計(jì)算脈沖寬度:
τ=t2?t1(3)
式中:
τ——脈沖寬度,單位為(ns);
t1和t2——脈沖最大值的50%處對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn),單位為(ns)。
按式(4)計(jì)算重復(fù)頻率:
1
?=(4)
TP
式中:
?——重復(fù)頻率,單位為(Hz);
TP——脈沖周期,單位為(s)。
圖5示波器記錄的光脈沖波形
12
T/CAAMTBXX-XXXX
6.4脈沖能量穩(wěn)定性
6.4.1脈沖能量不穩(wěn)定度
在一定時(shí)間間隔內(nèi)(按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定)按前述6.2中的方法等間隔測量n(型式試驗(yàn)情況n不宜少于
10,仲裁試驗(yàn)情況n不宜少于100)個(gè)脈沖能量Ei,按式(5)和(6)計(jì)算脈沖能量不穩(wěn)定度。
n
21
s=√∑(E?E?)2(5)
QE?n?1i
i=1
n
1
E?=∑E(6)
ni
i=1
式中:
SQ——輸出能量不穩(wěn)定度;
Ei——第i次測得脈沖能量,單位為(J);
E?——脈沖能量平均值,單位為(J);
n——取值次數(shù)。
6.4.2脈沖持續(xù)時(shí)間不穩(wěn)定度
在一定時(shí)間間隔內(nèi)(按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定)按前述6.2中的方法等間隔測量n(型式試驗(yàn)情況n不宜少于
10,仲裁試驗(yàn)情況n不宜少于100)個(gè)脈沖寬度τi,按式(7)和(8)計(jì)算脈沖持續(xù)時(shí)間不穩(wěn)定度。
n
21
s=√∑(τ?τ?)2(7)
ττ?n?1i
i=1
n
1
τ?=∑τ(8)
ni
i=1
式中:
sτ——脈沖持續(xù)時(shí)間不穩(wěn)定度;
τi——第i次測得脈沖寬度,單位為(ns);
τ?——脈沖寬度平均值,單位為(ns);
n——取值次數(shù)。
6.5光譜寬度
6.5.1測試裝置
測試裝置框圖見圖6。
圖6光譜線寬測試裝置框圖
13
T/CAAMTBXX-XXXX
說明:
1——半導(dǎo)體激光器;
2——驅(qū)動(dòng)電源;
3——激光導(dǎo)入裝置(適用時(shí));
4——光譜儀。
6.5.2測試步驟
a)按圖6所示順序擺放和連接測試儀器;
b)將半導(dǎo)體激光器發(fā)出的激光導(dǎo)入光譜儀中;
c)根據(jù)被測激光器光譜范圍設(shè)置光譜儀的掃描范圍、掃描分辨率和掃描靈敏度;
d)被測半導(dǎo)體激光器應(yīng)在產(chǎn)品詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的工作條件下穩(wěn)定工作后,進(jìn)行相關(guān)參數(shù)測試;
e)給被測激光器施加正向電流到規(guī)定值,光譜儀在所設(shè)置的波段內(nèi)掃描,記錄波長λ與該波長對(duì)應(yīng)
相對(duì)光譜強(qiáng)度I。
6.5.3計(jì)算方法
圖7光譜線寬示意圖
按式(9)計(jì)算光譜線寬:
?λ=λ2?λ1(9)
式中:
Δλ——光譜線寬,單位為納米(nm);
λ1——在I-λ曲線上,最大相對(duì)光譜強(qiáng)度50%處對(duì)應(yīng)的最短波長,單位為納米(nm);
λ2——在I-λ曲線上,最大相對(duì)光譜強(qiáng)度50%處對(duì)應(yīng)的最長波長,單位為納米(nm)。
測試時(shí)應(yīng)滿足以下要求:
a)標(biāo)準(zhǔn)中測試的數(shù)據(jù)應(yīng)是在該參數(shù)重復(fù)測試n次的平均值,通常n≥10;
b)記錄必要工作條件(工作電流、熱沉溫度等)。
6.6斜率效率
6.6.1測試裝置
14
T/CAAMTBXX-XXXX
689
3
1
4710
2
5
圖8斜率效率測試裝置框圖
圖中:
1——短脈沖信號(hào)發(fā)生器;
2——控溫系統(tǒng);
3——電流表;
4——半導(dǎo)體激光器;
5——驅(qū)動(dòng)電源;
6——?jiǎng)蚬馄鳎ㄟm用時(shí));
7——光束整形器(適用時(shí));
8——光電探測器;
9——示波器;
10——積分球/光功率計(jì)。
6.6.2測試步驟
a)在相同的測試熱沉控制溫度下調(diào)整驅(qū)動(dòng)電源和短脈沖信號(hào)發(fā)生器從而調(diào)整出一系列正向激光器
驅(qū)動(dòng)脈沖電流。脈沖條件下輸入的峰值電流可通過平均電流除以電流占空比得到。其中平均電流
可由串接在激光器回路中的電流表讀出(扣除零點(diǎn)后);電脈寬可用光電探測器測得的光脈寬近
似,脈沖寬度由6.3方法計(jì)算得出。占空比由電脈寬乘重復(fù)頻率計(jì)算得出;
b)峰值光功率可由6.2方法計(jì)算得出;
c)通過在一系列不同的峰值電流下計(jì)算得出的峰值功率繪制峰值功率-峰值電流曲線。
圖9斜率效率計(jì)算方法示意圖
6.6.3計(jì)算方法
15
T/CAAMTBXX-XXXX
a)擬合法:通過測量繪制激光器峰值輸出光功率-峰值電流曲線。取曲線在非零輸出功率之上線性區(qū)
間進(jìn)行線性擬合,擬合所得的斜率值即為激光器斜率效率。
b)取點(diǎn)計(jì)算法:在峰值功率-峰值電流曲線中選取工作電流值90%的電流點(diǎn)I1,對(duì)應(yīng)的峰值光功率為
P1,在曲線的線性區(qū)間再取一電流點(diǎn)(例如工作電流值的30%)I2,對(duì)應(yīng)的峰值光功率為P2,則
斜率效率可由式(10)計(jì)算得出:
P?P
SE=12(10)
I1?I2
6.7光束發(fā)散角
6.7.1測試裝置
3
1
4678
2
5
圖10光束發(fā)散角測試裝置框圖
圖中:
1——短脈沖信號(hào)發(fā)生器;
2——控溫系統(tǒng);
3——電流表;
4——半導(dǎo)體激光器;
5——驅(qū)動(dòng)電源;
6——衰減器(適用時(shí));
7——白屏;
8——電荷耦合元件(CCD)。
6.7.2測試步驟
a)利用控溫系統(tǒng),調(diào)整短脈沖信號(hào)發(fā)生器和驅(qū)動(dòng)電源至半導(dǎo)體激光器工作條件,調(diào)整接收采集激光
器光斑信息的電荷耦合元件(CCD)與激光器距離至一系列特定值(例如25/30/40/45/50mm);
b)在一系列特定的激光器與CCD的距離(z)下根據(jù)6.7中方法測量計(jì)算激光器在快軸/慢軸方向上
的光斑尺寸大小(d⊥/d∥),注意需保證在特定距離下CCD可以采集到完整的光斑且不過曝,否
則需調(diào)整距離值及衰減器重新測量;
c)利用灰度質(zhì)心法確定光斑質(zhì)心坐標(biāo):
∑x?g
x=(11)
0∑g
∑y?g
y=(12)
0∑g
其中(x0,y0)為光斑質(zhì)心坐標(biāo),g為坐標(biāo)值為(x,y)處的光斑灰度值。
16
T/CAAMTBXX-XXXX
d)以光斑質(zhì)心為中心,繪制出沿快軸和慢軸方向的灰度值-坐標(biāo)曲線。從中心向曲線兩端作灰度值累
加,直至累加值為曲線上灰度值總和的86%,對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的范圍即為D86定義下的快慢軸光斑直
22
徑(d⊥/d∥);以灰度值-坐標(biāo)曲線的最大灰度值的1/e倍對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的范圍即為1/e定義下的快
慢軸光斑直徑,對(duì)于VCSEL,則以光斑質(zhì)心為圓心,包含86%的灰度值累加和的圓的直徑為D86
定義下的光斑直徑d,以光斑質(zhì)心為中心,繪制出沿特定方向的灰度值-坐標(biāo)曲線,以灰度值-坐標(biāo)
曲線的最大灰度值的1/e2倍對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的范圍即為1/e2定義下的光斑直徑;
e)通過在一系列不同的距離(z)下測得的(快慢軸)光斑直徑(d⊥/d∥/d)繪制d⊥和d∥或d關(guān)于
z的曲線。
圖11灰度值-坐標(biāo)曲線圖
圖12光束發(fā)散角計(jì)算方法示意圖
6.7.3計(jì)算方法
a)直接計(jì)算法:可通過以式(13)和式(14)在某個(gè)特定的激光器-CCD距離下計(jì)算發(fā)散角:
0.5d
θ=2×arctan(⊥)(13)
⊥?
0.5d
θ=2×arctan(∥)(14)
∥?
17
T/CAAMTBXX-XXXX
θ⊥——快軸發(fā)散角;θ∥——慢軸發(fā)散角;(對(duì)于VCSEL,則把公式中θ⊥/θ∥及d⊥/d∥更換為θ和
d,其中θ為發(fā)散角,d為光斑直徑);
b)擬合計(jì)算法:對(duì)d⊥和d∥關(guān)于z的曲線進(jìn)行線性擬合,記擬合所得的斜率值為k⊥和k∥,則發(fā)散角
可由以式(15)和式(16)計(jì)算:
θ⊥=2×arctan(0.5k⊥)(15)
θ∥=2×arctan(0.5k∥)(16)
對(duì)于VCSEL,則把公式中θ⊥/θ∥及k⊥/k∥更換為θ和k,其中θ為發(fā)散角,k為θ-d曲線的擬合斜
率值。
6.8光斑尺寸
6.8.1測試裝置
測量裝置見圖13。
123
45
圖13光斑直徑測試裝置框圖
圖中:
1——溫度控制系統(tǒng);
2——激光器;
3——光闌;
4——激光光源;
5——功率計(jì)。
6.8.2測試步驟
在激光輸出的近場位置放置可變光闌,并在光闌后放置激光功率計(jì),分別測試經(jīng)過光闌和不經(jīng)過光闌
的功率Pg和Pt。
6.8.3計(jì)算方法
根據(jù)式(17)計(jì)算出光闌透過率T。
Pg
T=(17)
Pt
當(dāng)光闌透過率T為86.5%時(shí),光闌尺寸d’為激光的光斑尺寸d,
為了測試高功率,所采用的光闌固定孔徑光闌,需要進(jìn)行換算,測試透過率T’與86.5%相近的光闌孔
徑d’,然后通公式(18)換算成包含86.5%的光斑尺寸d。
18
T/CAAMTBXX-XXXX
2
??=??′?√?(18)
ln(1??′)
6.9溫度系數(shù)和曲線
6.9.1波長溫度系數(shù)
6.9.1.1測試裝置
6910
3
1
4711
2
5
8
圖14波長溫度系數(shù)測試裝置框圖
圖中:
1——短脈沖信號(hào)發(fā)生器;
2——控溫系統(tǒng);
3——電流表;
4——半導(dǎo)體激光器;
5——驅(qū)動(dòng)電源;
6——?jiǎng)蚬馄鳎ㄟm用時(shí));
7——光束整形器(適用時(shí));
8——光譜儀;
9——光電探測器;
10——示波器;
11——積分球/光功率計(jì)。
6.9.1.2測試步驟
a)激光器測試熱沉溫度可由控溫系統(tǒng)(如TEC)準(zhǔn)確控制并讀取溫度,在激光器基板散熱充分的條
件下,此溫度即為激光器底部溫度;
b)在不同的控制溫度下,根據(jù)6.11的方法確定激光器閾值電流;
c)在不同的控制溫度下,調(diào)整驅(qū)動(dòng)電源和短脈沖信號(hào)發(fā)生器使激光器處于剛剛超過閾值電流且能激
射的驅(qū)動(dòng)條件;
d)在對(duì)應(yīng)溫度下,由光譜儀讀取激光器激射光譜,并根據(jù)6.1中方法確定中心波長。
19
T/CAAMTBXX-XXXX
圖15波長溫度系數(shù)計(jì)算方法示意圖
6.9.1.3計(jì)算方法
通過測量繪制激光器中心波長-溫度曲線。其中溫度區(qū)間可分為兩級(jí):I級(jí)為-40-105℃;II級(jí)為-40-
125℃。對(duì)該曲線的線性區(qū)間可進(jìn)行線性擬合,擬合所得的斜率值即為線性區(qū)間內(nèi)的波長溫度系數(shù)。對(duì)于中
心波長-溫度曲線的非線性區(qū)間,波長溫度系數(shù)可由特定溫度區(qū)間內(nèi)的波長變化率表示:
λ?λ
k=12(19)
T1?T2
其中λ1與λ2分別為T1與T2溫度下的激光器中心波長。
6.9.2光功率溫度系數(shù)
6.9.2.1測試裝置
測量裝置見圖3。
6.9.2.2測試步驟
a)激光器測試熱沉溫度可由控溫系統(tǒng)(如TEC)準(zhǔn)確控制并讀取溫度;
b)在不同的控制溫度下,調(diào)整驅(qū)動(dòng)電源及短脈沖信號(hào)發(fā)生器至半導(dǎo)體激光器工作條件(例如特定驅(qū)
動(dòng)電流或特定驅(qū)動(dòng)電壓);
c)在不同的控制溫度下,根據(jù)6.2中方法測量計(jì)算激光器在固定工作條件下的峰值光功率;
d)通過測量繪制激光器峰值光功率-控制溫度曲線。其中溫度區(qū)間可分為兩級(jí):I級(jí)為-40-105℃;II
級(jí)為-40-125℃。
6.9.2.3計(jì)算方法
激光器峰值光功率-溫度曲線通常呈非線性,一般采用計(jì)算相同工作條件特定溫度及工作溫度下的光功
率比值(P(T)/P(Top))表征激光器光功率隨溫度的變化。對(duì)于不同溫度下P(T)/P(Top)計(jì)算結(jié)果,繪制
P(T)/P(Top)-溫度曲線表征光功率-溫度系數(shù)隨溫度的變化。
6.10電光轉(zhuǎn)換效率
20
T/CAAMTBXX-XXXX
6.10.1測試裝置
7910
14
25811
36
圖16電光轉(zhuǎn)換效率測試裝置框圖
圖中:
1——短脈沖信號(hào)發(fā)生器;
2——驅(qū)動(dòng)電源
3——控溫系統(tǒng);
4——電流表;
5——半導(dǎo)體激光器;
6——電壓表;
7——?jiǎng)蚬馄鳎ㄟm用時(shí));
8——光束整形器(適用時(shí));
9——光電探測器;
10——示波器;
11——積分球/光功率計(jì)。
6.10.2測試步驟
a)調(diào)整驅(qū)動(dòng)電源、短脈沖信號(hào)發(fā)生器和控溫系統(tǒng)至激光器工作條件。脈沖條件下輸入的峰值電流可
通過平均電流除以電流占空比得到。其中平均電流可由串接在激光器回路中的電流表讀出(扣除
零點(diǎn)后);電脈寬可用光電探測器測得的光脈寬近似,脈沖寬度由6.3方法計(jì)算得出。占空比由
電脈寬乘重復(fù)頻率除以1s計(jì)算得出;
b)峰值光功率可由6.2方法計(jì)算得出;
c)半導(dǎo)體激光器兩端的電壓可由并聯(lián)在半導(dǎo)體激光器兩端的電壓表讀出。
6.10.3計(jì)算方法
通過測量得到特定電流I下的光功率P及施加在半導(dǎo)體激光器兩端的電壓V,則電光轉(zhuǎn)換效率ηp可由
式(20)計(jì)算得到:
P
=(20)
PIV
6.11閾值電流
6.11.1測試裝置
測量裝置見圖8。
6.11.2測試步驟
21
T/CAAMTBXX-XXXX
a)在相同的測試熱沉控制溫度下調(diào)整驅(qū)動(dòng)電源和短脈沖信號(hào)發(fā)生器從而調(diào)整出一系列正向激光器
驅(qū)動(dòng)脈沖電流。脈沖條件下輸入的峰值電流可通過平均電流除以電流占空比得到。其中平均電流
可由串接在激光器回路中的電流表讀出;
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